显示装置的制作方法

文档序号:23348571发布日期:2020-12-18 16:51阅读:135来源:国知局
显示装置的制作方法

本发明涉及显示装置,更详细而言涉及可实现高分辨率的显示装置。



背景技术:

对于高分辨率显示装置的需求正在增加。为了超越视角的界限,也为了显示三维图像,高分辨率显示装置是必须的。另外,目前在使用者相对近距离看显示装置的头戴式显示器中也需要高分辨率显示装置,而且在智能电话、电视机、笔记本电脑、监控器等中,高分辨率显示装置的必要性也正在增加。

但是,由于用于制造高分辨率显示装置的工序设备的界限,缩小驱动像素的薄膜晶体管的大小是有限的,即便缩小了,也存在薄膜晶体管性能无法满足目标基准值的问题。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种高分辨率显示装置。

另外,本发明的目的在于,在显示装置中将垂直串扰现象最小化,并提高显示元件的响应速度和/或亮度,减小有源图案与第二电极之间的接触电阻。

本发明的实施例涉及的显示装置可以包括基底基板、有源图案、第一电极、第二电极、控制电极以及显示元件。所述有源图案可以配置在所述基底基板上。所述第一电极可以配置在所述基底基板与所述有源图案之间,且与所述有源图案的一端连接。所述第二电极可以配置在所述有源图案的上部,且与所述有源图案的另一端连接。所述控制电极可以与所述有源图案重叠,且与所述有源图案绝缘。所述显示元件可以配置在所述第二电极的上部,且与所述第二电极连接。

显示装置还可以包括在所述第二电极与所述第一电极之间配置的至少两个以上的绝缘层。

显示装置可以包括第一绝缘层至第四绝缘层。所述第一绝缘层可以配置在所述第一电极与所述有源图案之间。所述第二绝缘层可以配置在所述有源图案与所述控制电极之间。所述第三绝缘层可以配置在所述控制电极与所述第二电极之间。所述第四绝缘层可以配置在所述第二电极与所述显示元件之间。

所述第一电极可以通过设置在所述第一绝缘层的第一接触孔与所述有源图案接触。所述第二电极可以通过设置在所述第二绝缘层和所述第三绝缘层的第二接触孔与所述有源图案接触。

所述第一绝缘层的厚度可以比所述第一电极的厚度厚。

所述控制电极可以配置在所述有源图案的上部。

显示装置还可以包括在第一方向上彼此相邻且在与所述第一方向相互交叉的第二方向上延伸的第一数据线以及第二数据线。所述有源图案可以与所述第一数据线重叠且与所述第二数据线不重叠,并在所述第一数据线与所述第二数据线之间延伸。

显示装置还可以包括与所述第一数据线和所述第二数据线绝缘且交叉的栅极线。所述栅极线可以在所述第一方向上配置在所述第二电极的两侧,所述栅极线可以在所述第二方向上配置在所述第二电极的一侧且不配置在另一侧。

所述第二电极可以配置在所述第一数据线与所述第二数据线之间。

所述显示元件可以包括像素电极、基准电极以及液晶层。所述像素电极可以与所述第二电极连接。所述基准电极可以与所述像素电极绝缘且重叠,可以接收预定的电压。所述液晶层可以根据施加到所述像素电极以及所述基准电极的电压变更液晶分子的排列状态。

显示装置还可以包括配置在所述像素电极与所述基准电极之间的层间绝缘膜。所述像素电极可以配置在所述层间绝缘膜上。所述液晶层可以配置在所述像素电极上。

显示装置还可以包括配置在所述第二电极与所述显示元件之间且与所述显示元件重叠的滤色器。

显示装置还可以包括配置在所述滤色器与所述显示元件之间且覆盖所述滤色器的覆盖层。

显示装置还可以包括配置在所述第二电极与所述第一电极之间的至少三个以上的绝缘层。

本发明的实施例涉及的显示装置可以包括基底基板、有源图案、第一电极、第二电极、控制电极、多个绝缘层以及显示元件。所述有源图案可以配置在所述基底基板上。所述第一电极可以配置在与所述有源图案相互不同的层上,且可以与所述有源图案的一端连接。所述第二电极可以配置在与所述有源图案和所述第一电极相互不同的层上,且可以与所述有源图案的另一端连接。所述控制电极可以与所述有源图案重叠,且可以与所述有源图案绝缘。多个所述绝缘层可以配置在所述第二电极与所述第一电极之间,且可以是至少两个以上。所述显示元件可以配置在所述第二电极的上部,且可以与所述第二电极连接。

所述第二电极可以配置在所述有源图案的上部。

所述第一电极可以配置在所述有源图案的下部。

配置在所述第二电极与所述第一电极之间的多个所述绝缘层可以是三个以上。

本发明的实施例涉及的显示装置可以包括基底基板、有源图案、第一电极、第二电极、控制电极、显示元件以及第一绝缘层至第四绝缘层。

所述有源图案可以配置在所述基底基板上。所述第一电极可以配置在与所述有源图案相互不同的层上,且可以与所述有源图案的一端连接。所述第二电极可以配置在与所述有源图案和所述第一电极相互不同的层上,且可以与所述有源图案的另一端连接。所述控制电极可以与所述有源图案重叠,且可以与所述有源图案绝缘。所述显示元件可以配置在所述第二电极的上部,且可以与所述第二电极连接。

所述第一绝缘层可以配置在所述第一电极与所述有源图案之间。所述第二绝缘层可以配置在所述有源图案与所述控制电极之间。第三绝缘层可以配置在所述控制电极与所述第二电极之间。所述第四绝缘层可以配置在所述第二电极与所述显示元件之间。

所述控制电极可以配置在所述有源图案的上部。

(发明效果)

根据本发明的实施例,可以使配置有第一电极的层和配置有第二电极的层结构不同,从而可以实现高分辨率显示装置。

在本发明的实施例中,在第二电极与第一电极之间配置多个绝缘层,因此可以将寄生电容的静电电容控制得相对小,可以将垂直串扰现象最小化。

在本发明的实施例中,在控制电极与第一电极之间配置多个绝缘层,因此可以将施加到显示元件的像素电极的电压信号的rc延迟值相对减小,可以提高响应速度和/或亮度。

在本发明的实施例涉及的显示面板中,有源图案与第二电极的接触面积增加,可以减小接触电阻。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例涉及的显示装置的立体图。

图2是图1的显示装置的分解立体图。

图3是表示图2的显示装置的一部分的框图。

图4是放大表示本发明的实施例涉及的显示面板的一部分的平面图。

图5是沿着图4的i-i′线截取的剖视图。

图6是沿着图4的ii-ii′线截取的剖视图。

图7是表示发生了垂直串扰的显示面板的示意图。

图8a至图8c是表示在比较例涉及的显示面板中形成与图5的aa区域对应的区域的结构的工序的一部分的剖视图。

图9是在本发明的其他实施例涉及的显示面板中沿着图4的i-i′线截取的剖视图。

图10是在本发明的其他实施例涉及的显示面板中沿着图4的ii-ii′线截取的剖视图。

图11是截取了本发明的其他实施例涉及的显示面板的一部分的剖视图。

图12是在本发明的其他实施例中沿着图4的i-i′线截取的剖视图。

图13是沿着图5的ii-ii′线截取的剖视图。

图14是放大表示本发明的其他实施例涉及的显示面板的一部分的平面图。

图15是沿着图14的i-i′线截取的剖视图。

图16是沿着图14的ii-ii′线截取的剖视图。

(符号说明)

dp:显示面板;tr:薄膜晶体管;act:有源图案;ie:第一电极;oe:第二电极;ce:控制电极;el1:像素电极;el2:基准电极。

具体实施方式

在本说明书中,在提及某一构成要素(或者区域、层、部分等)位于其他构成要素上、与其连接或者结合的情况下,意味着直接配置/连接/结合在其他构成要素上,或者在其间还可以配置有第三构成要素。

相同的符号指代相同的构成要素。另外,在各图中,各构成要素的厚度、比率以及尺寸为了技术内容的有效的说明而有所夸张。

“和/或”包括所有可以定义相关的构成的一个以上的组合。

第一、第二等用语可以用于说明各种构成要素,所述构成要素不应限于所述用语。所述用语仅用作使一个构成要素区别于另一个构成要素的目的。例如,在不超出本发明的权利范围的情况下,第一构成要素可以被命名为第二构成要素,类似地,第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表现在文中没有明确相反意思时包括多个的表现。

另外,“在下方”、“在下侧”、“在上方”、“在上侧”等用语为了说明图示的各构成的连接关系而使用。各所述用语是相对的概念,以图示的方向为基准进行说明。

只要没有不同的定义,在本说明书中使用的所有用语(包括技术用语以及科学用语)具有与本领域技术人员通常理解的意思相同的意思。另外,如在通常使用的字典中定义的用语这样的用语应解释为在相关技术脉络中具有一致的意思,只要不解释为理想的或者过于形式的意思,就在此明确定义。

“包括”或者“具有”等用语应理解为是指代说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或者它们的组合的存在,并不是事先排除一个或者其以上的其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或者它们的组合的存在或者附加可能性。

以下,参照附图,说明本发明的各实施例。

图1是表示本发明的一实施例涉及的显示装置的立体图,图2是图1的显示装置的分解立体图。

参照图1以及图2,显示装置ea可以是根据电信号被激活的装置。显示装置ea可以包括各种实施例。例如,显示装置ea可以包括台式机、笔记本电脑、计算机、智能电视机、智能电话等。

显示装置ea可以在前表面显示图像im。可以与由第一方向dr1和第二方向dr2定义的面平行地定义前表面。

显示装置ea的前表面包括透过区域ta以及与透过区域ta相邻的边框区域bza。显示装置ea在透过区域ta显示图像im。透过区域ta可以具有与第一方向dr1以及第二方向dr2分别平行的四边形状。但是,这是例示,透过区域ta可以具有各种形状,并不限于任一实施例。

边框区域bza与透过区域ta相邻。边框区域bza可以包围透过区域ta。但是,这是例示,边框区域bza也可以配置成仅与透过区域ta的一侧相邻,也可以省略。本发明的一实施例涉及的显示装置可以包括各种实施例,并不限于任一实施例。

前表面的法线方向可以对应于显示装置ea的厚度方向dr3(以下,称作第三方向)。在本实施例中,以显示图像im的方向为基准,定义各部件的前表面(或者上表面)和背面(或者下表面)。前表面和背面在第三方向dr3上互相对置。

另一方面,第一方向dr1至第三方向dr所指的方向是相对的概念,可以变换为其他方向。以下,第一方向至第三方向是第一方向dr1至第三方向dr3分别所指的方向,参照相同的符号。

显示装置ea可以包括窗部件wm、显示面板dp以及收纳部件hs。

窗部件wm提供显示装置ea的前表面。窗部件wm可以配置在显示面板dp的前表面而保护显示面板dp。例如,窗部件wm可以包括玻璃基板、蓝宝石基板或者塑料膜。窗部件wm可以具有多层或者单层结构。例如,窗部件wm可以具有利用粘接剂结合的多个塑料膜的层叠结构,或者具有利用粘接剂结合的玻璃基板与塑料膜的层叠结构。

窗部件wm可以被划分为透过区域ta以及边框区域bza。透过区域ta可以是使入射的光透过的区域。透过区域ta可以具有与有源区域aa对应的形状。例如,透过区域ta可以与有源区域aa的整个面或者至少一部分重叠。在显示面板dp的有源区域aa显示的图像im可以通过透过区域ta在外部被识别出。

边框区域bza可以是与透过区域ta相比光透过率相对低的区域。边框区域bza定义透过区域ta的形状。边框区域bza可以与透过区域ta相邻,并包围透过区域ta。

边框区域bza可以具有预定的颜色。边框区域bza可以覆盖显示面板dp的周边区域naa来阻断从外部识别周边区域naa的情况。另一方面,这是例示,在本发明的一实施例涉及的窗部件wm中,也可以省略边框区域bza.

收纳部件hs可以与窗部件wm结合。收纳部件hs提供显示装置ea的背面。收纳部件hs与窗部件wm结合而定义内部空间。

收纳部件hs可以包括具有相对大的刚性的物质。例如,收纳部件hs可以包括由玻璃、塑料或金属构成的多个外壳和/或板。收纳部件hs可以从外部冲击稳定地保护收纳在内部空间的显示装置ea的各构成。在收纳部件hs所提供的内部空间可以收纳显示面板dp以及各种构成,例如主板、通信模块和电池等。

显示面板dp可以配置在窗部件wm的下部,并收纳在收纳部件hs内。

显示面板dp可以是有机发光显示面板(organiclightemittingdisplaypanel)、液晶显示面板(liquidcrystaldisplaypanel)、等离子显示面板(plasmadisplaypanel)、电泳显示面板(electrophoreticdisplaypanel)、mems显示面板(microelectromechanicalsystemdisplaypanel)以及电润湿显示面板(electrowettingdisplaypanel)等。

显示面板dp可以包括在平面上划分的有源区域aa以及周边区域naa。有源区域aa可以是根据电信号显示图像im的区域。周边区域naa可以是被边框区域bza覆盖的区域。周边区域naa与有源区域aa相邻。周边区域naa可以包围有源区域aa。在周边区域naa可以配置用于驱动有源区域aa的驱动电路或驱动布线等。

图3是表示图2的显示装置的一部分的框图。

在本发明的实施例中,以显示面板dp为液晶显示面板的情况为例进行说明。

显示装置ea除了显示面板dp外还可以包括时序控制器200、栅极驱动器300以及数据驱动器400。

显示面板dp可以包括多个栅极线g1~gm、多个数据线d1~dn、薄膜晶体管tr以及显示元件px。

栅极线g1~gm彼此被间隔开而延伸。数据线d1~dn与栅极线g1~gm交叉地彼此被间隔开而延伸。显示元件px通过薄膜晶体管tr而与栅极线g1~gm以及数据线d1~dn连接,从而显示图像im。

时序控制器200从外部的图形控制部(未图示)接收图像数据rgb以及控制信号。控制信号可以包括:垂直同步信号(以下称作“vsync信号”),是帧区别信号;水平同步信号(以下称作“hsync信号”,是行区别信号;数据选通信号(以下称作“de信号”),为了显示有数据输入的区域而在输出数据的期间内具有特定的信号电平;以及主时钟信号mclk。

时序控制器200将图像数据rgb变换成符合于数据驱动器400的规格,将变换后的图像数据data输出到数据驱动器400。时序控制器200生成栅极控制信号gs1以及数据控制信号ds1。时序控制器200向栅极驱动器300输出栅极控制信号gs1,并向数据驱动器400输出数据控制信号ds1。

栅极控制信号gs1是用于驱动栅极驱动器300的信号,数据控制信号ds1是用于驱动数据驱动器400的信号。

栅极驱动器300基于栅极控制信号gs1生成栅极信号,并将栅极信号输出到栅极线g1~gm。栅极控制信号gs1可以包括:指示扫描开始的扫描开始信号;控制栅极接通电压的输出周期的至少一个时钟信号;以及限定栅极接通电压的持续时间的输出允许信号。

数据驱动器400基于数据控制信号ds1,生成基于图像数据data的灰度电压并将其作为数据电压而输出到数据线d1~dn。

时序控制器200、栅极驱动器300以及数据驱动器400可以分别直接以至少一个集成电路芯片的形态被安装于显示面板dp,或者被安装于柔性印刷电路基板(flexibleprintedcircuitboard)上并以tcp(tapecarrierpackage)的形态附着于显示面板dp,或者被安装于其他印刷电路基板(printedcircuitboard)上。与此不同地,栅极驱动器300以及数据驱动器400中的至少一个可以和栅极线g1~gm、数据线d1~dn以及薄膜晶体管tr一起被集成在显示面板dp上。另外,时序控制器200、栅极驱动器300以及数据驱动器400可以被集成为单一芯片。

图4是放大表示本发明的实施例涉及的显示面板的一部分的平面图,图5是沿着图4的i-i′线截取的剖视图,图6是沿着图4的ii-ii′线截取的剖视图。

图4示出了配置有图3的一个显示元件px的区域。

显示面板dp可以包括基底基板sub1、驱动元件层drl以及显示元件层dpl。

基底基板sub1可以是绝缘基板。基底基板sub1可以由玻璃、塑料等各种物质构成,并不限于任一实施例。

驱动元件层drl配置在基底基板sub1上。驱动元件层drl可以包括参照图3说明的栅极线g1~gm、数据线d1~dn以及薄膜晶体管tr。

在图4中例示了彼此相邻的两个数据线dla、dlb、一个栅极线gla以及薄膜晶体管tr。

相邻的数据线dla、dlb沿着第二方向dr2延伸。在本实施例中说明的显示面板dp是高分辨率显示面板,在第一方向dr1上相邻的数据线dla、dlb之间的距离可以在5μm以下。

栅极线gla可以大致在第一方向dr1上延伸,但是在与数据线dla、dlb重叠的区域可以具有一部分弯曲的部分。栅极线gla可以配置在与数据线dla、dlb相互不同的层上。

薄膜晶体管tr可以与一个数据线dla和一个栅极线gla连接,通过数据线dla以及栅极线gla可以驱动显示元件层dpl的显示元件px。

薄膜晶体管tr可以包括第一电极ie、第二电极oe、有源图案act、控制电极ce。另外,驱动元件层drl可以包括配置在第一电极ie、第二电极oe、有源图案act、控制电极ce之间的绝缘层,在本发明的实施例中,包括第一绝缘层il1至第四绝缘层il4。

第一电极ie可以配置在基底基板sub1上。第一电极ie可以与有源图案act的一端连接。第一电极ie可以被定义为数据线dla的一部分。但是,并不限于此,第一电极ie可以具有从数据线dla突出的形状。第一电极ie可以具有多层结构,例如可以具有依次层叠了ti/al/ti的结构。

第一绝缘层il1可以配置在第一电极ie上。第一绝缘层il1可以包括氧化硅或者氮化硅。第一绝缘层il1可以具有比第一电极ie厚的厚度。如后述那样,在第一绝缘层il1的厚度比第一电极ie的厚度厚的情况下,容易将第二电极oe与第一电极ie之间的寄生电容cpa、cpb的静电电容控制得相对小。

有源图案act可以从第一电极ie开始在第一方向dr1上延伸,且被弯曲后在相邻的数据线dla、dlb之间在第二方向dr2上延伸。有源图案act可以与相邻的数据线dla、dlb中的一个数据线(例如dla)重叠,且与另一个数据线(例如dlb)不重叠。

有源图案act可以配置在第一绝缘层il1上。有源图案act可以包括非晶硅、多晶硅以及氧化物半导体中的任一种。有源图案act的一端可以通过在第一绝缘层il1设置的第一接触孔ch1与第一电极ie接触。

第二绝缘层il2可以配置在有源图案act上。第二绝缘层il2可以使有源图案act和控制电极ce绝缘。第二绝缘层il2可以包括氧化硅或者氮化硅。

控制电极ce可以配置在第二绝缘层il2上。控制电极ce可以被定义为栅极线gla的一部分。但是,并不限于此,控制电极ce可以具有从栅极线gla突出的形状。控制电极ce可以与有源图案act重叠。

在本实施例中,例示了控制电极ce配置在有源图案act的上部的情况,但是并不限于此,也可以配置在有源图案act的下部。

第三绝缘层il3可以配置在控制电极ce上。第三绝缘层il3可以包括氧化硅或者氮化硅。

第二电极oe可以配置在相邻的数据线dla、dlb之间。栅极线gla可以以开口的形态包围第二电极oe。即,栅极线gla可以在第一方向dr1上配置在第二电极oe的两侧,并且栅极线gla可以在第二方向dr2上配置在第二电极oe的一侧,但并不配置在另一侧。

第二电极oe可以配置在第三绝缘层il3上。第二电极oe可以配置在与第一电极ie、有源图案act以及控制电极ce相互不同的层上。第二电极oe可以通过在第二绝缘层il2以及第三绝缘层il3设置的第二接触孔ch2而与有源图案act的另一端接触。

第四绝缘层il4可以配置在第二电极oe上。第四绝缘层il4可以包括氧化硅或者氮化硅。

随着实现高分辨率显示装置,相邻的数据线dla、dlb之间的距离会相对变窄。若将第二电极oe配置在与第一电极ie相同的层上,则第二电极oe需与第一电极ie间隔开,当考虑工序上的裕度时,配置第二电极oe的空间就会变窄。在本发明的实施例中,使配置有第一电极ie的层和配置有第二电极oe的层结构不同,从而可以形成用于实现高分辨率显示装置的驱动元件层drl。

图7是表示发生了垂直串扰的显示面板的示意图。

以向配置在图7的显示面板1的第一区域ar1的显示元件输出与白色图像对应的数据,且向配置在除了第一区域ar1的剩余区域的显示元件输出与黑色图像对应的数据的情况为例,进行说明。

在显示面板1的数据线沿着第二方向dr2延伸的情况下,配置于在第二方向dr2上与第一区域ar1相邻的第二区域ar2以及第三区域ar3的显示元件和配置于第一区域ar1的显示元件共用数据线。因向配置于第一区域ar1的显示元件施加的白色数据,配置于第二区域ar2以及第三区域ar3的显示元件的像素电极的电位可能会变高,由此,第二区域ar2以及第三区域ar3可能会显示白色与黑色之间的灰色图像。此时,与配置在第一区域ar1的显示元件不共用数据线的第四区域ar4可以显示黑色图像。这种现象可以定义为垂直串扰。

若不同于本发明的实施例,第一电极和第二电极位于同一层上,或者在第一电极与第二电极之间配置一个绝缘层的情况下,第一电极与第二电极之间的距离相对变近,在第一电极与第二电极之间形成的寄生电容的静电电容会进一步增加,垂直串扰现象可能会增加。

再次参照图4至图6,在本发明的实施例中,在第二电极oe与相邻的数据线dla、dlb之间可以形成寄生电容cpa、cpb。在第二电极oe与数据线dla、dlb之间可以配置第一绝缘层il1至第三绝缘层il3。在本发明的实施例中,不同于比较例,在第二电极oe与第一电极ie之间配置有多个绝缘层,因此可以将寄生电容cpa、cpb的静电电容控制得相对小,可以将垂直串扰现象最小化。

通常,在薄膜晶体管中,在控制电极与第一电极之间形成的电容的静电电容越增加,通过薄膜晶体管施加的信号的rc延迟值会越增加。

若与本发明的实施例不同地,在控制电极与第一电极之间配置一个绝缘层的情况下,控制电极与第一电极之间的距离相对减小,在控制电极与第一电极之间形成的电容的静电电容会相对增加。因此,通过薄膜晶体管施加到显示元件的像素电极的信号的rc延迟值会增加,响应速度或亮度与目标值相比可能会不足。

在本发明的实施例中,可以在控制电极ce与第一电极ie之间配置第一绝缘层il1和第二绝缘层il2。在本发明的实施例中,与比较例不同,在控制电极ce与第一电极ie之间配置多个绝缘层,因此施加到显示元件px的像素电极el1的电压信号的rc延迟值会相对减小,可以提高响应速度和/或亮度。

显示元件层dpl配置在驱动元件层drl上。

显示元件层dpl可以包括多个显示元件px。在本发明的实施例中,显示元件px可以是液晶显示元件。但是,并不限于此,在本发明的其他实施例中显示元件px可以是有机发光显示元件。

显示元件px可以包括像素电极el1、基准电极el2以及液晶层lc。

像素电极el1可以通过设置在第四绝缘层il4的第三接触孔ch3与第二电极oe连接。像素电极el1以及基准电极el2可以彼此相向且被绝缘。像素电极el1以及基准电极el2可以包括透明的导电物质。像素电极el1可以接收通过薄膜晶体管tr施加的电压,基准电极el2可以接收一定的公共电压。

液晶层lc包括液晶分子。可以根据施加到像素电极el1和基准电极el2的电压,变更液晶分子的排列状态,从而使从显示元件层dpl的下部入射的光透过或者阻断该光。在本发明的实施例中,例示了液晶层lc配置在像素电极el1与基准电极el2之间的情况。

显示元件层dpl还可以包括上部层upl。上部层upl可以起到保护显示元件px的作用,或者可以是配置显示元件px的一构成、例如基准电极el2的衬底基板。上部层upl只要由绝缘物质构成即可,可以设置成各种形态和物质。

图8a至图8c表示在比较例涉及的显示面板中形成与图5的aa区域对应的区域的结构的工序的一部分的剖视图。通过图8a至图8c的比较例的制造工序说明本发明的实施例涉及的显示装置的效果。

对于图8a至图8c的比较例涉及的显示面板2的各构成的符号,在与参照图4至图6说明的显示面板dp中的对应的各构成的符号上加了“-1”来表示。

在图8a至图8c的显示面板2中,在有源图案act-1的上部可以配置控制电极ce-1,在控制电极ce-1的上部可以配置第二电极oe-1。第二电极oe-1通过接触孔chk与有源图案act-1连接。虽然未图示,但是第一电极配置在控制电极ce-1与第二电极oe-1之间,即配置在第二绝缘层il2-1与第三绝缘层il3-1之间。

参照图8a,形成第二电极oe-1之后,在第二电极oe-1的整个面上形成绝缘层ild。然后,为了将绝缘层ild图案化,在绝缘层ild上涂布感光膜。然后,使配置在用于与后述的像素电极el1-1的接触中的接触区域pa的感光膜曝光并去除,形成感光图案prt。此时,在覆盖接触孔chk的第二电极oe-1以及绝缘层ild形成谷(valley),由于在绝缘层ild的谷曝光量不足而没有去除感光膜,会残留有残余感光图案prp。

然后,参照图8b,对于感光图案prt以及残余感光图案prp,利用掩模蚀刻绝缘层ild,形成第四绝缘层il4-1和残余绝缘层ilp。

然后,参照图8c,在第二电极oe-1、第四绝缘层il4-1以及残余绝缘层ilp上形成像素电极el1-1。像素电极el1-1与通过残余绝缘层ilp以及第四绝缘层il4-1露出的第二电极oe-1的上表面的一部分11接触。由于残余绝缘层ilp,第二电极oe-1与像素电极el1-1的接触面积减小,第二电极oe-1与像素电极el1-1的接触电阻会增加。

再次参照图5以及图6,在本发明的实施例涉及的显示面板dp中,有源图案act与第二电极oe接触的第二接触孔ch2的深度小于参照图8a至图8c说明的接触孔chk的深度,因此与比较例相比,有源图案act与第二电极oe的接触面积增加,可以减小接触电阻。

图9是在本发明的其他实施例涉及的显示面板中沿着图4的i-i′线截取的剖视图,图10是在本发明的其他实施例涉及的显示面板中沿着图4的ii-ii′线截取的剖视图。

对于参照图9以及图10说明的显示面板dp1,以与参照图5以及图6说明的显示面板dp的区别点为中心进行说明,对于未说明的构成赋予同一符号,并省略具体说明。

显示面板dp1的驱动元件层drl1还可以包括遮光层bml以及缓冲层bf。

遮光层bml可以配置在基底基板sub1与第一电极ie之间。遮光层bml可以配置成与薄膜晶体管tr重叠,而与显示元件px1不重叠。

遮光层bml可以阻断从基底基板sub1的下部入射的光。遮光层bml可以包括反射或者阻断入射的光的物质。

缓冲层bf可以配置在遮光层bml上,且配置在第一电极ie的下部。缓冲层bf可以提高基底基板sub1与配置在基底基板sub1的上部的各层之间的结合力。

显示面板dp1还可以包括滤色器cf。

滤色器cf可以配置在驱动元件层drl1与显示元件层dpl1之间。

滤色器cf可以配置成与像素电极el11以及基准电极el22重叠。滤色器cf包括具有如红色、绿色或者蓝色这样的颜色的有机物,起到使入射到显示元件px1的光之中与特定波段相应的光透过的作用。

显示元件层dpl1还可以包括覆盖层cp以及层间绝缘层itl。

覆盖层cp可以配置在第四绝缘层il4以及滤色器cf上。覆盖层cp可以配置在所述显示元件px1的下部。

所述覆盖层cp覆盖所述滤色器cf。覆盖层cp可以包括绝缘物质。

显示元件px1可以包括像素电极el11、基准电极el22以及液晶层lc。

基准电极el22可以配置在覆盖层cp上。

层间绝缘层itl可以配置在像素电极el11与基准电极el22之间。层间绝缘层itl可以包括氧化硅或者氮化硅。

像素电极el11可以配置在层间绝缘层itl与基准电极el22上。像素电极el11可以通过设置在第四绝缘层il4、覆盖层cp以及层间绝缘层itl的第四接触孔ch4与第二电极oe连接。

液晶层lc可以配置在像素电极el11上,且配置在上部层upl的下部。

图11是截取了本发明的其他实施例涉及的显示面板的一部分的剖视图。

参照图11说明的显示面板dp2与参照图4至图6说明的显示面板dp相比,区别在于显示面板dp2是有机发光显示面板,其他实质上相同。

包括于显示元件层dpl2的多个显示元件px2可以是有机发光显示元件。

显示元件px2可以包括像素电极el1、空穴控制层hcl、发光层eml、电子控制层ecl以及基准电极el2。

像素电极el1可以通过设置在第四绝缘层il4的第三接触孔ch3与第二电极oe连接。

显示元件层dpl2还包括像素定义膜pdl。在像素定义膜pdl定义有开口部,从而使像素电极el1的至少一部分露出。

空穴控制层hcl配置在像素电极el1上。空穴控制层hcl可以在基底基板sub1的整个面上形成。

发光层eml配置在空穴控制层hcl上。发光层eml可以配置成与像素电极el1重叠。发光层eml可以包括有机物质和/或无机物质。发光层eml可以生成红色、绿色、蓝色或者白色的光,但并不限于所生成的光的颜色。发光层eml可以具有多层结构。

电子控制层ecl配置在发光层eml上。电子控制层ecl可以在基底基板sub1的整个面上形成。

基准电极el2配置在电子控制层ecl上。可以是,像素电极el1为阳极,基准电极el2为阴极。

显示元件层dpl2可以包括配置在基准电极el2上的封装层tfe。封装层tfe直接覆盖基准电极el2。

封装层tfe可以包括至少一个封装无机膜以及至少一个封装有机膜。可以交替地层叠封装无机膜和封装有机膜。

图12是在本发明的其他实施例沿着图4的i-i′线截取的剖视图,图13是沿着图5的ii-ii′线截取的剖视图。

对于参照图12以及图13说明的显示面板dp3,以与参照图4至图6说明的显示面板dp的区别点为中心进行说明,未说明的构成与图4至图6的说明相同。

薄膜晶体管tr1可以包括第一电极ie1、第二电极oe1、有源图案act1、控制电极ce1。

另外,驱动元件层drl1可以包括配置在第一电极ie1、第二电极oe1、有源图案act1、控制电极ce1之间的各绝缘层,在本发明的实施例中,可以包括第一绝缘层il11至第四绝缘层il41以及有源绝缘层ail。

有源绝缘层ail可以配置在基底基板sub1上。有源绝缘层ail可以具有第一厚度t1。

有源图案act1可以配置在有源绝缘层ail上。有源图案act1的平面上的形状与参照图4说明的有源图案act类似,因此省略具体说明。

第一绝缘层il11可以配置在有源图案act1上。第一绝缘层il11可以包括氧化硅或者氮化硅。

第一电极ie1可以配置在第一绝缘层il11上。第一电极ie1可以通过设置在第一绝缘层il11的接触孔与有源图案act1的一端连接。第一电极ie1可以具有多层结构,例如可以具有依次层叠了ti/al/ti的结构。第一电极ie1可以具有第二厚度t2。第二厚度t2可以小于第一厚度t1。在有源绝缘层ail的厚度t1相对大于第一电极ie1的厚度t2的情况下,容易将第二电极oe1与第一电极ie1之间的寄生电容cpa1、cpb1的静电电容控制得相对小。

第二绝缘层il21可以配置在第一电极ie1上。第二绝缘层il21可以包括氧化硅或者氮化硅。

控制电极ce1可以配置在第二绝缘层il21上。控制电极ce1可以与有源图案act1重叠。

第三绝缘层il31可以配置在控制电极ce1上。第三绝缘层il31可以包括氧化硅或者氮化硅。

第二电极oe1可以配置在第三绝缘层il31上。第二电极oe1可以贯通设置在第一绝缘层il11以及第二绝缘层il21的接触孔而与有源图案act1的另一端接触。

第四绝缘层il41可以配置在第二电极oe1上。第四绝缘层il41可以包括氧化硅或者氮化硅。

根据本发明的实施例涉及的显示面板dp3,在有源图案act1的下部配置有源绝缘层ail来提高有源图案act1以及第二电极oe1的相对高度,由此第一电极ie1与第二电极oe1之间的距离变大,可以减小寄生电容cpa1、cpb1的静电电容的大小。

图14是放大表示本发明的其他实施例涉及的显示面板的一部分的平面图,图15是沿着图14的i-i′线截取的剖视图,图16是沿着图14的ii-ii′线截取的的剖视图。

对于参照图14至图16说明的显示面板dp4,以与参照图4至图6说明的显示面板dp的区别点为中心进行说明,未说明的构成与图4至图6的说明相同。

薄膜晶体管tr2可以包括第一电极ie2、第二电极oe2、有源图案act2、控制电极ce2。

另外,驱动元件层drl2可以包括配置在第一电极ie2、第二电极oe2、有源图案act2、控制电极ce2之间的各绝缘层,在本发明的实施例中,可以包括第一绝缘层il12至第四绝缘层il42。

第一电极ie2可以包括第一子电极ies1以及第二子电极ies2。

第一子电极ies1可以配置在基底基板sub1上。第一子电极ies1可以配置在与数据线dla、dlb相同的层上。

第二子电极ies2可以配置在第一子电极ies1上。

第一绝缘层il12可以配置在第一子电极ies1上。

有源图案act2可以配置在第一绝缘层il12上。有源图案act2的平面上的形状与参照图4说明的有源图案act类似,因此省略具体的说明。

第二绝缘层il22可以配置在有源图案act2上。

控制电极ce2可以配置在第二绝缘层il22上。控制电极ce2可以与有源图案act2重叠。

第三绝缘层il32可以配置在控制电极ce2上。

第二电极oe2以及第二子电极ies2可以配置在第三绝缘层il32上。

第二子电极ies2可以贯通设置在第二绝缘层il22以及第三绝缘层il32的接触孔ch11而与有源图案act2的一端连接。接触孔ch11可以使第一子电极ies1的上表面的一部分露出,并使有源图案act2的上表面的边缘的一部分露出。因接触孔ch11的形状,第二子电极ies2可以与第一子电极ies1和有源图案act2电连接。

第二电极oe2可以贯通设置在第二绝缘层il22以及第三绝缘层il32的接触孔ch21而与有源图案act2的另一端连接。

第四绝缘层il42可以配置在第二子电极ies2和第二电极oe2上。

根据本发明的实施例涉及的显示面板dp4,将第一电极ie1分成第一子电极ies1以及第二子电极ies2来构成,接触孔ch11被设计成具有使有源图案act2的上表面的一部分露出的形状,可以使有源图案act2与第一子电极ies1之间的电连接更加稳固。

综上,本发明的技术范围不应限于说明书的详细说明所记载的内容,而是应仅由权利要求书进行定义。

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