光刻胶显影液的制作方法

技术总结
本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源，其在进行显影工程时，能够维持微细图案的显影性，并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。

技术研发人员：郑玄铁;李相大;丁镇培
受保护的技术使用者：易安爱富科技有限公司
文档号码：201610406739
技术研发日：2016.06.12
技术公布日：2017.02.15