一种体感滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型设及光学薄膜技术，特别设及一种体感滤光片。
【背景技术】
[0002] 随着光学摄影技术和各种智能终端设备的大量应用，人机互动成为人们工作和学 习的一种新的形式，就是采用一个摄像机对人体或者人体的某一特殊器官进行立体探测， 运种立体探测则需要一个截止区域在300nm-1100nm、平均透过率小于0. 1%、中屯、波长在 866nm、峰值半宽度在13nm±3nm、透过率大于95%的体感滤光片，要求十分严格。 【实用新型内容】
[0003] 为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种50%宽度大于13皿，90%的宽度大 于10皿，10 %的宽度小于15皿的截止区域透过率小于0. 1 %的滤光片，W满足人机互动立 体探测要求。
[0004] 为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下： 阳〇化]一种体感滤光片，包括：
[0006] 白板玻璃材质的基板，W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第一锻膜层、 及W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第二锻膜层，所述基板位于所述第一锻膜层 和第二锻膜层之间；
[0007] 所述第一锻膜层由内而外依次由二氧化铁层与二氧化娃层交替沉积共66层，其 中包括33层二氧化铁层与33层二氧化娃层，即最内层为二氧化铁层直接沉积在所述基板 的一侧表面，最外层为二氧化娃层；所述第二锻膜层由内而外依次由二氧化铁层与二氧化 娃层交替沉积共80层，其中包括40层二氧化铁层与40层二氧化娃层，即最内层为二氧化 铁层并直接沉积在所述基板的另一侧表面，最外层为二氧化娃层。
[0008] 其中，所述基板的材质为白板玻璃，大小为(64. 1mm，厚度小于2mm，面形精度小于 2A，平行度小于3'，光洁度优于60/40。
[0009] 其中，所述第一锻膜层由内而外交替的二氧化铁层与二氧化娃层厚度依次为：二 氧化铁层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化铁层90. 69nm，二氧化娃层282. 12nm，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层181. 38皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层362. 75皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧 化镜层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧 化镜层181. 38nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧 化镜层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化 钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥； 层90. 69nm，二氧化娃层282. 12nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层 90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化钥:层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，共66层D
[0010] 其中，所述第二饌膜层由内而外交替的二氧化钥;层与二氧化娃层厚度依次为：二 氧化镜层29. 18nm，二氧化娃层85. 5nm，二氧化钥:层48. 45nm，二氧化娃层73. 04nm，二氧 化钥;层42. 9nm，二氧化娃层70. 19nm，二氧化钥:层44. 72nm，二氧化娃层72. 29nm，二氧化 钥:层41. 26nm，二氧化娃层65. 97nm，二氧化钥:层43. 54nm，二氧化娃层71. 74nm，二氧化 钥:层37. 75nm，二氧化娃层65. 95nm，二氧化钥:层46. 87nm，二氧化娃层75. 27nm，二氧化 钥:层42. 87nm，二氧化娃层85. 31nm，二氧化钥:层44. 33nm，二氧化娃层80. 68nm，二氧化钥； 层48. 63nm，二氧化娃层90. 21nm，二氧化钥:层59. 08nm，二氧化娃层92. 25nm，二氧化钥； 层53. 67nm，二氧化娃层88. 72nm，二氧化钥:层54. 26nm，二氧化娃层91. 93nm，二氧化钥； 层59. 67nm，二氧化娃层91. 88nm，二氧化钥:层55. 88nm，二氧化娃层94. 87nm，二氧化钥； 层63. 18nm，二氧化娃层88. 63nm，二氧化钥:层43. 97nm，二氧化娃层87. 08nm，二氧化钥； 层60. 3nm，二氧化娃层112. 62nm，二氧化钥:层68. 75nm，二氧化娃层68. 75nm，二氧化钥； 层63. 41nm，二氧化娃层115. 45nm，二氧化钥:层70. 32nm，二氧化娃层115. 63nm，二氧化 钥:层71nm，二氧化娃层116. 5nm，二氧化钥:层77. 97nm，二氧化娃层118. 22nm，二氧化钥； 层74. 57nm，二氧化娃层113. 18nm，二氧化钥:层71. 48nm，二氧化娃层113. 47nm，二氧化钥； 层70. 86nm，二氧化娃层114. 49nm，二氧化钥:层67. 85nm，二氧化娃层113. 36nm，二氧化钥； 层76. 2nm，二氧化娃层104. 83nm，二氧化钥:层86. 48nm，二氧化娃层182. 24nm，二氧化钥； 层151. 4nm，二氧化娃层171. 84nm，二氧化钥:层100. 51nm，二氧化娃层169. 55nm，二氧化钥； 层104. 29nm，二氧化娃层173. 82nm，二氧化钥:层113. 37nm，二氧化娃层180nm，二氧化钥:层 109. 43nm，二氧化娃层172. 98nm，二氧化钥:层106. 91nm，二氧化娃层177. 37nm，二氧化钥:层 108. 34nm，二氧化娃层174. 28nm，二氧化钥:层124. 08nm，二氧化娃层162. 7nm，二氧化钥:层 98. 8nm，二氧化娃层205. 8nm，二氧化钥:层126. 09nm，二氧化娃层54. 41nm，共80层D
[0011] 通过上述技术方案，本实用新型提供的一种体感滤光片，其制备方法为：二氧化 钥:和Si02采用电子束蒸发和加^离子辅助的形式，温度为小于35(TC^下，其真空度为 IO3PaW下，蒸发度知OA/SW内，因此获得的滤光片的中屯、波长为866皿、截止区域在 SOOnm-1100皿之间、平均透过率小于0. 1 %、峰值半宽度在13皿± 3皿并透过率大于95 %， 可广泛应用于甜OX游戏机、人机互动游戏等。
【附图说明】
[0012] 为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需 要使用的附图作简单地介绍。
[0013] 图1为本实用新型实施例的结构示意图；
[0014] 图2为本实用新型实施例的透过率测试图。
【具体实施方式】
[0015] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述。
[0016] 参考图1，本实用新型提供了一种体感滤光片，包括： 阳017]白板玻璃材质的基板1，W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第一锻膜层 2、及W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第二锻膜层3,基板1位于第一锻膜层2和 第二锻膜层3之间；
[0018] 第一锻膜层2由内而外依次由二氧化铁层与二氧化娃层交替沉积共66层，其中包 括33层二氧化铁层与33层二氧化娃层，即最内层为二氧化铁层直接沉积在基板1的一侧 表面，最外层为二氧化娃层；第二锻膜层3由内而外依次由二氧化铁层与二氧化娃层交替 沉积共80层，其中包括40层二氧化铁层与40层二氧化娃层，即最内层为二氧化铁层并直 接沉积在基板1的另一侧表面，最外层为二氧化娃层。
[0019] 其中，基板1的材质为白板玻璃，大小为(64. 1mm，厚度小于2mm，面形精度小于 2A，平行度小于3'，光洁度优于60/40。
[0020] 其中，第一锻膜层2由内而外交替的二氧化铁层与二氧化娃层厚度依次为：二氧 化铁层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化铁层90. 69nm，二氧化娃层282. 12nm，二氧化 铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化 铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化 铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化 铁层181. 38皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化 铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化 铁层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化铁层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层362. 75皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层181. 38皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁层90. 69皿，二氧化娃层141. 06皿，二氧化铁 层90. 69nm，二氧化娃层282. 12nm，二氧化铁层90. 69nm，二氧化娃层141. 06nm，二氧化铁层