掩膜板及彩色滤光片的制作方法与流程

技术特征：

1.一种掩膜板，其特征在于，用于制作彩色滤光片，具有图案区域，包括玻璃基板(101)、以及设于所述玻璃基板(101)上的金属膜(102)和多个半透膜(103)；

所述金属膜(102)在玻璃基板(101)上形成遮光区域，并在对应所述图案区域上设有数个开口(104)；

所述多个半透膜(103)对应设于所述图案区域上，所述图案区域为半透光区域；

所述图案区域上的多个半透膜(103)的透光率由掩膜板的四周边界处向中心处递减。

2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述图案区域上的多个半透膜(103)的透光率为50％-100％。

3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述金属膜(102)的材料为铬。

4.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述玻璃基板(101)为石英玻璃基板。

5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，其厚度为5-20mm。

6.一种彩色滤光片的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供一衬底基板(200)，在所述衬底基板(200)上涂布光阻材料形成光阻层(300)；

步骤S2、提供如权利要求1-5中任一项所述的掩膜板(100)，利用所述掩膜板(100)对所述光阻层(300)进行曝光；

步骤S3、对曝光后的所述光阻层(300)进行显影，得到所述彩色滤光片上所需的色阻图案(350)。

7.如权利要求6所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所述衬底基板(200)为彩膜基板、或薄膜晶体管基板。

8.如权利要求6所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所述步骤S2中，通过曝光机对所述光阻层(300)进行曝光，所述曝光机为投影式曝光机。

9.如权利要求6所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所述步骤S1中，所涂布的光阻材料为正性光刻胶材料；所涂布的光阻材料为红色、绿色、或蓝色光刻胶材料。

10.如权利要求6所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所述步骤S3还包括，在对所述光阻层(300)进行显影后，对所述光阻层(300)进行烘烤。