专利名称：：碱显影型的糊剂组合物的制作方法
技术领域：
：本发明涉及碱显影型的糊剂组合物和使用其的导电性图案和黑色矩阵图案的形成方法以及该导电性图案和黑色矩阵图案，其中该碱显影型的黑色糊剂组合物适合于对薄型显示器等有用的导电性图案和黑色矩阵图案的形成。另外，下面将指示导电性图案和黑色矩阵图案两者的情况表示成图案。除此以外的情况下，分别表示成导电性图案、黑色矩阵图案。本发明更详细地说，涉及一种碱显影型的糊剂组合物，其适于使用了最大波长350nm420nm的活性能量射线的激光直接成像装置，对效率良好地形成精细的图案有用，并且保存稳定性优异，以及涉及使用了该组合物的图案的形成方法及其图案。
背景技术：
：一直以来，薄型显示器的玻璃基板等形成有作为电极的导电性图案。另外，前面板使用黑色矩阵图案。而且其形成法如下，例如，在玻璃基板上，涂布千燥图案用的抗蚀剂而形成涂膜，该涂膜通过描绘有电路、电极图案的光掩模而使用活性能量射线曝光图像，然后利用曝光部和非曝光部对显影液的溶解性的不同，以^喊性水溶液进行显影处理，由此形成与电路、电极图案对应的抗蚀层，进行烧成，从而形成与玻璃基板密合的图案。通过作为该活性能量射线的激光扫描使其感光、曝光的组合物，提出了含有特定的染料敏化剂和二茂钛化合物等的组合物(例如，参照专利文献1和专利文献2。.)、含有特定的双酰基膦氧化物的激光感光性组合物(例如，参照专利文献3。)，但这些组合物得不到对于活性能量射线的充分的感光度专利文献1专利文献2专利文献3日本特开2002-351071号公报(权利要求书)日本特开2002-351072号公净艮(权利要求书)曰本特开2004—45596号/>净艮(一又利要求书)
发明内容发明所要解决的问题本发明是鉴于上述问题而进行的，其主要目的在于提供一种碱显影型的糊剂组合物，其对活性能量射线的感光度高并且对于效率良好地形成精细的图案有用，以及提供使用了该组合物的图案的形成方法及其图案。用于解决问题的方法为了解决上述课题，本发明具备以下组成。(1)一种碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，其包含(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)—分子中具有至少l个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、(E-1)下述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂、以及(F)下述通式(II)所示的硫化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>式中，W表示氢原子、碳原子数16的烷基、或苯基，R2表示氢原子、碳原子数16的烷基，式中，W表示烷基、芳基或取代芳基，W表示氢原子或烷基，另外，R^和R"表示相互结合形成可以包含选自氧、硫和氮原子的杂原子的5元环到7元环所需要的非金属原子群。(2)根据(1)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述肟酯系光聚合引发剂(E-1)为下述通式(III)所示的(1)所述的肟酯系光聚合引发剂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>式中，1个或2个RS如下述通式(I)所示，其中2个RS如通式(I)所示时，包括115各自不同的情况；其余RS表示氢原子、曱基、苯基或卤原子，其中包括各RS各自不同的情况，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>2…(I)6的烷基、或苯基，R:式中，Rt表示氢原子、碳原子数l表示氢原子、碳原子数16的烷基。(3)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述含羧基树脂(A)进一步是(A-1)具有一个以上自由基聚合性不饱和基团的含羧基树脂。(4)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还包含(E-2)下述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>式中，R6、R7各自地独立表示碳原子数l~IO的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、或者被面原子、烷基或烷氧基取代的芳基、或者任一方为碳原子数l~20的羰基。(5)根据(4)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量比所述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量少。(6)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还含有(G)硼酸。(7)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还含有(H)下述通式(V)或通式(VI)所示的磷化合物。(8)根据(1)~(7)任一项所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，涂布干燥所述(l)~(7)任一项所述的组合物而得到的涂膜的每ljim膜厚的吸光度为O.l~0.8。(9)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述(C)无机粉末是黑色颜料或银粉。(10)根据(1)或(2)所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量为组合物总量的O.l~1.0质量％。(11)一种图案的形成方法，其特征在于，是使用了(1)~(10)任一项所述的组合物的图案的形成方法，其中，该方法包括(1)通过活性能量射线进行图案曝光的工序、(2)通过以稀碱性水溶液显影而选择性地形成图案的工序、8(3)在400~600。C下烧成的工序。(12)根据(11)所述的图案的形成方法，其特征在于，所述活性能量射线为激光振荡光源或灯光源。(13)—种图案，其通过(11)或(12)所述的图案的形成方法而获得o(14)根据(13)所述的图案，其特征在于，所述图案为导电性图案。(15)根据(13)或(14)所述的图案，其特征在于，所述图案包含黑色矩阵图案。(16)—种等离子显示面板，其包含使用(1)~(10)任一项所述的碱显影型的糊剂组合物而形成的图案。(17)—种等离子显示面板，其包含(13)~U5)任一项所述的图案。发明的效果本发明的碱显影型的糊剂组合物通过配合上述通式(II)所示的硫化合物，对活性能量射线具有充分的感光度，并可形成高精度的图案。另外，上述糊剂组合物由于对活性能量射线具有充分的感光度，因此可以在短时间进行曝光，通过缩短曝光所需要的时间可提高图案的制造效率。另外，由于对于最大波长为350nm~420nm的活性能量射线显示优异的光固化性，因此可使用激光直接成像装置作为曝光装置，可形成可靠性高的图案。具体实施例方式本发明的碱显影型的糊剂组合物具有如下特征其包含(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)—分子中具有至少一个以上自由基重合性不饱和基团的化合物、以及(E-1)前述通式(I)所示的肟酯系光重合引发剂、(F)前述通式(II)所示的硫化合物，该糊剂组合物对于活性能量射线显示出优异的光固化性。另外，在优选的形态中，可提供在上述组合物中含有(G)硼酸，且保存稳定性优异的组合物。另外，可提供含有(H)磷化合物，且保存稳定性优异的组合物。以下，对本发明的碱显影型的糊剂组合物的各组成成分进行详细说明。(A)含羧基树脂作为本发明的碱显影型的糊剂组合物所含的含羧基树脂(A),可使用分子中含有羧基的公知常用的树脂化合物。具体而言，可列举出如下列举的树脂。(1)通过将(曱基)丙烯酸等不饱和羧酸和l种以上其以外的具有不饱和双键的化合物共聚而得到的含羧基树脂、(2)在(甲基)丙烯酸等不饱和羧酸与l种以上其以外的具有不饱和双键的化合物的共聚物上，通过(曱基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物、(曱基)丙烯酸氯化物等加成烯属不饱和基团作为侧链，从而得到的含羧基感光性树脂、(3)使(曱基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物与其以外的具有不饱和双键的化合物共聚，使该共聚物与(曱基)丙烯酸等不饱和羧酸反应，所生成的仲羟基与多元酸酐反应而得到的含羧基感光性树脂、(4)使马来酸酐等具有不饱和双键的酸酐与其以外的具有不饱和双键的化合物共聚，使该共聚物与(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基和不饱和双键的化合物反应而得到的含羧基感光性树脂、(5)使多官能团环氧化合物与不饱和单羧酸反应，所生成的羟基与饱和或不饱和多元酸酐反应而得到的含羧基感光性树脂、(6)使聚乙烯醇衍生物等含羟基聚合物与饱和或不饱和多元酸酐反应，然后使生成的羧酸与一分子中具有环氧基和不饱和双键的化合物反应而得到的含羟基和羧基的感光'性树脂、(7)使多官能团环氧化合物、不饱和单羧酸、一分子中具有至少1个醇羟基和可与环氧基反应的醇羟基以外的1个反应性基团的化合物反应，使该反应产物与饱和或不饱和多元酸酐反应而得到的含羧基感光性树脂、(8)使一分子中具有至少2个氧杂环丁烷环的多官能团氧杂环丁烷化合物与不饱和单羧酸反应，使所得的改性氧杂环丁烷树脂中的伯羟基与饱和或不饱和多元酸酐反应所得的含羧基感光性树脂、以及(9)使多官能团环氧树脂与不饱和单羧酸反应，然后使其与多元酸酐反应而得到的含羧基树脂再与分子中具有l个环氧乙烷环和l个以上烯属不饱和基团的化合物反应而得到的含羧基感光性树脂等，但不受这些限定。作为这些例示当中优选的含羧基感光性树脂，从光固化性、烧成性方面出发，优选上述(2)和(3)的分子中具有烯属不饱和双键的含羧基感光性树脂。另外，本说明书中，(曱基)丙烯酸酯是总称丙烯酸酯、曱基丙烯酸酯以及它们的混合物的术语，其它类似表达也同样。上述的含羧基树脂(A)在主链聚合物的侧链上具有多个游离的羧基，因此可利用稀碱性水溶液显影。另外，上述含羧基树脂(A)的酸值为40~200mgKOH/g的范围，更优选为45~120mgKOH/g的范围。含羧基树脂的酸值不足40mgKOH/g时，难以碱显影，另一方面，超过200mgKOH/g时，显影液对曝光部的溶解过度进行，线比所需要的更细，或者根据情况，曝光部和未曝光部没有区别地被显影液溶解剥离，难以描绘正常的抗蚀剂图案，故不优选。另外，上述含羧基树脂(A)的重均分子量因树脂骨架而异，但通常优选为2000~150000、进一步为5000~IOOOOO的范围。重均分子量不足2000时，不粘手性能不好，曝光后涂膜的耐湿性差，显影时出现膜减少，解像力大大恶化。另一方面，重均分子量超过150000时，显影性显著恶化，贮存稳定性差。在使用(C-1)黑色颜料作为(C)的情况下，这样的含羧基树脂(A)的配合量优选为全部组合物中的1080质量％、更优选为15~50质量％。另外，在使用(C-2)银粉作为(C)的情况下，含羧基树脂(A)的配合量优选为全部组合物中的2~50质量％、更优选为4~30质量％。配合量过少时，涂膜强度降低，故不优选。另一方面，配合量过多时，粘性变高，涂布性等降低，故不优选。(B)玻璃粉本发明的碱显影型的糊剂组合物所使用的玻璃粉(B),可使用软化点为300600。C的低熔点玻璃粉，可适宜使用以氧化铅、氧化铋或氧化锌为主要成分的物质。另外，从解像力方面出发，优选使用平均粒径为20pm以下、优选为5(im以下的玻璃粉。作为以氧化铅为主要成分的玻璃粉末的优选的例子，可列举出如下的非结晶性玻璃料以基于氧化物的质量％计，具有48~82%PbO、0.5~22%B203、3~32%Si02、0~12%A1203、0~10%BaO、0~15%ZnO、0~2.5%TiO2、0~25%Bi2OJ々组成，且软化点为420~590°C。另夕卜，作为以氧化铋为主要成分的玻璃粉末的优选的例子，可列举出如下的非结晶性玻璃料以基于氧化物的质量％计，具有35~88%Bi203、5~30%B2O3、0~20%SiO2、0~5%Al2O3、l~25%BaO、1200/oZnO的组成，且專欠化点为420~590°C。另夕卜，作为以氧化锌为主要成分的玻璃粉末的优选的例子，可列举出如下的非结晶性玻璃料以基于氧化物的质量％计，具有2560o/oZnO、2~15%K20、25~45%B203、1~7%Si02、0~10%Al2O3、0~20%BaO、0100/。MgO的组成，且l欠化点为420~590°C。这样的玻璃4分的配合量优选为全部组合物中的1~20质量%、更优选为2~10质量％。配合量过少时，与基材的密合性差，配合量过多时，可能产生组合物的增稠、凝胶化。另外，形成导电性图案时，可能导致烧成后的比电阻值的上升，都不优选。(C)无机粉末本发明的碱显影型的糊剂组合物所使用的(C)无机粉末包括黑色颜料(C-1)或银粉(C-2)。黑色颜料(C-1)本发明的碱显影型的糊剂组合物所使用的成分(C)的黑色颜料(C-l)可适宜使用Cu、Fe、Cr、Mn、Co、Ru、La等的单一金属氧化物和/或由2种以上金属元素形成的复合氧化物。从解像力方面出发，-使用其平均粒径优选为10nm以下、更优选为2.5nm以下的黑色颜料。另一方面，从黑色度方面出发，适宜4吏用平均粒径优选为l.Opm以下、更优选为0.6pm以下的黑色颜料。在该黑色颜料中，特别优选使用比表面积在l.O~20mVg的范围的四氧化三钴(Co304)微粒。其理由是因为，该比表面积不足1.0mVg的话，利用曝光进行的图案形成的精度降低，难以得到线边缘的直线性或者充分的黑度的烧成覆膜。另一方面，超过20mVg的话，颗粒的表面积变得过大，显影时易产生底切(undercut)。另外，作为黑色颜料(C-1)的配合量，相对于100质量份前述含羧基树脂(A)为10~IOO质量份的范围是合适的。过少时，烧成后得不到充分的黑度，不优选。另一方面，过多时，透光性降低，易产生底切，故不优选。银粉(C-2)本发明的碱显影型的糊剂组合物所使用的成分(C)的银粉(C-2)是对糊剂赋予导电性的物质，可使用公知常用的银粉，但从烧成性方面出发，优选X射线分析图案中Ag(111)面峰的半值宽度显示0.15。以上、优选为0.19。以上的值的物质。该半值宽度不足0.15。的银粉(C-2),银粉的结晶化度高，不易产生颗粒间的烧结，因此在620。C以下的烧成温度下电阻值不降低，故不优选。另外，优选该半值宽度为1.0°以下。半值宽度超过1.0。时，银粉末的结晶化度低，颗粒间的烧结过度进行，线可能产生不规则的弯曲、歪扭，故不优选。这样的银粉(C-2)通常通过雾化(atomize)法、化学还原法等方法制造。雾化法是利用气体、水等流体喷雾熔融的银并得到银粉末的方法，易得到球状的颗粒，批量生产性优异。化学还原法是使用还原剂使水溶性银盐发生化学反应而得到银粉末的方法。具体而言，是如下方法，即，使用硝酸银作为水溶性银盐，使用作为还原剂的苛性碱、铵盐、肼等碱使金属银析出，接着将所得的银浆水洗、干燥，得到银粉末。这样操作所得到的银粉(C-2)可使用球状、薄片状、枝状等各种形状的银粉，尤其考虑光特性、分散性时，优选使用球状的银粉。另外，使用电子显微镜(SEM)以10000倍观察该银粉(C-2)时，该银粉(C-2)优选使用随机10个银粉末的平均粒径为0.1-5iim、优选为0.4~2.0pm大小的4艮粉。该平均粒径不足0.1)im时，光的透射性变差，难以描绘高精细的图案，另一方面，平均粒径超过5pm时，不易得到线边缘的直线性，故不优选。另外，优选使用通过Microtrac(激光粒度分析仪器)测定的平均粒径为0.5~3.5pm大小的银粉。另夕卜，该4艮粉(C-2)优选使用比表面积为O.Ol~2.0m2/g、优选为O.l~1.0mVg的银粉。该比表面积不足0.01mVg时，保存时易引起沉降，另一方面，比表面积超过2.0mVg时，吸油量变大，糊剂的流动性受损，故不优选。相对于100质量份碱显影型的糊剂组合物，这样的银粉(C-2)的配合量优选为5090质量份是适当的。银粉的配合量过少时，从该糊剂所得到的导电性图案得不到充分的导电性，另一方面，过多时，与基材的密合性变差，故不优选。(D)—分子中具有至少l个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物作为本发明所使用的前述一分子中具有至少l个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物(D),可列举出丙烯酸2-鞋乙酯、丙烯酸2-羟丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯等丙烯酸羟烷基酯类；乙二醇、曱氧基四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇等二醇的单丙烯酸酯或二丙烯酸酯类；N，N-二曱基丙烯酰胺、N-羟曱基丙烯酰胺、N,N-二曱氨基丙基丙烯酰胺等丙烯酰胺类；丙烯酸N，N-二甲氨基乙酯、丙烯酸N，N-二甲氨基丙酯等丙烯酸氨基烷基酯类；己二醇、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三羟乙基异氰脲酸酯等多元醇或这些的环氧乙烷加成物或环氧丙烷加成物等的多元丙烯酸酯类；丙烯酸苯氧酯、双酚A二丙烯酸酯、以及这些酚类的环氧乙烷加成物或环氧丙烷加成物等的丙烯酸酯类；丙三醇二缩水甘油醚、丙三醇三缩水甘油醚、三羟曱基丙烷三缩水甘油醚、三缩水甘油基异氰脲酸酯等缩水甘油醚的丙烯酸酯类；上述丙烯酸羟烷基酯的异氰酸酯改性物，即，多官能团或单官能团聚氨酯丙烯酸酯；以及蜜胺丙烯酸酯、和与上述丙烯酸酯对应的各(甲基)丙烯酸酯类，这些可以单独使用或组合2种以上使用。在这些当中，特别是一分子中具有至少2个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物，例如季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等，由于光固化性优异，故优选。另外，以下，将该化合物简称为聚合性单体。相对于100质量份前述含羧基树脂(A)，这样的一分子中具有至少l个以上自由基聚合性不饱和基团的(D)的配合量优选为5100质量份、更优选为10~70质量份的比例。前述配合量过少时，光固化性降低，通过照射活性能量射线后的碱显影，难以形成图案，故不优选。另一方面，过多时，对碱性水溶液的溶解性降低，或者涂膜变脆，故不优选。作为(E-1)前述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂的具体例子，可列举出U-[4-(苯硫基)-2-(0-苯甲酰肟)]}1,2-辛二酮、1-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰肟)乙酮、以及下述通式(VII)所示的2-(乙酰氧基亚氨基曱基)p塞p屯-9-酮。在这些当中，特别优选上式(VII)所示的化合物、2-(乙酰氧基亚氨基曱基)噻吨-9-酮。作为市售品，有西巴特殊化学品公司生产的CGI-325。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>(VII)在使用(C-1)黑色颜料作为(C)的情况下，相对于IOO质量份前述含羧基树脂(A),这样的肟酯系光聚合引发剂(E-l)的配合量优选为0.01~20质量份、更优选为0.01~5质量份的比例。另外，在使用(C-2)银粉作为(C)的情况下，肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量优选为组合物全体的0.1~1.0质量％的比例。另外此时，以IOO质量份前述含羧基树脂(A)为基准的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量的适当的范围根据玻璃粉、银粉、一分子中具有至少l个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物以及有机溶剂的配合量而改变，大概是相对于100质量份前述含羧基树脂(A)为O.Ol~20质量份、优选为0.05~IO质量份、更优选为0.5~5.0质量份的比例。將酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量相对于100质量份前述含羧基树脂(A)过少时，得不到充分的光固化性，故不优选。另一方面，过多时，厚膜固化性降低，牵涉到产品的成本提高，故不优选。本发明的碱显影型的糊剂组合物为了进一步提高感光度，优选配合包含上述通式(IV)所示的结构的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)。作为这样的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)，可列举出2，4，6-三曱基苯曱酰基二苯基氧化膦、双(2,4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、双(2，6-二曱氧基苯曱酰基)-2，4，4-三曱基-戊基氧化膦等。相对于100质量份前述含羧基树脂(A),这样的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量为60质量份以下、优选为50质量份以下的比例。氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量超过60质量份时，厚膜固化性降低，牵涉到产品的成本提高，故不优选。另外，为了高感光度且得到厚膜固化性，优选前述通式U)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量至少与上述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量是等量，或者比上述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量少。本发明的碱显影型的糊剂组合物根据需要还可以组合使用公知常用的光聚合引发剂。具体而言，可列举出苯偶姻、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚等苯偶姻和苯偶姻烷基醚类；苯乙酮、2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮等苯乙酮类；2-曱基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-千基-2-二曱氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等氨基苯乙酮类；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-一又丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌类；2，4-二曱基遂吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等p塞化酮类；苯乙酮二甲基缩酮(acetophenonedimethylketal)、苯偶酰二曱縮酮等缩酮类；二苯甲酮等二苯曱酮类；或卩占吨酮类；(2，6-二曱氧基苯甲酰基)-2,4,4-戊基氧化膦、双(2,4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、2，4，6-三曱基苯曱酰基二苯基氧化膦、乙基-2,4,6-三曱基苯甲酰基苯基亚膦酸酯等氧化膦类等。从深部固化性方面出发，特别优选组合使用2，4-二曱基噻吨酮、2，4-二乙基噻p屯酮、2-氯瘗吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮系光聚合引发剂、或双(2,4，6_三曱基苯曱酰基)-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯曱酰基二苯基氧化膦等氧化膦系光聚合引发剂。相对于100质量份前述含羧基树脂(A),这样的噻吨酮系光聚合引发剂或氧化膦系光聚合引发剂的配合量优选为30质量份以下、更优选为20质量份以下的比列。这些噻吨酮系光聚合引发剂的配合量过多时，厚膜固化性降低，牵涉到产品的成本提高，故不优选。(F)上述通式(II)所示的硫化合物通过配合该碌u化合物，可提高组合物的关于激光的感光度，本发明人推测其理由如下。在光照射部位中，随着自由基聚合反应进行，聚合性单体(D)难以产生扩散，聚合速度、转化率降低，未反应的聚合性单体(D)残留。但是，通过添加起到链转移剂的作用的硫化合物(F),聚合反应效率良好地进行且转化率提高，结果认为可达成高感光度化。(G)硼酸为了提高保存稳定性，本发明的糊剂组合物进一步优选添加硼酸(G)。这样的硼酸(G)可使用通过喷射式粉碎才凡、球磨机、辊磨机等进行微粉化的平均粒径(D50)为20pm以下、优选为5nm以下的硼酸。这样的^f敖粉化的硼酸由于易吸湿、再聚集，因此优选粉碎后迅速使用。另外，还可以与糊剂中所含的树脂、溶剂等一起粉碎硼酸(G)。相对于100质量份前述玻璃4分(B),这样的硼酸(G)的配合比例优选为O.Ol~IO质量份是合适的，更优选为O.l~2质量份。硼酸的配合比例相对于100质量4分前述玻璃4分(B)过少时，没有提高保存稳定性的效果，故不优选。另外，这样配合硼酸(G)时，必须使用对于100g25。C的水的溶解度为20g以下的疏水性溶剂。使用对水的溶解度高的有机溶剂时，有机溶剂中溶入的水使玻璃粉中所含的金属离子化，成为凝胶化的原因，故不优选。(H)磷化合物另外，为了进一步提高本发明的碱显影型的糊剂组合物的保存稳定性，优选配合上述通式(V)或通式(VI)所示的磷化合物(H)。作为这样的磷化合物(H),可列举出磷酸曱酯、磷酸乙酯、磷酸丙酯、磷酸丁酯、磷酸苯酯、磷酸二曱酯、磷酸二乙酯、磷酸二丁酯、磷酸二丙酯、磷酸二苯酯、磷酸异丙酯、磷酸二异丙酯、磷酸正丁酯、亚磷酸甲酯、亚磷酸乙酯、亚磷酸丙酯、亚磷酸丁酯、亚磷酸苯酯、亚磷酸二甲酯、亚磷酸二乙酯、亚磷酸二丁酯、亚磷酸二丙酯、亚磷酸二苯酯、亚磷酸异丙酯、亚磷酸二异丙酯、正丁基-2-乙基己基亚磷酸酯羟基亚乙基二膦酸、三磷酸腺苷、磷酸腺苷、酸式磷酸单(2-曱基丙烯酰氧基乙基)酯、酸式磷酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、酸式磷酸二(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯、酸式磷酸二(2-丙烯酰氧基乙基)酯、乙基二乙基膦酰基乙酸酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸丁酯、焦磷酸丁酯、酸式磷酸丁氧基乙酯、酸式磷酸2-乙基己酯、酸式磷酸油酯、酸式磷酸二十四烷基酯、酸式磷酸二乙二醇酯、酸式磷酸甲基丙烯酸2-羟乙酯等。这些磷化合物可以单独使用或组合2种以上使用。相对于100质量份前述玻璃粉(B),这些磷化合物(H)的配合量为10质量份以下、优选为0.15质量份。磷化合物(H)的配合量相对于100质量份前述玻璃粉(B)超过10质量份时，烧成性降低，故不优选。其它配合物为了合成前述含羧基树脂(A)、制备组合物，或者为了用于涂布到基板、载体膜而调整粘度，本发明的碱显影型的糊剂组合物可使用有机溶剂。具体而言，可列举出甲乙酮、环己酮等酮类；曱苯、二甲苯、四曱基苯等芳香族烃类；溶纤剂、甲基溶纤剂、卡必醇、曱基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单曱醚、二丙二醇单曱醚、二丙二醇单乙醚、三乙二醇单乙醚等二醇醚类；乙酸乙酯、乙酸丁酯、溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯等乙酸酯类；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、松油醇等醇类；辛烷、癸烷等脂肪族烃；石油醚、石脑油、氢化石脑油、溶剂石脑油等石油类溶剂等，这些可以单独使用或组合2种以上使用。根据需要，本发明的碱显影型的糊剂组合物还可以配合如下公知常用的添加剂类氢醌、氢醌单甲醚、叔丁基儿茶酚、连苯三酚、吩噻溱等公知常用的热阻聚剂、微粉二氧化硅、有机膨润土、蒙脱土等公知常用的增稠剂，硅酮类、氟类、高分子类等消泡剂和/或流平剂，咪唑类、噻唑类、三唑类等硅烷偶联剂等。组合物的使用以上说明的本发明的碱显影型的糊剂组合物，例如用前述有机溶剂调整到适合涂布方法的粘度，通过浸渍涂覆法、免注涂覆法、辊涂法、线棒涂覆法、丝网印刷法、帘式涂覆法等方法涂布到基板上，在例如约60~120。C下干燥5~40分钟左右，从而可形成不粘手的涂膜。或者，将上述组合物涂布到载体膜上并干燥而以薄膜状巻曲，将此层压到基板上，从而可形成不粘手的涂膜。另外，从图案形成性方面出发，这样干燥的涂膜的每lpm膜厚的吸光度优选为O.l~0.8。其后，采用接触式(或非接触方式)，通过形成有图案的光掩模用活性能量射线选择性地曝光，将未曝光部利用稀碱性水溶液(例如0.3~3%碳酸钠水溶液)显影而形成图案。作为上述活性能量射线照射所使用的曝光机，可使用直接描绘装置(例如根据电脑的CAD数据直接以激光描绘图像的激光直接成像装置)。作为活性能量射线源，可列举出发出最大波长在350nm~420nm的范围的激光的激光二极管、气体激光器、固体激光器等，特别优选激光二极管。作为上述直接描绘装置，可使用例如日本OrbotechLtd.公司、PENTAX公司、HitachiViaMechanics,Ltd.公司、BALLSemiconductorInc.公司等生产的产品，可4吏用任意装置。另外，除了上述直接描绘装置以外，还可以使用现有的曝光机。作为其光源，可使用卣素灯、高压汞灯、激光、金属囟化物灯、黑光灯、无电极灯等。另外，前述显影可使用喷射法、浸渍法等。作为显影液，可适宜使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、硅酸钠等的金属^/性水溶液，单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵等胺水溶液，特别是约1.5质量％以下的浓度的稀碱'性水溶液，只要组合物中的含羧基树脂(A)的羧基被皂化、未固化部(未曝光部)被除去即可，并不受上述的显影液的限定。另外，为了除去显影后不需要的显影液，优选进行水洗、酸中和o经过上述显影形成了图案的基板，在空气中或在氮气氛围下，以约400~600。C烧成，由此可形成所期望的图案。实施例下面，示出实施例和比较例对本发明进行具体说明，当然，本发明并不限定于下述实施例。合成例l:含羧基树脂的合成在具备温度计、搅拌器、滴液漏斗以及回流冷凝器的烧瓶中，以0.87:0.13的摩尔比加入甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸，加入作为溶剂的二丙二醇单甲醚、作为催化剂的偶氮二异丁腈，在氮气氛围下于80。C搅拌6小时，得到含羧基树脂溶液。该树脂的重均分子量约为10000，酸值为74mgKOH/g。另外，所得的共聚树脂的重均分子量的测定是通过接有(抹)岛津制作所生产的泵LC-6AD和昭和电工()生产的柱Shodex(注册商标)KF-804、KF—803、KF—802三才艮柱的高效'液相色^普4义测定的。以下，称该含羧基树脂溶液为A-l清漆。合成例2:含羧基感光性树脂的合成在具备温度计、搅拌器、滴液漏斗以及回流冷凝器的烧瓶中，将甲基丙烯酸曱酯和曱基丙烯酸的投料比以摩尔比计为0.76:0.24，加入作为溶剂的二丙二醇单甲醚、作为催化剂的偶氮二异丁腈，在氮气氛围下于8(TC搅拌6小时，得到含羧基树脂溶液。将该含羧基树脂溶液冷却，使用作为阻聚剂的曱基氲醌、作为催化剂的四丁基溴化鳞，在95105。C、反应16小时的条件下，使甲基丙烯酸缩水甘油酯以相对于上述树脂的l摩尔羧基为0.12摩尔的比例的加成摩尔比发生加成反应，冷却后取出。通过上述反应生成的含羧基感光性树脂的重均分子量约为10000,酸值为59mgKOH/g,双键当量为950。以下，称该含羧基感光性树脂溶液为A-2清漆。实施例1~18和比较例1~2以3辊式辊磨机对使用了前述合成例l、2所得的A-l清漆和A-2清漆的表1和表2所示的配合成分进行混炼，得到碱显影型的糊剂组合物。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>※l:将具有60%]〕b0、20%B2O3、15%Si02、5%八1203的组成、」iL热膨胀系数a300=70x10力。C、玻璃化转变温度为445。C的性质的物质粉碎而得到的平均粒径为1.6pm的玻璃粉※2:以70%的浓度，将最大粒径为5pm以下且平均粒径为0.2pm的四氧化三钴黑色颗粒均匀分散到三丙二醇单曱醚中而得到的浆料※3:季戊四醇三丙烯酸酯※4:2-(乙酰氧基亚氨基曱基)遙吨-9-酮※5:1-[9_乙基-6-(2-曱基苯甲酰基)-9H-啼峻-3-基]-1-(0-乙酰肘)乙酮※6:2,4,6-三曱基苯曱酰基二苯基氧化膦※7:2-巯基苯并噻唑※8:2-曱基-1_[4-(曱硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮※9:以喷射式粉碎机粉碎成平均粒径5pm以下的硼酸※10:酸式磷酸2-曱基丙烯酰氧基乙酯200710187257.2势s也被20/40s<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>使用上述实施例1~9和比较例l的碱显影型的黑色糊剂组合物，用300目的聚酯丝网整面涂布到玻璃基板上。接着，使用热风循环式干燥炉在9(TC干燥20分钟，形成指触干燥性良好的覆膜。接着，使用线宽100nm、间隔宽度150fam的条紋状的CAD数据，通过具有中心波长405nm的蓝紫色激光作为光源的激光直接成像曝光装置(PENTAX公司生产，DI-plO)，以组合物上的累积光量为40mJ/cm2的量曝光。其后，使用液体温度30。C的0.4wt。/。Na2CO3水溶液显影20秒钟，水洗。最后，使用电炉在空气中烧成。另外，烧成中进行如下工序以5。C/分钟的升温速度从室温升温到590。C,在590。C保持10分钟，然后》文置冷却到室温。对这样操作所得的各基板的各种特性进行评价的结果在表3中示出。另外，表3中的评价方法如下。(1)吸光度的测定使用紫外可见分光光度计测定在钠钙玻璃上形成了干燥膜厚5pm和10^im的涂膜的评价基板的吸光度。从所得的数据计算出405nm下每lpm厚度的吸光度。(2)激光感光性的评价以5OmJ/cm2的累积光量曝光L/S=100/150pm的线，使用液体温度30。C的0.4wt%Na2C03水溶液显影20秒钟，通过光学显#L镜评价是否可形成线。评价基准如下。o:完全看不到欠缺。△:看得见若干欠缺。x:不能形成线。(3)最低曝光量的计算改变累积光量进行曝光，测定出可以没有欠缺地形成L/S=100/150)im的线的最小曝光量。另外，比较例由于用激光的曝光时间长，并不实用，因此不实施后面的试^r。(4)图案形成后的线的形状利用前述的最低曝光量曝光时，用显微镜观测碱显影型的黑色糊剂组合物的显影后的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移、没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(5)烧成后的线的形状烧成后的线的形状是以显微镜观测直到烧成结束了的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移，没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(6)密合性密合性是利用玻璃粘着胶带进行剥离，评价有没有图案的剥离。评价基准如下。o:没有图案的剥离。△:有若干图案的剥离。x:常常有图案的剥离。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>由表3所示的结果可知，本发明的碱显影型的黑色糊剂组合物对活性能量射线具有充分的感光度，可形成高精细的图案。另外，烧成后的线的形状没有不规则的偏移，与基材的密合性也优异。另外，还可满足烧成后的黑度，保存稳定性也优异。使用上述实施例10~18和比较例2的碱显影型的银糊剂组合物，用300目的聚酯丝网整面涂布到玻璃基板上。接着，使用热风循环式干燥炉在90。C下干燥20分钟，形成指触干燥性良好的覆膜。接着，使用线宽50fim、间隔宽度200pm的条紋状的CAD数据，通过具有中心波长405nm的蓝紫色激光作为光源的激光直接成像曝光装置(PENTAX公司生产，DI-plO),以组合物上的累积光量为40mJ/cm2的量曝光。其后，使用液体温度30。C的0.4wt。/。Na2CO3水溶液显影20秒钟，水洗。最后，使用电炉在空气中烧成。另外，烧成中进行如下工序以5。C/分钟的升温速度从室温升温到590。C,在590。C保持10分钟，然后方文置冷却到室温。对这样操作所得的各基板的各种特性进行评价的结果在表4中示出。另外，表4中的评价方法如下。(1)吸光度的测定使用紫外可见分光光度计测定在钠钙玻璃上形成有千燥膜厚5(im和10pm的涂膜的评价基板的吸光度。从所得的数据计算出405nm下每1pm厚度的吸光度。(2)激光感光性的评价以50mJ/cm2的累积光量曝光L/S=50/200nm的线，使用液体温度30。C的0.4wt%Na2C03水溶液显影20秒钟，通过光学显微镜评价是否可形成线。评价基准如下。o:完全看不到欠缺。△:看得见若干欠缺。x:不能形成线。(3)最低曝光量的计算改变累积光量进行曝光，测定出可以没有欠缺地形成L/S=50/200nm的线的最小曝光量。另外，比较例由于用激光的曝光时间长，并不实用，因此不实施后面的试验。(4)图案形成后的线的形状利用前述的最低曝光量曝光时，用显微镜观测碱显影型的银糊剂组合物的显影后的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移、没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(5)烧成后的线的形状烧成后的线的形状是以显微镜观测直到烧成结束了的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移，没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(6)密合性密合性是利用玻璃粘着胶带进行剥离，评价有没有图案的剥离。评价基准如下。o:没有图案的剥离。△:有若干图案的剥离。x:常常有图案的剥离。(7)比电阻值的测定除了使用图案尺寸为0.4cmxl0cm的CAD数据曝光以外，与上述"烧成后的线形状"的评价同样操作制备试验基板。对这样得到的试验基板，使用MilliohmHiTester测定烧成覆膜的电阻值，接着，使用SURFCORDER测定烧成覆膜的膜厚，计算出烧成覆膜的比电阻值。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>由表4所示的结果可知，本发明的碱显影型的银糊剂组合物对激光具有充分的感光度，可形成高精细的图案。另外，烧成后的线的形状没有不规则的偏移，比电阻值作为电极材料也充分，与基材的密合性良好，保存稳定性优异。接着，实施通过灯式曝光的图案形成。使用上述实施例l~9和比较例1的碱显影型的黑色糊剂组合物，用300目的聚酯丝网整面涂布到玻璃基板上。接着，使用热风循环式干燥炉在90。C干燥20分钟，形成指触干燥性良好的覆膜。接着，将形成了线宽100pm、间隔宽度150nm的条紋状负图案的玻璃干板作为光掩模使用，通过具备超高压汞灯作为光源的曝光装置(伯东公司生产，MAT-5301)，以糊剂上的累积光量为50mJ/cn^的量曝光。其后，使用液体温度30。C的0.4质量。/oNa2CO3水溶液显影20秒钟，水洗。最后，使用电炉在空气中烧成。另外，烧成中进行如下工序以5。C/分钟的升温速度从室温升温到590。C，在590。C保持10分钟，然后放置冷却到室温。对这样操作所得的各基板的各种特性进行评价的结果在表5中示出。另外，表5中的评价方法如下。(1)感光性的评价以5011^/。1112的累积光量曝光1^/8=100/150(im的线，使用液体温度30。C的0.4wt。/。Na2CO3水溶液显影20秒钟，通过光学显微镜评价是否可形成线。评价基准如下。o:完全看不到欠缺。△:看得见若干欠缺。x:不能形成线。(2)最低曝光量的计算改变累积光量进行曝光，测定出可以没有欠缺地形成L/S=100/150pm的线的最小曝光量。(3)图案形成后的线的形状利用前述的最低曝光量曝光时，用显微镜观测碱显影型的黑色糊剂组合物的显影后的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移、没有歪扭等。△:有若千不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(4)烧成后的线的形状烧成后的线的形状是以显微镜观测直到烧成结束了的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移，没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(5)密合性密合性是利用玻璃粘着胶带进行剥离，评价有没有图案的剥离。评价基准如下。o:没有图案的剥离。△:有若干图案的剥离。x:常常有图案的剥离。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>由表5所示的结果可知，本发明的碱显影型的黑色糊剂组合物在使用超高压汞灯作为光源时也具有充分的感光度，可形成高精细的图案。接着，实施通过灯式曝光的图案形成。使用上述实施例10~18和比较例2的碱显影型的银糊剂组合物，用300目的聚酯丝网整面涂布到玻璃基板上。接着，使用热风循环式干燥炉在90。C下干燥20分钟，形成指触干燥性良好的覆膜。接着，将形成了线宽50pm、间隔宽度200nm的条紋状负图案的玻璃干板作为光掩模使用，通过具备超高压汞灯作为光源的曝光装置(伯东公司生产，MAT-5301)，以糊剂上的累积光量为40mJ/cm2的量曝光。其后，使用液体温度30。C的0.4质量。/。Na2CO3水溶液显影20秒钟，水洗。最后，使用电炉在空气中烧成。另外，烧成中进行如下工序以5。C/分钟的升温速度从室温升温到590。C,在590。C保持10分钟，然后》文置冷却到室温。对这样操作所得的各基板的各种特性进行评价的结果在表6中示出。另外，表6中的评价方法如下。(1)感光性的评价以50mJ/cm2的累积光量曝光L/S=50/200inm的线，使用液体温度30。C的0.4wt%Na2C03水溶液显影20秒钟，通过光学显微镜评价是否可形成线。评价基准如下。:完全看不到欠缺。△:看得见若干欠缺。x:不能形成线。(2)最低曝光量的计算改变累积光量进行曝光，测定出可以没有欠缺地形成L/S=50/200(im的线的最小曝光量。(3)图案形成后的线的形状利用前述的最低曝光量曝光时，用显微镜观测碱显影型的银糊剂组合物的显影后的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。O:没有不规则的偏移、没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(4)烧成后的线的形状烧成后的线的形状是以显微镜观测直到烧成结束了的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移，没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(5)密合性密合性是利用玻璃粘着胶带进行剥离，评价有没有图案的剥离。评价基准如下。o:没有图案的剥离。△:有若干图案的剥离。x:常常有图案的剥离。表6<table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>由表6所示的结果明显看出，本发明的碱显影型的银糊剂组合物在使用超高压汞灯作为光源时也具有充分的感光度，可形成高精细的图案。实施例19~26和比寿交例3以3辊式辊磨机对使用了前述合成例所得的A-1清漆和A-2清漆的表7所示的配合成分进行混炼，得到碱显影型的黑色银糊剂组合物。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>还进行了含有黑色颜料和银粉两者作为无机成分的碱显影型的黑色银糊剂组合物的评价。使用上述实施例19~26和比较例3的黑色银糊剂组合物，用300目的聚酯丝网整面涂布到玻璃基板上。接着，使用热风循环式干燥炉在90。C干燥20分钟，形成指触干燥性良好的覆膜。接着，将形成了线宽50pm、间隔宽度200jim的条紋状负图案的玻璃干板作为光掩模使用，通过具备超高压汞灯作为光源的曝光装置(伯东公司生产，MAT-5301),以糊剂上的累积光量为40mJ/cn^的量曝光。其后，使用液体温度30。C的0.4质量％Na2C03水溶液显影20秒钟，水洗。最后，使用电炉在空气中烧成。另外，烧成中进行如下工序以5。C/分钟的升温速度从室温升温到590。C,在590。C保持10分钟，然后力支置冷却到室温。对这样操作所得的各基板的各种特性进行评价的结果在表8中示出。另外，表8中的评价方法如下。(1)吸光度的测定使用紫外可见分光光度计对于在钠4丐玻璃上形成了千燥膜厚5fim和10fim的涂膜的评价基板的吸光度进行测定。从所得的数据计算出405nm下每l(im厚度的吸光度。(2)感光性的评价以50mJ/cm2的累积光量曝光L/S=50/200pm的线曝光，使用液体温度30。C的0.4wto/oNa2CO3水溶液显影20秒钟，通过光学显微镜评价是否可形成线。评价基准如下。o:完全看不到欠缺。△:看得见若干欠缺。x:不能形成线。(3)最低曝光量的计算改变累积光量进行曝光，测定出可以没有欠缺地形成L/S=50/200(im的线的最小曝光量。(4)图案形成后的线的形状利用前述的最低曝光量曝光时，用显微镜观测碱显影型的黑色银糊剂组合物的显影后的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移、没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(5)烧成后的线的形状烧成后的线的形状是以显微镜观测直到烧成结束了的图案，评价线有没有不规则的偏移、歪扭等。评价基准如下。o:没有不规则的偏移，没有歪扭等。△:有若干不规则的偏移、歪扭等。x:有不规则的偏移、歪扭等。(6)密合性密合性是利用玻璃粘着胶带进行剥离，评价有没有图案的剥离。评价基准如下。o:没有图案的剥离。有若干图案的剥离。x:常常有图案的剥离。(7)比电阻值的测定除了使用形成有图案尺寸为0.4cmxl0cm的图案的光掩模进行曝光以外，与上述"烧成后的线形状，，的评价同样操作制备试验基板。对这样得到的试验基板，4吏用MilliohmHiTester测定烧成覆膜的电阻值，接着，使用SURFCORDER测定烧成覆膜的膜厚，计算出烧成覆膜的比电阻值。表8<table>tableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>由表8所示的结果可知，本发明的碱显影型的黑色银糊剂组合物具有充分的感光度，可形成高精细的图案。权利要求1.一种碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，其包含(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)一分子中具有至少1个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、(E-1)下述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂、以及(F)下述通式(II)所示的硫化合物，id="icf0001"file="S2007101872572C00011.gif"wi="77"he="14"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，R1表示氢原子、碳原子数1～6的烷基、或苯基，R2表示氢原子、碳原子数1～6的烷基，id="icf0002"file="S2007101872572C00012.gif"wi="24"he="14"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>或id="icf0003"file="S2007101872572C00013.gif"wi="60"he="13"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，R3表示烷基、芳基或取代芳基，R4表示氢原子或烷基，另外，R3和R4表示相互结合形成可以包含选自氧、硫和氮原子的杂原子的5元环到7元环所需要的非金属原子群。2.根据权利要求l所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述肟酯系光聚合引发剂(e-1)为下述通式(iii)所示的权利要求1所述的肟酯系光聚合引发剂，R3R、式中，1个或2个rs如下述通式(i)所示，其中2个rs如通式(i)所示时，包括仗5各自不同的情况；其余rs表示氢原子、曱基、苯基或卣原子，其中包括各rS各自不同的情况，式中，Ri表示氢原子、碳原子数16的烷基、或苯基，R2表示氢原子、碳原子数l-6的烷基。3.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述含羧基树脂(A)进一步是(A-1)具有一个以上自由基聚合性不饱和基团的含羧基树脂。4.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还包含(E-2)下述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式中，R6、R7各自地独立表示碳原子数l~IO的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、或者被囟原子、烷基或烷氧基取代的芳基、或者任一方为碳原子数l~20的羰基。5.根据权利要求4所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量比所述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量少。6.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还含有(G)硼酸。7.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，还含有(H)下述通式(V)或通式(VI)所示的磷化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>8.根据权利要求l~7任一项所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，涂布干燥所述权利要求l~7任一项所述的组合物而得到的涂膜的每lfim膜厚的吸光度为O.l~0.8。9.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述(C)无机粉末是黑色颜料(C-1)或银粉(C-2)。10.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量为组合物总量的O.l~1.0质量％。11.一种图案的形成方法，其特征在于，是使用了权利要求l~IO任一项所述的组合物的图案的形成方法，其中，该方法包括(1)通过活性能量射线进行图案曝光的工序、(2)通过以稀v喊性水溶液显影而选^^性地形成图案的工序、(3)在400~600。C下烧成的工序。12.根据权利要求ll所述的图案的形成方法，其特征在于，所述活性能量射线为激光振荡光源或灯光源。13.—种图案，其通过权利要求11或12所述的图案的形成方法而获得。14.根据权利要求13所述的图案，其特征在于，所述图案为导电性图案。15.根据权利要求13或14所述的图案，其特征在于，所述图案包含黑色矩阵图案。16.—种等离子显示面板，其包含使用权利要求l~IO任一项所述的碱显影型的糊剂组合物而形成的图案。17.—种等离子显示面板，其包含权利要求13~15任一项所述的图案。全文摘要本发明提供一种碱显影型的糊剂组合物，其适于使用了最大波长350nm～420nm的活性能量射线的激光直接成像装置，对效率良好地形成精细的图案有用，并且保存稳定性优异。一种碱显影型的糊剂组合物，其特征在于，其包含(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)一分子中具有至少1个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、和(E-1)2-(乙酰氧基亚氨基甲基)噻吨-9-酮等肟酯系光聚合引发剂、以及(F)2-巯基苯并噻唑等硫化合物。文档编号G03F7/029GK101183219SQ20071018725公开日2008年5月21日申请日期2007年11月15日优先权日2006年11月15日发明者伊藤信人,佐佐木正树,有马圣夫申请人:太阳油墨制造株式会社