1.一种溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，包括：
提供溅射靶材，所述溅射靶材已完成粗加工及半精加工；
采用车削工艺对所述溅射靶材进行精加工，所述精加工过程中采用无水酒精进行冷却和润滑。
2.如权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述无水酒精为浓度大于95％的无水酒精。
3.如权利要求2所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，在所述精加工过程中，所述无水酒精通过喷射方式对所述溅射靶材进行处理，喷射压强为5个大气压至7个大气压。
4.如权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述精加工具体包括：
对所述溅射靶材进行第一精加工；
对所述溅射靶材进行第二精加工；
对所述溅射靶材进行第三精加工。
5.如权利要求4所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述第一精加工每刀的切削量为0.1毫米至0.3毫米，机床转速为600转/分钟至800转/分钟，每分钟进给量为0.1毫米/转至0.3毫米/转。
6.如权利要求4所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述第二精加工每刀的切削量为0.02毫米至0.07毫米，机床转速为700转/分钟至900转/分钟，每分钟进给量为0.05毫米/转至0.15毫米/转。
7.如权利要求4所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述第三精加工每刀的切削量为0.005毫米至0.015毫米，机床转速为800转/分钟至1200转/分钟，每分钟进给量为0.03毫米/转至0.07毫米/转。
8.如权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，还包括：在所述粗加工后半精加工之前进行去应力处理，以及在所述半精加工后精加工之前进行去应力处理。
9.如权利要求8所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述去应力处理的工艺时间为8小时至16小时。