技术总结
本发明实施例提供一种掩膜版清洁装置，涉及掩膜版维护保养技术领域，能够去除掩膜版和支撑板上的灰尘或其他细小微粒。用于对待清洁掩膜版以及放置待清洁掩膜版的支撑板进行清洁，包括相对设置的第一面板和第二面板，第一面板与第二面板之间具有间隙，用于将待清洁掩膜版设置于第一面板与第二面板之间，且将第二面板设置于待清洁掩膜版与支撑板之间进行清洁操作；在第一面板靠近第二面板的一侧设置有多个出气口；至少在第二面板背离第一面板的一侧设置有多个出气口；在掩膜版清洁装置上还设置有与出气口相连接的气源。
技术研发人员：岳浩;张玉虎;王军帽;聂彬
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
文档号码：201610819424
技术研发日：2016.09.12
技术公布日：2017.01.04