专利名称：等离子显示面板的制作方法
技术领域：
本发明是关于显示装置的，更具体讲是一种等离子显示面板。
背景技术：
一般等离子显示面板(Plasma Display Panel)，由其正面基板与背面基板间形成的隔层组成一个单位信元(cell)，各个信元(cell)内填充了氖(Ne)，氦(He)，或氖与氦的混合气体(Ne+He)等主放电气体与少量含有氙(Xe)的惰性气体。高频电压导致放电时，惰性气体产生真空紫外线(Vacuum Ultraviolet ray)，使隔层间形成的荧光体发光，显示画面。如上所述的等离子显示面板具有既轻又薄的结构，可以实现大型化，高画质。因此，作为新一代显示装置备受瞩目。
图1是一般等离子显示面板的结构示意图。
如图1所示，等离子显示面板，由显示画面的显示面即正面基板101中排列由扫描电极102与维持电极103对形成的多个维持电极对的正面面板100；及排列组成背面的背面基板111上与上述多个维持电极对交叉地排列的多个寻址电极113的背面面板110间隔一定距离，平行地结合而成。
正面面板100在一个放电信元(cell)中相互放电，由维持信元(cell)发光的扫描电极102及维持电极103，即由透明ITO物质形成的透明电极(a)与由金属材料制成的汇流电极(b)组成的扫描电极102及维持电极103成双组成。扫描电极102及维持电极103限制放电电流，由绝缘各电极对的一个以上上部电介质层104覆盖，上部电介质层104上面，为了简化放电条件，而形成电镀氧化镁(MgO)的保护层105。
背面面板110上排列多个放电空间，即，排列形成放电信元(cell)的条(stripe)型(或井(well)型)隔层112，并保持平衡。又，进行定位放电，产生真空紫外线的多个寻址电极113与隔层112平行地分布。背面面板110的上面喷涂，为在定位放电期间显示画面而放射可视光的R，G，B荧光体114。寻址电极113与荧光体114间形成保护寻址电极113的下部电介质层115。
一方面，保护层在常温中处于热学性不稳定状态。因此，具有非常强的，吸附周围的水分或二氧化碳等物质并趋于稳定状态的倾向。
但，若与水分或二氧化碳相结合，则将降低二次电子释放系数，并且耐溅射(sputtering)性也将降低。
又，等离子显示面板中，一个放电信元(cell)内产生光的发光领域越宽，放电效率也将增加。但，现有技术中的等离子显示面板的放电结构中，与放电信元(cell)相邻的非发光领域比发光领域相对较宽。因此，等离子显示面板的放电效率降低，导致等离子显示面板的整体亮度的降低。
发明内容
有鉴于此，为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种能清除用于等离子显示面板的保护层的MgO薄膜中的杂质，从而提高等离子显示面板的放电电压的等离子显示面板。
又，本发明改善等离子显示面板的放电结构与电极结构，提供一种提高等离子显示面板的放电效率的等离子显示面板。
为达到上述发明目的，本发明中的等离子显示面板，由间隔一定的距离相接合的正面基板与背面基板组成，包含位于正面基板上，并具备在相对的一侧形成一定的槽的透明电极的扫描电极；位于维持电极上形成的电介质层上，并且表面形成杂质吸附防止膜的保护层；及在正面基板与背面基板间，以三角形类型(△delta type)划分放电信元(cell)的隔层。
又，杂质吸附防止膜，包含重氢(D2)。
又，杂质吸附防止膜，利用氦(He)，氮(N2)，氨(NH3)或一氧化氮(N2O)中的至少一种形成。
又，位于扫描电极的透明电极一侧的一定的槽，与位于维持电极的透明电极一侧的一定的槽相对应。
又，位于扫描电极的透明电极一侧的槽，与位于维持电极的透明电极一侧的槽之间的最大间距为100μm以上。
又，位于扫描电极的透明电极一侧的槽，与位于维持电极的透明电极一侧的槽之间的最小间距为60μm以上80μm以下。
又，形成一定的槽的透明电极的一侧宽度，与未形成一定的槽的透明电极的另一侧宽度相同。
又，形成一定的槽的透明电极的一侧宽度，比未形成一定的槽的透明电极的另一侧的宽度宽。
又，扫描电极与维持电极一侧的一定的槽，其形状不同。
又，扫描电极与维持电极一侧的一定的槽，其形状相同。
又，一定的槽位于扫描电极及维持电极的一侧中央部分。
又，汇流电极位于隔层上，并与隔层的宽度相同或窄。
本发明中的等离子显示面板的保护层表面形成杂质吸附防止膜，从而可以降低等离子显示面板的放电电压。
又，改善本发明中的等离子显示面板结构，从而降低等离子显示面板的消耗电量，提高亮度，增加等离子显示面板的放电效率。
四
图1是一般等离子显示面板的结构示意图。
图2是本发明中等离子显示面板的结构示意图。
图3是本发明的一个实施例中放电信元(cell)结构位于有效领域中的示意图。
图4是本发明的一个实施例中等离子显示面板的制造方法示意图。
图5是本发明的一个实施例中位于放电信元(cell)中的电极结构示意图。
图6是本发明的一个实施例中，位于放电信元(cell)中的电极间的间距示意图。
图7是本发明的一个实施例中，透明电极的宽度示意图。
图8是本发明的一个实施例中，扫描电极及维持电极的汇流电极示意图。
图9是本发明中，电极结构的一些实施例示意图。
图10是本发明中，电极结构的另一些实施例示意图。
附图中主要部分的符号说明202扫描电极 203维持电极204电介质层 205保护层206杂质吸附防止膜 212隔层214荧光体 216放电信元(cell)五具体实施方式
下面，举较佳实施例，并配合附图对本发明中的等离子显示面板详细说明如下。
参考图2，本发明的等离子显示装置中的等离子显示面板200，由显示画面的显示面即正面基板201中排列由扫描电极(Y)202，与维持电极(Z)203形成的正面面板200；及排列组成背面的背面基板211上与上述扫描电极(Y)202及维持电极(Z)203交叉地排列的多个寻址电极(X)213的背面面板210间隔一定距离，平行地结合而成。
正面面板200包含在一个放电空间，即放电信元(cell)中相互放电，由维持信元(cell)发光的扫描电极(Y)202及维持电极(Z)203，即由透明ITO物质形成的透明电极(a)与由金属材料制成的汇流电极(b)组成的扫描电极(Y)202及维持电极(Z)203。扫描电极(Y)202及维持电极(Z)203限制放电电流，由绝缘各电极对的一个以上上部电介质层204覆盖，上部电介质层204上面，为了简化放电条件，而形成电镀氧化镁(MgO)的保护层205。
保护层205的表面上形成杂质吸附防止膜。保护层205在常温中处于热学性不稳定状态。因此，具有非常强的，吸附周围的水分(H2O)或二氧化碳(CO2)等物质并趋于稳定状态的倾向。保护层205与水分(H2O)或二氧化碳(CO2)等杂质结合前，用重氢(D2)进行冲洗(Flushing)。通过冲洗(Flushing)而流失的重氢(D2)气体吸附在保护层中最不稳定的部分。随着重氢(D2)与保护层相结合，可以防止水分(H2O)或二氧化碳(CO2)等物质的吸附。又，随着重氢(D2)被保护层吸收，保护层能带隙(band gap)内形成杂质吸附防止膜206，由此，二次电子的释放将更加顺利。从而可以降低放电电压。
保护层用重氢(D2)，氦(He)，氮(N2)，氨(NH3)或一氧化氮(N2O)等气体冲洗(Flushing)，形成杂质吸附防止膜206。
背面面板210上排列多个放电空间，即，排列形成放电信元(cell)的条(stripe)型(或井(well)型)隔层212，并保持平衡。又，进行定位放电，产生真空紫外线的多个寻址电极(X)213与隔层212平行地分布。背面面板210的上面喷涂，为在定位放电期间显示画面而放射可视光的R，G，B荧光体214。寻址电极(X)213与荧光体214间形成保护寻址电极(X)213的下部电介质层215。
图2中仅图示了可以适用于本发明的等离子显示面板的一个实例并进行了说明，然本发明并非受限于图2中图示的等离子显示面板结构。例如，图2中图示了等离子显示面板上形成扫描电极(Y)202，维持电极(Z)203，寻址电极(X)213的情况，但适用于本发明的等离子显示装置中的等离子显示面板的电极可以省略扫描电极(Y)202，维持电极(Z)203，寻址电极(X)213中的一个以上。
又，图2中仅图示了上述扫描电极(Y)202与维持电极(Z)203分别由透明电极(a)与汇流电极(b)组成的情况，但与此不同地，扫描电极(Y)202与维持电极(Z)203中，一个以上可以仅由汇流电极(b)组成。
又，仅图示了扫描电极(Y)202与维持电极(Z)203位于正面面板200，寻址电极(X)213位于背面面板210的情况，并进行了说明，但亦可以在正面面板200上形成所有电极或扫描电极(Y)202，维持电极(Z)203，寻址电极(X)213中，至少某一个电极位于隔层212上。
综合对上述图2的说明，可以适用本发明的等离子显示面板，应形成提供驱动电压的多个电极，其他条件并无限制。
图3是本发明的一个实施例中，放电信元(cell)结构位于有效领域中的示意图。
如图3所示，本发明的实施例中的正面基板201与背面基板211结合形成面板。正面基板201与背面基板211结合的部分划分为有效领域230与非有效领域。有效领域230是正面基板201上形成的扫描电极及维持电极(未图示)与背面基板211上形成的寻址电极(未图示)相互交叉的位置上，由隔层划分，形成放电信元(cell)216的领域。非有效领域是虽形成了放电信元(cell)216，但与画面无关，而起到面板的缓冲作用及保护有效领域230的作用的领域。
上述有效领域230划分为发光领域与非发光领域。发光领域是为了显示图像，而在一个放电信元(cell)216中，由电极间的放电而产生光的领域。因此，若放电信元(cell)216多，则产生相对较多的光，从而可以提高等离子显示面板整体的亮度。非发光领域是不产生光的领域。因此，非发光领域越宽，等离子显示面板整体的亮度也将降低。
本发明的一个实施例中，在划分放电信元(cell)216的多种类型的隔层结构中，用在一定的有效领域230内形成较宽的发光领域的三角形类型(△delta type)形成了放电信元(cell)216，然并非受限于此。上述等离子显示面板结构的制造方法如下图4。
图4是本发明的一个实施例中，等离子显示面板的制造方法示意图。
如图4所示，(a)阶段中，在正面基板201上形成维持电极对，即扫描电极202及维持电极203。
扫描电极202及维持电极203由透明电极(a)与汇流电极(b)形成，参考扫描电极202及维持电极203形成方法的一个实例，在由含有氧化铟与氧化锡的ITO(IndiumTin Oxide)物质形成的透明电极的上部层压(laminating)干膜(dry film)，用形成一定图案(pattern)的遮光膜(Photo Mask)的图案(pattern)进行曝光，然后经过显影及蚀刻工序形成扫描电极202的透明电极(a)与维持电极203的透明电极(a)。
扫描电极202的透明电极(a)与维持电极203的透明电极(a)上部分别形成汇流电极(b)，参考其形成方法的一个实例，用丝网印刷(Screen-Printing)方式印刷感光银(Ag)膏剂(paste)，然后如同上述透明电极(a)的形成方法，利用曝光工序形成汇流电极(b)。然后用约550℃的温度加热，烘烤，形成扫描电极202及维持电极203。
然后，(b)阶段中，在已形成扫描电极202及维持电极203的正面基板201上部形成电介质层204。
参考上述电介质层204形成方法的一个实例，喷涂电介质玻璃膏剂(paste)干燥后，用约500℃～600℃的温度烘烤，形成电介质层204。
然后，(c)阶段中，在电介质层204的表面形成保护层205。保护层205对等离子显示面板的放电效率起到非常重要的作用，用耐溅射防止特性(Resistanceto Sputtering)与2次电子释放特性优异的氧化镁(MgO)形成。形成如上所述的保护层205的方法中，当前较为普遍的有电子束蒸发(E-Beam Evaporation)法，溅射(Sputtering)法，离子电镀(Ion Plating)法等。
最后，(d)阶段中，在保护层205表面形成杂质吸附防止膜206。上述杂质吸附防止膜206防止保护层205上吸附杂质。
如上所述的杂质吸附防止膜206由蒸发重氢(D2)，氦(He)，氮(N2)，氨(NH3)，或一氧化氮(N2O)气体而形成。
如上所述的，等离子显示面板制造方法的电极结构如下图5。
图5是本发明的一个实施例中，位于放电信元(cell)中的电极结构示意图。
如图5所示，在划分为三角形类型(△delta type)的放电信元(cell)216内，具有正面基板(未图示)上形成的扫描电极202与维持电极203。扫描电极202及维持电极203由透明电极(a)与汇流电极(b)形成。扫描电极202的透明电极(a)或维持电极203的透明电极(a)，在相对的扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧形成一定的槽。
透明电极(a)上形成一定的槽是因为若位于放电信元(cell)216内部的扫描电极202与维持电极203间的间距较窄，则电荷间的移动距离不充分，从而降低放电效率。增加电极间的间距，使电荷间的移动距离较为充分，从而增加放电效率的方法有很多种，其中，增加放电信元(cell)216本身的大小，从而增加电极间的间距，则放电信元(cell)216将减少，导致等离子显示面板的清晰度的下降。又，放电信元(cell)216的大小保持不变，增加整个电极间距，则初始放电较为困难，将导致误操作。因此，如在放电信元(cell)216内部的透明电极(a)一侧形成槽，则无须改变放电信元(cell)216的大小亦可以提高放电效率，放电也非常顺利。
又，扫描电极202的透明电极(a)上形成的一定的槽，与维持电极203的透明电极(a)一侧形成的一定的槽相互对应。这是为了有效地增加电极的间距。若扫描电极202的透明电极(a)一侧形成的一定的槽，与维持电极203的透明电极(a)一侧形成的一定的槽不对应，则无法充分地增加电极间距，将降低放电效率。如上所述的，一定的槽越靠近透明电极(a)一侧的两侧部分，其放电越不稳定，从而增加误操作发生的概率。因此，一定的槽应位于透明电极(a)一侧的中央部分，才可以确保稳定的放电。因此，一定的槽位于扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧的中央部分最为合理。对如上所述的，形成一定的槽的电极间间距的详细说明如下图6。
图6是本发明的一个实施例中，位于放电信元(cell)中的电极间的间距示意图。
对位于本发明的放电信元(cell)中的电极结构，在图5中进行了充分的说明，因而在此略而不谈，仅对电极的间距进行说明。如图6所示，形成了一定的槽的扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧间的间距(n)，比未形成一定的槽的扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧间的间距(m)更宽。
形成了一定的槽的扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧间的间距(n)应为100μm以上。这是因为只有透明电极(a)一侧间的间距(n)为100μm以上时，填充在放电信元(cell)216内部的电子与离子的活动较为活跃，从而可以增加放电效率。
又，未形成一定的槽的扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)一侧间的间距(m)应为60μm以上80μm以下。这是因为未形成一定的槽的部分开始放电，并且上述放电传达至形成一定槽的部分，因此，未形成一定的槽的部分应该进行稳定的放电。由于如上所述的原因，透明电极(a)一侧间的间距(m)应为60μm以上80μm以下。不仅是上述电极间的间距，对透明电极(a)的宽度进行说明如下图7。
图7是本发明的一个实施例中，透明电极的宽度示意图。
如图7所示，形成一定的槽的透明电极(a)一侧的宽度(k)，比未形成一定的槽的透明电极(a)另一侧的宽度(j)宽。形成一定的槽的透明电极(a)一侧的宽度(k)是放电开始的部分，因此其宽度越宽，放电也越稳定。因此，未形成一定的槽的透明电极(a)另一侧不是放电开始的部分，因此，透明电极(a)另一侧的宽度(j)较窄。若透明电极的宽度变窄，则将较少使用生产单价较高的透明电极(a)，从而可以降低等离子显示面板的生产单价。形成一定的槽的透明电极(a)一侧的宽度(k)较宽，而未形成一定的槽的透明电极(a)另一侧的宽度(j)较窄的形状中，最为合理的形状是T字型。
形成一定的槽的透明电极(a)的一侧宽度(k)，与未形成一定的槽的透明电极(a)另一侧的宽度(j)相同，则透明电极(a)的制造将变得更加简单。其中，透明电极的宽度是位于放电信元(cell)216内部，并且向放电信元(cell)216中心部分突出的透明电极(a)的横向宽度。目前为止，我们对扫描电极202及维持电极203的透明电极(a)进行了说明，下面的图8中，将对扫描电极202及维持电极203的汇流电极(b)进行说明。
图8是本发明的一个实施例中，扫描电极及维持电极的汇流电极示意图。如图8所示，三角形类型(△deltatype)的放电信元(cell)216，在一定的领域中形成大量放电信元(cell)(216)，从而增加发光领域(未图示)，减少非发光领域(未图示)。因此，原来仅在非发光领域中形成的汇流电极(b)，在三角形类型(△deltatype)的放电信元(cell)216中，不仅在非发光领域中形成，而且还在发光领域中形成。汇流电极(b)由金属物质形成，因此，若位于发光领域中，则将降低等离子显示面板的整体亮度。因此，汇流电极(b)沿着背面基板上形成的隔层212而形成，汇流电极(b)的宽度比隔层212上层部分的宽度窄或相同。三角形类型(△delta type)的放电信元(cell)216中，隔层212结构是非发光领域，汇流电极(b)仅在非发光领域中形成，因此将增加等离子显示面板的整体亮度。
目前为止，我们对用三角形类型(△delta type)改善放电信元(cell)216的结构，增加电极间间距的宽隙(long gap)电极结构进行了说明。下面图9是本发明中，电极结构的一些实施例示意图。
图9中的多种实施例是显示形成一定的槽的透明电极的一侧宽度，与未形成一定的槽的透明电极另一侧的宽度相同的图示。
首先，参考图9中的(a)与(b)，三角形(△delta)结构的放电信元(cell)中，在扫描电极或维持电极的透明电极一侧形成一定的槽。如上所述，形成某一侧的透明电极时，一定的槽将增加至两倍以上的大小。又，图9中的(a)与(b)，不仅可以用(a)与(b)中的形状，亦可以用图9中的(c)至(h)的形状显示。
如图9中的(c)至(h)，在扫描电极及维持电极的透明电极一侧形成的，一定的槽的形状可以用多种形状形成。如上所述的，一定的槽的形状，在扫描电极与维持电极中相同。如上所述，若位于放电信元(cell)内部的，一定的槽的形状相同，则形成均衡的放电，并且透明电极的制造也将变得简单。
如图9中的(i)所示，一定的槽的形状，在扫描电极及维持电极的透明电极一侧形成时，以不同的形状形成。图9中，对位于放电信元(cell)内部的，具有不同形状的一定的槽，仅用图9中的(i)一种情况显示，然并非受限于此。组合图9中的(c)至(h)的形状，将得到更多的本发明中的实施例。如上所述，位于放电信元(cell)内部的一定的槽，具有不同的形状，则可以调整扫描电极及维持电极的透明电极面积，以此调整负加脉冲时，放电的程度。
图9中对扫描电极与维持电极的透明电极具有一定的宽度的实施例进行了说明。下面图10是本发明中，电极结构的另一些实施例示意图。
图10中图示的另一些实施例是形成一定的槽的透明电极一侧的宽度，比未形成一定的槽的透明电极另一侧的宽度宽的图示。
对上述实施例的说明，已通过图7及图9进行了充分的说明，是重复性的说明，因而在此略而不谈。
如上详细说明，在本发明中的等离子显示面板的保护层表面形成杂质吸附防止膜，从而可以降低等离子显示面板的放电电压。
又，改善本发明中的等离子显示面板结构，能降低等离子显示面板的消耗电量，提高亮度，增加等离子显示面板的放电效率。
如上所述，虽然本发明关于等离子显示面板已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可进行各种更动与修改，因此本发明的保护范围当视所提出的权利要求限定的范围为准。
权利要求
1.一种等离子显示面板，其特征在于它包含间隔一定的距离相接合的正面基板与背面基板；位于正面基板上，并具备在相对的一侧形成一定的槽的透明电极的扫描电极；位于上述扫描电极与维持电极上的电介质层；位于上述电介质层上，并且表面形成杂质吸附防止膜的保护层；及正面基板与背面基板间，以三角形类型划分放电信元的隔层。
2.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述杂质吸附防止膜，包含重氢。
3.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述杂质吸附防止膜，利用氦，氮，氨或一氧化氮中的至少一种形成。
4.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于位于上述扫描电极的透明电极一侧的上述一定的槽，与位于上述维持电极的透明电极一侧的上述一定的槽相对应。
5.根据权利要求4所述的等离子显示面板，其特征在于位于上述扫描电极的透明电极一侧的槽，与位于上述维持电极的透明电极一侧的槽之间的最大间距为100μm以上。
6.根据权利要求4所述的等离子显示面板，其特征在于位于上述扫描电极的透明电极一侧的槽，与位于上述维持电极的透明电极一侧的槽之间的最小间距为60μm以上80μm以下。
7.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于形成上述一定的槽的上述透明电极的一侧宽度，与未形成上述一定的槽的上述透明电极的另一侧宽度相同。
8.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于形成上述一定的槽的上述透明电极的一侧宽度，比未形成上述一定的槽的上述透明电极的另一侧的宽度宽。
9.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述扫描电极与维持电极一侧的上述一定的槽，其形状不同。
10.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述扫描电极与维持电极一侧的上述一定的槽，其形状相同。
11.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述一定的槽位于上述扫描电极及维持电极的一侧中央部分。
12.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于上述汇流电极位于上述隔层上，并与上述隔层的宽度相同或窄。
全文摘要
本发明公开了一种等离子显示面板，由间隔一定的距离相接合的正面基板与背面基板组成，包含位于正面基板上，并具备在相对的一侧形成一定的槽的透明电极的扫描电极；位于维持电极上形成的电介质层上，并且表面形成杂质吸附防止膜的保护层；及在正面基板与背面基板间，以三角形类型(△delta type)划分放电信元(cell)的隔层。本发明中的等离子显示面板，在保护层表面形成杂质吸附防止膜，从而降低等离子显示面板的放电电压。
文档编号H01J17/02GK1949444SQ20061014919
公开日2007年4月18日 申请日期2006年11月22日 优先权日2005年12月19日
发明者安泳准, 金在声, 梁钟文 申请人:乐金电子(南京)等离子有限公司