技术总结
本发明是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀‑气动阀结构连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。优点：增加回收系统，提高药剂使用率，节省材料消耗，节省费用，降低公司成本。
技术研发人员：徐飞;彭建中;李亚明;高广修;吴昌龙;张良
受保护的技术使用者：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
文档号码：201611016640
技术研发日：2016.11.18
技术公布日：2017.02.15