专利名称：一种用于晶片静电吸附的六相电源装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种六相电源装置，特别地涉及一种用于晶片静电吸附的六相电源装置。
背景技术：
离子注入机主要用于半导体工艺，随着线条越来越细，半导体工艺对注入机提出了更高的要求，其中对金属污染要求的控制更为严格。在以往的离子注入机中大多采用金属机械装置夹持晶片，这种方式容易造成金属在高能离子束轰击下溅射出金属粒子直接污染晶片，使注入晶片不合格，为此比较理想的晶片夹持方式为采用一种无机械装置夹持晶片的静电吸盘。
发明内容
本实用新型即是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种结构简单、实现可靠的用于晶体静电吸附的六相电源装置。
本实用新型通过以下技术方案来实现一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，包括一机箱、一风机、两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板，所述的两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板采用层间结构安装在机箱内；所述的风机安装在机箱内。
所述的两高压产生板与六路高压放大器板相连，高压产生电路为高压放大器提供高压直流工作电压；所述的六路高压放大器板的输入与六相信号产生板的输出相连，用于六相低压方波信号的放大；所述的电源控制板与六路高压放大器板的输出相连，同时通过光纤与计算机进行连接，用于控制信号的产生和晶片吸附的判断。
本实用新型具有如下显著优点1.本装置采用层间结构，结构紧凑；2.高压产生板选用高频开关电路，其体积小，效率高；3.本装置采用六路相差为60°的正负幅度对称的方波，交替加到六等分的静电吸盘上，使得晶片上静电电荷总量为零，不存在静电积累，当静电吸盘上所加电压退到零时，其晶片所受的静电吸力立即下降到零。
图1为本实用新型一种用于晶片静电吸附的六相电源装置的结构图；图2为本实用新型一种用于晶片静电吸附的六相电源装置的电路板连接图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
参见图1，一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，包括一机箱1、一风机2、两块高压产生板3、一六相信号产生板4、一六路高压放大器板5和一电源控制板6，其中两块高压产生板3、一六相信号产生板4、一六路高压放大器板5和一电源控制板6采用层间结构安装在机箱1内，使得该电源装置结构紧；风机2安装固定在机箱1的一侧，用于机箱1内部器件的强制风冷散热。
参见图2，两高压产生板3与六路高压放大器板5相连，其产生±1500VDC高压为高压放大器提供±1500VDC的高压直流工作电压；六相信号产生板4的输出与六路高压放大器板5的输入相连，六相信号产生板4产生六路满足相差为60°、频率为50Hz的方波，其方波正负幅度等于输入直流控制电压，其输出的低压方波信号经六路高压放大器板5放大150倍而输出为六路高压方波信号，该放大器输出与输入之间采用直流负反馈，可以使得放大器的放大倍数极其稳定；电源控制板6与六路高压放大器板5的输出相连，同时通过光纤与计算机7进行通讯，将计算机7的命令变成直流控制信号，并将六相电源的负载电流大小反馈给计算机7，计算机7根据六相电源的负载电流大小判断晶片是否有效吸住。
在实际中，六路相差为60°的正负幅度对称的方波，交替加到六等分的静电吸盘上，使得晶片上静电电荷总量为零，不存在静电积累，当静电吸盘上所加电压退到零时，其晶片所受的静电吸力立即下降到零。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求1.一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，其特征在于该装置包括一机箱、一风机、两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板，所述的两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板采用层间结构安装在机箱内；所述的风机安装在机箱内。
2.如权利要求1所述的一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，其特征在于所述的两高压产生板与六路高压放大器板相连，高压产生电路为高压放大器提供高压直流工作电压；所述的六路高压放大器板的输入与六相信号产生板的输出相连，用于六相低压方波信号的放大；所述的电源控制板与六路高压放大器板的输出相连，同时通过光纤与计算机进行连接，用于控制信号的产生和晶片吸附的判断。
3.如权利要求1所述的一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，其特征在于所述的六相信号产生板电路中输出与输入之间采用直流负反馈。
专利摘要本实用新型公开了一种用于晶片静电吸附的六相电源装置，包括一机箱、一风机、两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板，所述的两块高压产生板、一六相信号产生板、一六路高压放大器板和一电源控制板采用层间结构安装在机箱内；风机安装在机箱内。所述高压产生电路为高压放大器提供高压直流工作电压；所述的六路高压放大器板用于六相低压方波信号的放大；所述的电源控制器板与六路高压放大器板输出相连，同时通过光纤与主控计算机进行连接，用于控制信号的产生和晶片吸附的判断。本实用新型采用层间结构，结构紧凑；六相相差为60°、正负幅度对称的信号，交替加到六等分的静电吸盘上，使得晶片静电电荷总量为零。
文档编号B23Q3/15GK2796096SQ200520011260
公开日2006年7月12日 申请日期2005年3月31日 优先权日2005年3月31日
发明者孙雪平 申请人:北京中科信电子装备有限公司