1.一种新型的掩模清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、使用臭氧和去离子水的混合液进行清洗；
S2、使用SC-1清洗液进行掩模清洗；
S3、使用去离子水再次清洗，以去除残留铵根离子；
S4、最后使用氮气和异丙醇将掩模上残留去离子水吹净吹干即可。
2.根据权利要求1所述的一种新型的掩模清洗方法，其特征在于，步骤S1中，控制臭氧浓度为40～60PPM，混合液温度为20～40℃。
3.根据权利要求1所述的一种新型的掩模清洗方法，其特征在于，步骤S2中，使用SC-1清洗液进行掩模清洗的同时配合超声波进行震荡。
4.根据权利要求1所述的一种新型的掩模清洗方法，其特征在于，步骤S2中，SC-1清洗液的成分以质量份数计包括氢氧化铵1份；双氧水5份；去离子水20份。
5.根据权利要求1所述的一种新型的掩模清洗方法，其特征在于，步骤S4中，将氮气加热摄氏170度，配合异丙醇将掩模上残留去离子水吹净吹干。