一种三波段滤光片结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学器件领域，特别涉及一种用于通信领域的滤光片结构。
【背景技术】
[0002]光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片(edge filters)实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。随着空间技术和光学器件的迅速发展，红外光学系统的应用越来越受到重视，光信号信号必须经过滤光片、防护窗口等进行时间和空间的滤波，这就要求光在通过滤光片时其辐射量须尽可能的以最大值传输，这样就需要根据不同的要求在光学元件上镀制满足要求的薄膜。
[0003]在光通信领域中，O度入射时，常用的是1310nm、1390nm和1550nm这三个波长，因为光在这个波长处的吸收较小，因此他在光纤中的传输距离最远。在现有技术中，几乎所有的滤光片往往只能允许一个波长的光通过，而另外两个波长的光不能通过。如中国实用新型专利(专利号:201220457637.X)就公开了一种SWPF光通信滤光片元件，包括基板和层叠于基板上的多个Ta205膜层和多个低折射率膜层，多个Ta205膜层和多个Si02膜层依次交替设置；Ta205膜层为21层，Si02膜层为21层。该SWPF光通信滤光片具有高透光率，且只让波长为1310nm的光通过，选择性强。然而在滤光片的实际使用过程中，有时需要多光源共用一个窗口的措施，来减小光通信系统的体积，因此有必要设计一种新的滤光片，使其能同时通过两种或两种以上的不同波长的光。
【实用新型内容】
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供了一种能使1310nm、1390nm和1550三种波长的光同时通过的滤光片。
[0005]为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案:一种三波段滤光片结构，包括一玻璃基板，所述玻璃基板上设有第一膜系层、第二膜系层和第三膜系层，所述第一膜系层与所述玻璃基板接触，所述第一膜系层的结构为LHLH，所述第二膜系层的结构为LHL,所述第三膜系层的结构为HLHL，其中H表示Ti02层、L层为Si02层所述第一膜层与第二膜层之间还设有第一增透膜层，所述第一增透膜层包括两层MgF2膜层和一层S1 2膜层，所述S1J莫层位于两层MgF J莫层之间，所述第二膜层与第三膜层之间设有第二增透膜层，所述第二增透膜层包括两层MgF2膜层和一层S1 2膜层，所述S1 2膜层位于两层MgF 2膜层之间。
[0006]优选地，所述第一增透膜层的第一层MgF2膜层厚度为32nm，Si02膜层厚度为73nm，第二层MgF2膜层厚度为79nm。
[0007]优选地，所述第二增透膜层的第一层MgF2膜层厚度为43nm，Si02膜层厚度为65nm，第二层MgF2膜层厚度为54nm。
[0008]优选地，第一膜系层中各层厚度依次为45nm、87nm、22nm、127nm。
[0009]优选地，所述第二膜系层中各层厚度依次为92nm、43nm、32nm。
[0010]优选地，所述第三膜系层中各层厚度依次为83nm、55nm、48nm、65nm。
[0011]优选地，所述玻璃基板的厚度为0.145mm或0.21mm。
[0012]本实用新型实施例提供的三波段滤光片结构具有如下有益效果:该三波段滤光片结构在第一膜系层和第二膜系层之间增加了第一增透膜层，在第二增透层和第三增透层之间增加了第二增透膜层，通过增加增透膜层可使反射光与透射光的能量重新分配，同时光经过第一膜系层、第二膜系层和第三膜系层时就会有选择性的使合适波长的光通过，而其余波长的光则会全部反射，采用这种结构的滤光片能够使三种波长的光同时通过，因此可多光源共用一个窗口，可有效减小光通信系统的体积，节约成本。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本实用新型实施例的结构示意图。
[0015]图2为本实用新型实施例透光率特性图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0017]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0018]如图1所示，本专利技术方案公开了一种三波段滤光片结构，该滤光片结构包括一玻璃基板1，玻璃基板I可选用0.145mm或0.21_厚度的玻璃基板。在玻璃基板I上由下向上依次设有第一膜系层2、第一增透膜层3、第二膜系层4、第二增透膜层5及第三膜系层6，第一膜系层2、第一增透膜层3、第二膜系层4、第二增透膜层5及第