一种水冷盘钎焊结构的制作方法

本实用新型涉及LED刻蚀机，尤其涉及一种LED刻蚀机水冷盘钎焊结构。

背景技术：

LED刻蚀机是LED光源生产过程中的重要的设备，刻蚀的效果直接关系到光源芯片的质量高低，进而影响光源的质量；刻蚀，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤,是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺；其中水冷盘在刻蚀工艺区的下方，通过控制盘内水的流量带走工艺过程中产生的热量，实现工艺温度的控制；在洁净的真空反应腔中，不允许除反应气体以外的其他灰尘、杂质等异物的出现，水冷盘的外部经过超声波及化学清洗，满足工艺环境的要求，一旦钎焊式的冷却水道发生泄漏，冷却水会污染工艺环境，同时影响真空度；传统的水冷盘钎焊结构，水冷盘上贯穿的工艺孔与内部的冷却水道之间间隙小，增加了钎焊难度，不但容易堵塞工艺孔和冷却水道，而且容易发生泄漏。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种水冷盘钎焊结构，解决了以上技术问题。

为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种水冷盘钎焊结构，包括钎焊片；所述的钎焊片一侧设置有水道盖板，另一侧设置有水道底板；所述的水道盖板上设有第一工艺孔，冷却水进口和冷却水出口；其特征在于；所述的水道底板上设置有第二工艺孔和第一螺旋冷却水道；所述的第一螺旋冷却水道一侧设置有第二螺旋冷却水道；所述的第一螺旋冷却水道和第二螺旋冷却水道之间通过水道弯头连通，周边设置有螺旋凹槽。

作为优选的技术方案：所述的第一螺旋冷却水道断面为“∪”形，设置有第一直水道。

作为优选的技术方案：所述的第二螺旋冷却水道断面为“∪”形，设置有第二直水道。

作为优选的技术方案：所述的冷却水进口与第一直水道连通；所述的冷却水出口与第二直水道连通。

作为优选的技术方案：所述的第一工艺孔与第二工艺孔配用。

本实用新型的有益效果是：一种水冷盘钎焊结构，与传统结构相比：设置有第一螺旋冷却水道和第二螺旋冷却水道；所述的第一螺旋冷却水道和第二螺旋冷却水道与工艺孔之间设置有螺旋凹槽；不但不会堵塞工艺孔和冷却水道，而且钎焊片融化后，流入螺旋凹槽中，连接成屏障，形成了一个密闭的螺旋冷却空间，防止冷却水泄漏而影响工艺环境。

附图说明

图1为本实用新型三维爆炸图；

图2为本实用新型水道底板三维图；

图3为本实用新型水道底板主视图；

图4为本实用新型图3A-A剖视图；

图5为本实用新型水道盖板主视图；

在图中：1.钎焊片、2.水道盖板、3.水道底板、4.第一工艺孔、5.冷却水进口、6.冷却水出口、7.第二工艺孔、8.第一螺旋冷却水道、8-1.第一直水道、9.第二螺旋冷却水道、9-1.第二直水道、10.螺旋凹槽、11.水道弯头。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步描述；

在附图中： 一种水冷盘钎焊结构，包括钎焊片1；所述的钎焊片1一侧设置有水道盖板2，另一侧设置有水道底板3；所述的水道盖板2上设有第一工艺孔4，冷却水进口5和冷却水出口6；所述的水道底板3上设置有第二工艺孔7和第一螺旋冷却水道8；所述的第一螺旋冷却水道8一侧设置有第二螺旋冷却水道9；所述的第一螺旋冷却水道8和第二螺旋冷却水道9之间通过水道弯头11连通，周边设置有螺旋凹槽10；所述的第一螺旋冷却水道8断面为“∪”形，设置有第一直水道8-1；所述的第二螺旋冷却水道9断面为“∪”形，设置有第二直水道9-1；所述的冷却水进口5与第一直水道8-1连通；所述的冷却水出口6与第二直水道9-1连通；所述的第一工艺孔4与第二工艺孔7配用。

本实用新型的具体实施：

1.设置有螺旋凹槽10，融化的钎焊片1在毛细作用下填充到螺旋凹槽10中，隔离螺旋冷却水道和工艺孔，降低泄露概率，提高钎焊后的密封质量。

2.在实际使用时，通过冷却水进口5通入冷却水，在第一螺旋冷却水道8和第二螺旋冷却水道9形成的密闭空间中循环冷却，由冷却水出口6流出，同时带走LED刻蚀机工作是产生的热量。

上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。