[0036]图3示出了悬架20的示例。悬架20包括底板30、负载梁31、铰链部分32和带有导体的挠曲件40。带有导体的挠曲件40可以简单地被称作挠曲件40。底板30的凸台部分30a固连到托架15的臂17(图1和图2)上。
[0037]挠曲件40包括与负载梁31重叠的近端部分40a和从近端部分40a朝向底板30的背部(S卩，在图3中的箭头R所指示的方向)延伸的尾部40b。挠曲件40的近端部分40a通过诸如激光焊接之类的固定手段固连到负载梁31。舌状物41形成于挠曲件40的远端部40c附近。滑动件21 (图2和图3)安装于舌状物41上。多个尾部电极42形成于尾部40b中。
[0038]图4是挠曲件40的一部分的截面图。挠曲件40包括通过蚀刻例如奥氏体不锈钢板而获得的金属底座50和沿着金属底座50形成的导电电路部分51。金属底座50的厚度小于负载梁31的厚度。负载梁31的厚度例如为30至62 μ m，并且金属底座50的厚度是例如 18 μm(12 至 25 μm)。
[0039]导电电路部分51包括形成于金属底座50上的绝缘层52、形成于绝缘层52上由铜制成的多个导体53和覆盖层54。绝缘层52和覆盖层54中的每一个由电绝缘材料、如聚酰亚胺形成。开口 55和56可以形成于金属底座50的一部分上。在图4中的双头箭头A指示挠曲件40的厚度方向，而双头箭头B指示宽度方向。
[0040]图5是用于制造挠曲件40的工艺中的挠曲链状坯料片材60的一部分的平面图。挠曲链状坯料片材60包括多个框架单元61。框架单元61中每一个包括由金属底座50构成的框架部分62和以预定间距形成于框架部分62内的多个(数十或数百个)挠曲元件
40' ο
[0041]烧曲兀件40'中每一个包括金属底座50 (图4)和形成于金属底座50上的导电电路部分51，导电电路部分51是挠曲件40的构成元件。如在图4所示的挠曲件40的尾部40b中，导电电路部分51包括形成于金属底座50上的绝缘层52、形成于绝缘层52上由铜制成的导体53和覆盖这些导体53的覆盖层54。
[0042]框架单元61的框架部分62包括相对于挠曲元件4(V在纵向(如由图5和图6中的双头箭头X所指示)延伸的一对纵长框架63和64和相对于挠曲元件40'在横向(如由双头箭头Y所示)延伸的一对横向框架65和66。由纵长框架63和64和横向框架65和66形成框架部分62，框架部分62在框架单元61周围是连续的。
[0043]狭缝70和连接部71形成于这些框架单元61 (其相对于挠曲链状坯料片材60在纵向相邻)中的一个框架单元61的横向框架65与另一框架单元61的横向框架66之间。利用连接部71，框架单元61彼此连接。
[0044]第一定位孔72形成于横向框架65中(其为这些横向框架之一)中。在烧曲件40的制造过程中，为了将挠曲件链状坯料片材60保持在预定位置，第一定位销可以插入于定位孔72内。第二定位孔73形成于横向框架66 (其为横向框架中的另一个)中。在烧曲件40的制造过程中，第二定位销可以插入于定位孔73内。定位孔72和73通常分别在挠曲元件40'的纵向方向上形成于挠曲元件40'的端部附近，以便提高定位准确度。即，第一定位孔72在纵向方向上形成于靠近框架单元61的一端的侧部上，并且第二定位孔73在纵向方向上形成于靠近另一端的侧部上。
[0045]图7是示意性地示出挠曲链状坯料片材60的一部分的侧视图。在图7中的双头箭头X指示挠曲元件40'的纵向方向。在本说明书中，挠曲链状坯料片材60设置有的导电电路部分51的侧部被称作第一表面61a，而与导电电路部分51相对的侧部被称作第二表面61b0
[0046]在制造过程中产生的应力可能保留在挠曲链状坯料片材60中。而且，由于在导电电路部分51与金属底座50之间的热膨胀或吸湿性差异等，存在应力保留的情况。然而，由于框架单元61彼此由连接部71连接，看起来，挠曲链状坯料片材60似乎具有直平面形状，如在图7中所示。
[0047]然而，如果切下挠曲链状坯料片材60的连接部71，并且使框架单元61中每一个成为独立单元，如图8所示，因为存在于框架单元61中的应力通过切割而释放，框架单元61如图8所示翘曲。特别地，可能发生如下翘曲(所谓的凹陷翘曲)，其中，第一表面61a(即，上面设置了导电电路部分51的侧部)略微向内弯曲。
[0048]在挠曲件40的制造过程中，当在框架单元61的导电电路部分51朝向上的同时处理挠曲元件40'时，销可以插入于定位孔72和73内以便定位框架单元61。在那种情况下，当第一表面61a具有凹入形状(凹陷翘曲)时，在定位准确度和定位简易性方面出现问题，诸如具有以下问题:插入于定位孔72和73内的销倾向于容易分离。
[0049]因此，取决于处理挠曲元件40'的过程，如果第一表面61a具有凸出表面(所谓的向上翘曲)，如图9所示，有时会更加方便。因此，如下文所描述，在本实施例中，公开了用于校正从挠曲链状坯料片材60切出的框架单元61的翘曲的校正设备80以及校正方法。
[0050]图10至图18示出了翘曲校正设备80。翘曲校正设备80能校正框架单元61的翘曲，框架单元61是板状工件的示例。图10是翘曲校正设备80的立体图。图11至图18中每一个是示意性地示出以解释校正设备80操作的侧视图。
[0051]翘曲校正设备80包括底座81、安置于底座81上的弹性垫82、安置于弹性垫82上的第一清洁片材83、安置于第一清洁片材83上的第二清洁片材84、安置于第二清洁片材84上的压力辊85等。
[0052]弹性垫82被形成为类似于板。弹性垫82具有水平延伸的平坦上表面82a，并且固定到底座81上使得其平行于底座81。弹性垫82的一个示例是由具有橡胶弹性的树脂(弹性体)泡沫形成，诸如聚氨酯泡沫，并且沿着其整个水平长度具有均匀硬度。弹性垫82的厚度为例如大约Icm至5cm，但弹性垫82可以按需要具有与厚度不同的厚度。
[0053]清洁片材83和84由能保持灰尘和灰尘粘附在最小程度上发生的材料制成。材料可以例如是连续纤维或树脂膜制成的片材。离子发生器(电离器)86相对于清洁片材83和84在横向安置，从而防止静电积聚。
[0054]第一清洁片材83由第一片材供应单元90以预定长度L水平地供应到弹性垫82上。第一片材供应单元90包括第一供应筒管91和第一卷取筒管92。第一供应筒管91将第一清洁片材83的未用的部分以预定量供应到弹性垫82上。第一卷取筒管92以预定量卷取弹性垫82上的第一清洁片材83的用过的部分。
[0055]第二清洁片材84由第二片材供应单元95与第一清洁片材83同步地在第一清洁片材83上以长度L供应，长度L为与第一清洁片材83相同的长度。第二片材供应单元95包括第二供应筒管96和第二卷取筒管97。第二供应筒管96将第二清洁片材84的未用的部分以预定量供应到第一清洁片材83上。第二卷取筒管97以预定量卷取第二清洁片材84的用过的部分。
[0056]第二片材供应单元95安装于第一升降机单元98上，第一升降机单元98可以上下移动。第一升降机单元98由升降机构在下降极限与上升极限之间上下移动，升降机构包括伺服马达和滚珠螺杆。当第二片材供应单元95移动到下降极限时，第二清洁片材84与第一清洁片材83重叠。
[0057]如图10所示，在第二片材供应单元95移动到上升极限的状态下，间隙G形成于第一清洁片材83与第二清洁片材84之间，工件保持机构100可插入该间隙中。工件保持机构100的示例被配置成由负压(真空)来保持框架单元61。工件保持机构100安装于可移动的臂上。
[0058]工件保持机构100插入于在第一清洁片材83与第二清洁片材84之间形成的间隙G内。工件保持机构100可以将框架单元(板状工件)61逐一放置于第一清洁片材83上