专利名称：自动清洗承载平台装置的制作方法
技术领域：
本发明属一种平台清洁装置技术领域，是对现有技术进步改进，具体涉 及一种自动清洗承载平台装置。光阻涂布设备的洁净度在微影制程良率上扮演相当重要的角色，光阻涂 布设备容易沾染灰尘粒子或光阻凝固物质，进而影响涂布的质量，因此，维 护涂布平台上的洁净度相当重要。一般来说光阻涂布装置(linear coater imi t )是以精度相当高的喷嘴 (nozzle)做涂布(coating),目前经常在喷嘴平台(nozzle stage)上发 生很多异常，而必须以人力方式在平台上以无尘布或吸尘器做清洁，此种方 式会造成许多问题，例如1. 人员在清洁机台时有可能在保养时造成零件(如喷嘴、线性马达等损 坏)。2. 由于平台之价格相当昂贵，人员进行清洁机台时可能造成平台本体损伤 的可能。3. 人员清洁机台时间较长，洁净度也较差，且清洁液、无尘布等耗材损失 花费相当可观。4. 若洁净度不佳将造成机台后续异常发生，或后续玻璃背面刮伤之风险。例如我国台湾专利公告号第M292784号之专利申请提供一种光阻涂布设备之组件洁净装置，为其并无针对喷嘴平台(nozzle stage )做重点式清洁， 所以清洁效果有限，此外该专利申请为一可拆卸之移动装置，欲清洁时组装 时间相对较为耗时。又如我国台湾专利公告号第1287472号， 一种尘埃清净 器，主要为一除尘装置，针对于平台上做清洁，其系具有一空气吸入室及一 空气喷出室，可对被除尘对象喷出洗涤空气，令尘埃自被除尘对象飞散，接着将尘埃吸入空气吸入室，达到清洁效果，但该尘埃清净器对被除尘对象喷 出洗涤空气时，并无法有效控制尘埃之飞溅方向，经常使尘埃扩散，造成二 次污染。发明内容本发明的目的是避免上述现有技术中的不是之处而提供的一种自动清 洗承载平台装置，该自动清洗承载平台装置能更有效清除附于平台上之异物；能有效降低人为造成机台对象的损伤；能缩短清理平台之时间，有效 降低保养时间，增加生产时效；能降低因清洁效率不佳造成的后续当机异 常，有效降低成本。本发明的目的可通过下列的措施来实现一种自动清洗承载平台系统，其系做一往复作动以清洁平台，该自动 清洗承载平台系统包括 一支撑架，其系位于一系统运作机台； 一第一开 口部份，其系位于该支撑架上方； 一第二开口部份，其系位于该支撑架上 方并与第一开口部份连结； 一档片，其系位于该第一开口部份与该第二开 口部份侧边。上述所述支撑架与承载平台间设有一机构垫片组，增加缓冲降低震动 所带来之损伤。上述所述第一开口部份前端系为一吹气孔，其吹出气流可将平台上之 异物吹起。上述所述吹气孔有一角度设计30-50度，以利异物吹起。上述所述第一开口部份后端接续为一高真空管路快速接头，其系为连 接厂物端来源及该吹气装置。上述所述第一开口部份之流道中更包含一过滤装置，可过滤干燥空气。上述所述过滤装置可为 一可更换式干燥滤网。上述所述过滤装置可为 一可静电式干燥滤网。上述所述第二开口部份前端为一吸气孔，可供吸入气流通过，其吸入 气流可将该平台上之异物吸入流道。上述所述第二开口部份后端接续为一高真空管路快速接头，其系为连 接厂物端来源及该吸气装置。上述所述第二开口部份之流道中更包含一黏片滚简，其系位于该吸气 装置出口处。上述所述黏片滚简系为一可拆换式黏片滚简，可辅助并加强吸附后之异物掉落之可能性。上述所述黏片滚简系为 一可自动化更换式黏片滚简，可由自动化机构自动更换新的黏片滚简。上述所述第二开口部份之流道上包含一吸气装置角度调节栓，该角度调节栓可调节吸气装置与承载平台之角度。上述所述角度调节栓系为一手动旋钮式微调装置。上述所述角度调节栓系为 一 自动化调整之微调装置。上述所述自动清洗承载平台系统于回复时只可进行吸气之动作。上述所述文件片为一隔档硬物，其系可清除较大之突起物。上述所述文件片为可调式档片，可调整档片与承载平台之距离。上述所述文件片与第一开口部份及第二开口部份间有一异物回流空间，避免吹出气流于平台上造成扰流而将异物扩散。 上述所述支撑架可做为 一龙门式架构。本发明相比现有技术具有如下优点 一是能更有效清除附于平台上之异物；二是能有效降低人为造成机台对象的损伤；三是能缩短清理平台之 时间，有效降低保养时间，增加生产时效；四是能降低因清洁效率不佳造 成的后续当机异常，有效降低成本。
图l为本发明之结构示意图。图2为本发明于前进方向之实施状态示意图。图3为本发明于回复方向之实施状态示意图。图4为本发明之作动运行方式示意图。图5为本发明之龙门式结构示意图。图号说明iO平台 12自动清洗承载平台系统13系统运作机台 14支撑架16第一开口部份 18第二开口部份20檔片 22高真空管路快速接头24机构垫片组 26过滤装置28黏片滚简32吹气气流 36电磁阀34吸气气流 38前进信号 42龙门式框架30角度调节栓40后退信号具体实施方式
本发明系为 一种自动清洗承载平台系统，以下遂配合图式来进一步说 明本创作之特点。第一图为本发明之结构示意图，如图所示， 一平台10上方有一自动清 洗承载平台系统12，其中有一系统运作机台13， 一支撑架14,位于该系统 运作机台13上方，该支撑架14上接续有两开口， 一为第一开口部份16， 其系位于该支撑架14上方， 一第二开口部份18，其系位于该支撑架14上 方并与第一开口部份16连结，该第一开口部份16与第二开口部份18后端 接续为一高真空管路快速接头22,其系主要为连接厂物端来源及该装置， 其中第一开口部份16系由快速接头22接续厂物端高压吹出装置，其厂物 端来源可控制吹出气流的压力大小，其中第二开口部份18系由快速接头22 接续厂物端高压吸入装置，其厂物端来源可控制吸入气流的压力大小吹吸 气压力可相互配合达到平衡； 一檔片20,其系位于第一开口部份16及第二 开口部份18之侧边，且该档片20系为一可调式档片，可调整文件片20与 系统运作机台13上平台IO之距离，使其该档片20可为一隔档硬物，其系 可清除较大之突起物，避免凸起物伤害该系统运作机台13上接近平台10 之喷涂嘴；此外该可调整檔片20与第一开口部份16和第二开口部份18间 有一异物回流空间，其第一开口部份16将异物自平台IO上吹起时可使异 物在其异物回流空间飘浮，并该空间可避免吹出气流于平台10上造成扰流， 令异物扩散造成再次污染，再经由第二开口部份18将此空间之飘浮异物吸 取；另于支撑架14与系统运作机台13间设有一机构垫片组24，其主要目的为减缓震动造成的硬件摩擦，且减少硬件摩擦所产生之异物；其中该第 一开口部份16前端系为一吹气孔，其吹出气流可将平台IO上之异物吹起, 该吹气孔有一角度设计30-50度，可利于吹起异物，于第一开口 16部份之 流道中设有一过滤装置26，其为一种静电式及可更换式之干燥滤网，主要 用以过滤及干燥空气；自动清洗承载平台系统12上之第二开口部份18之 前端为一吸气孔，系主要供吸入气流通过，其吸入气流可将平台IO上之异 物吸该第二开口部份18之流道中，达到清洁之效果，另于第二开口部份18之流道中出口端有一可拆换式之黏片滚简28，可辅助并加强吸附后异物掉落之黏附性，该黏片滚简28为一可自动更换之黏片滚简，可由自动化机构 自动更换新的黏片滚简；位于该第二开口部份18之流道内有一吸气装置角 度调节栓30，该角度调节栓30系可为一自动化调整之微调装置，亦可为一 手动式旋钮微调装置，主要用以调整吸气孔与平台IO角度，用以吸附平台 IO较为广泛之面积。第二图为本发明于前进方向之实施状态示意图，如图所示，如该系统 于前进方向作动时，其第一开口部份16内之吹气气流32与第二开口部份 18内之吸气气流34,可同时产生于前进方向作动，由此吹气气流32，通过 流道内的过滤装置26,将异物吹起，再经由檔片20阻挡，可避免吹气气流 32于平台IO上造成扰流，将异物扩散，接着再经由第二开口部份18，将 平台10上异物吸入，并于第二开口部份18之流道中出口端之黏片滚简28， 吸附异物。第三图为本发明于回复方向之实施状态示意图，如图所示且配合第四 图，如该系统于回复方向作动时，其第一开口部份16内将因电磁闽36控 制而停止产生吹气气流32，而第二开口部份18内之吸气气流34，因电磁 阀36控制而可产生于回复方向作动。第四图为本发明之作动运行方式示意图，如图所示，当该系统于前进 方向作动时，其第一开口部分16与第二开口部分18会同时因电磁闽36导 通而进行作动，吹气气流32与吸气气流34可同时产生于前进方向；当该 系统行进之末端时，则前进方向信号38会同时关闭第一开口部分16与第 二开口部分18之电磁阀36，停止所有动作；当该系统于回复方向作动时， 后退信号40则会单独控制第二开口部分18,再进行二次抽除动作；待系统 回复至原点后，所有信号皆关闭，结束所有流程动作。第五图为本发明之龙门式结构示意图，如图所示， 一平台10上方有一 自动清洗承载平台系统12 ，位于该自动清洗承载平台系统12中有一系统运 作机台13,该系统运作机台13上具有一支撑架14， 一龙门式框架42位于 该支撑架14上方，并与该支撑架14整体相接合，该支撑架14系可于该龙 门式框42上做前进及回复之动作；该支撑架14上接续有两开口， 一为第 一开口部份16，其系位于该支撑架14上方， 一第二开口部份18，其系位 于该支撑架14上方并与第一开口部份16连结，该第一开口后端接续为一 高真空管路快速接头22，其系主要为连接厂物端来源及该装置； 一檔片20,其系位于第一开口部份16及第二开口部份18之侧边，该档片20为一隔档硬物，其系可清除较大之突起物，避免凸起物伤害该平台上系统运作机台13之喷涂嘴，且该档片20系为一可调式档片，可调整档片20与自动清洗 承载平台系统12之距离，此外该档片20与第一开口部份16和第二开口部 份18间有一异物回流空间，该空间可避免吹出气流于平台IO上造成扰流， 使异物扩散造成再次污染；另于支撑架14与承载平台间设有一机构垫片组 24,其主要目的为减缓震动造成的硬件摩擦；其中该第一开口部份16前端 系为一吹气孔，其吹出气流可将平台IO上之异物吹起，该吹气孔有一角度 设计30-50度，可利于吹起异物，于第一开口 16部份之流道中设有一过滤 装置26，其为一种静电式及可更换式之干燥滤网，主要用以过滤干燥空气； 自动清洗承载平台系统12上之第二开口部份18之前端为一吸气孔，系主 要供吸入气流通过，其吸入气流可将平台10上之异物吸该第二开口部份18 之流道中，达到清洁之效果，另于第二开口部份18之流道中出口端有一可 拆换式之黏片滚简28,可辅助并加强吸附后异物掉落之黏附性，该黏片滚 简28为 一可自动更换之黏片滚简，可由自动化机构自动更换新的黏片滚简； 位于该第二开口部份18之流道内有一吸气装置角度调节栓30,该角度调节 栓30系为一自动化调整之微调装置，为一手动式旋钮微调装置，主要用以 调节第二开口部份18与自动清洗承载平台系统12之角度。当该系统在龙 门式框架42上于前进方向作动时，其第一开口部份16内之吹气气流32与 第二开口部份18内之吸气气流34,可同时产生于前进方向作动，由此吹气 气流32，通过流道内的过滤装置26，将异物吹起，再经由檔片20阻挡， 可避免吹气气流32于平台10上造成扰流，将异物扩散，接着再经由第二 开口部份18，将平台10上异物吸入，并于第二开口部份18之流道中出口 端之黏片滚简28，吸附异物。当该系统在龙门式框架42上，于回复方向作 动时，其第一开口部份16内将因电磁阀36控制而停止产生吹气气流32， 而第二开口部份18内之吸气气流34，因电磁阀36控制而可产生于回复方 向作动。以上所述实施例仅系为说明本发明之技术思想及特点，其目的在使熟习 此项技艺之人士能够了解本发明之内容并据以实施，当不能以之限定本发明 之专利范围，即大凡依本发明所揭示之精神所作之均等变化或修饰，仍应涵 盖在本发明之专利范围内。
权利要求
1.一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该自动清洗承载平台系统包括一支撑架，其系位于一系统运作机台；一第一开口部份，其系位于该支撑架上方；一第二开口部份，其系位于该支撑架上方并与第一开口部份连结；一档片，其系位于该第一开口部份与该第二开口部份侧边。
2. 根据权利要求1所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该支撑 架与承载平台间设有一机构垫片组，增加缓冲降低震动所带来之损伤。
3. 根据权利要求l所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该第 一开口部份前端系为一吹气孔，其吹出气流可将平台上之异物吹起。
4. 根据权利要求1或3所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该吹气孔有一角度设计30-50度，以利异物吹起。
5. 根据权利要求1或3所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于 该第一开口部份后端接续为一高真空管路快速接头，其系为连接厂物端来 源及该吹气装置。
6. 根据权利要求3所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该第 一开口部份之流道中更包含一过滤装置，可过滤干燥空气。
7. 根据权利要求1或6所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于 该过滤装置可为一可更换式干燥滤网。
8. 根据权利要求1或6所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于 该过滤装置可为一可静电式干燥滤网。
9. 根据权利要求l所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该第 二开口部份前端为一吸气孔，可供吸入气流通过，其吸入气流可将该平台 上之异物吸入流道。
10. 根据权利要求1或9所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于:该第二开口部份后端接续为一高真空管路快速接头，其系为连接厂物端 来源及该吸气装置。
11. 根据权利要求1或9所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于 该第二开口部份之流道中更包含一黏片滚筒，其系位于该吸气装置出口 处。
12. 根据权利要求1或11所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于 该黏片滚筒系为一可拆换式黏片滚筒，可辅助并加强吸附后之异物掉落 之可能性。
13. 根据权利要求1或11所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于-该黏片滚筒系为一可自动化更换式黏片滚筒，可由自动化机构自动更换 新的黏片滚筒。
14. 根据权利要求9所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该第 二开口部份之流道上包含一吸气装置角度调节栓，该角度调节栓可调节 吸气装置与承载平台之角度。
15. 根据权利要求1或14所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于: 该角度调节栓系为一手动旋钮式微调装置。
16. 根据权利要求1或14所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于: 该角度调节栓系为一自动化调整之微调装置。
17. 根据权利要求1所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该自 动清洗承载平台系统于回复时只可进行吸气之动作。
18. 根据权利要求1所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该文 件片为一隔档硬物，其系可清除较大之突起物。
19. 根据权利要求1或18所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于: 该文件片为可调式档片，可调整档片与承载平台之距离。
20. 根据权利要求l所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该文件片与第一开口部份及第二开口部份间有一异物回流空间，避免吹出气 流于平台上造成扰流而将异物扩散。 21.根据权利要求1所述的一种自动清洗承载平台装置，其特征在于该支 撑架可做为一龙门式架构。
全文摘要
本发明系提供一种自动清洗承载平台系统，其特征在于可做前进及回复之往复运动，用以清洁一平台。其系包括一支撑架，位于一系统运作机台上，该支撑架上接续有两开口，一为第一开口部份，一为第二开口部份；一档片，其系位于该第一开口部份与第二开口部份侧边，该第一开口部份前端为一吹气孔，其吹出气流可将平台上之异物吹起，该第二开口部份前端为一吸气孔，可供吸入气流通过，吸入气流可将该平台上之异物吸入流道，位于该第一开口部份与第二开口部份侧边之一档片，其系可清除较大之突起物。
文档编号G03F7/16GK101281373SQ200810090269
公开日2008年10月8日 申请日期2008年3月28日 优先权日2008年1月31日
发明者刘耀隆, 叶奕志 申请人:深超光电(深圳)有限公司