感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法与流程

技术特征：

1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：粘合剂聚合物、(B)成分：光聚合性化合物和(C)成分：光聚合引发剂，其中，所述(B)成分包含(B1)成分：具有以-(C_mH_2mO)_n-表示的聚氧化亚烷基作为结构单元、并且双键当量为700以上的光聚合性化合物，所述m、n各自独立地为2以上的数，所述(A)成分和所述(B)成分的总量中所述(B1)成分的含有率为5质量％以上。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)成分包含来自于从苯乙烯、苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中选择的至少1种的结构单元(A1)，所述(A)成分的总量中所述结构单元(A1)的含有率为10质量％～60质量％。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B1)成分包含在一个分子中具有2个以上的光聚合性双键的光聚合性化合物。

4.根据权利要求1～权利要求3中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)成分还包含来自于烷基的碳原子数为5～20的(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元(A2)。

5.根据权利要求1～权利要求4中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B1)成分包含具有选自以-(C₂H₄O)_n-表示的聚氧化亚乙基和以-(C₄H₈O)_n-表示的聚氧化四亚甲基中的至少一种作为结构单元的光聚合性化合物，n为2以上的数。

6.根据权利要求1～权利要求5中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)成分含有(C1)化合物：具有2个吖啶基的吖啶化合物。

7.根据权利要求1～权利要求6中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)成分中，(C2)化合物：具有1个吖啶基的吖啶化合物的含量相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.3质量份～1.5质量份。

8.根据权利要求1～权利要求7中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)成分中，(C3)化合物：N-苯基甘氨酸的含量相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.1质量份以下。

9.一种感光性元件，其具有：支撑体；和使用权利要求1～权利要求8中的任一项所述的感光性树脂组合物在所述支撑体上形成的感光性树脂层。

10.一种抗蚀图案的形成方法，其具有：

感光性树脂层形成工序，该工序中使用权利要求1～权利要求8中的任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求9所述的感光性元件在基板上形成感光性树脂层；

曝光工序，该工序中对所述感光性树脂层的至少一部分的区域照射活性光线从而使所述区域固化；和

将所述感光性树脂层的所述区域以外的未曝光部分从所述基板除去的显影工序。

11.一种印刷配线板的制造方法，其包含对采用权利要求10所述的方法形成有抗蚀图案的基板进行蚀刻或镀覆的工序。