镍膜形成用涂布液与镍膜及其制造方法

专利名称：镍膜形成用涂布液与镍膜及其制造方法
技术领域：
本发明涉及镍膜形成用涂布液与镍膜及其制造方法。更详细地， 涉及采用涂布法，尤其是喷墨印刷法，可低成本且简便地在玻璃或陶 瓷等的耐热基板上形成有优异导电性的镍膜的涂布液，与使用该涂布 液形成的镍膜及其制造方法。
背景技术：
一般，液晶显示器(LCD)，电致发光显示器(ELD)，等离子体显 示器(PDP)等的显示器件的信号电极，各种电路基板的电极等使用导 电性好的金属材料，根据用途，例如使用铜、铝、银、镍等。
作为以往的金属电极的形成方法，广泛采用真空蒸镀法、溅射法 等的物理方法。这些方法可在基板上形成导电性好的均匀的金属膜。
然而，对此使用的膜形成装置由于以真空容器为基础故价格非常 高，并且由于每块基板成膜都必须使制造装置内形成真空，在制造成 本和批量生产性方面有问题。此外，为了把金属膜加工成设定的图案， 必须形成保护膜进行蚀刻，有工序多、生产效率低、高成本的缺点。
作为解决上述问题的制造方法，例如专利文献l-3提出了使用使 银或铜的纳米粒子分散在溶剂中的导电膜形成用涂布液的方法(以下， 有时称"涂布法")。该方法通过诸如向基板上涂布导电膜形成用涂布 液，干燥，烧成的简单的制造工序形成银或铜的导电膜。这是利用银 或铜的纳米粒子尺寸的效果，即使是在温度比较低的低温下也有效地 利用微粒子相互熔融粘合性质的方法。
但是，上述涂布法虽然对容易熔融粘合的纳米粒子适用，但例如， 如镍粒子这种难熔融粘合的金属，由于得到的膜质恶化(膜多孔性)， 故除了如积层陶资电容器这样的在1000匸左右的高温下进行烧成的
用途以外还没有实用化。并且，镍是强磁性体，对于粘度低的涂布液， 镍微粒子在涂布液中容易凝聚，涂布液的稳定性也有问题。
因此，作为改善这些问题的涂布液，例如在专利文献4中提出了 使用使甲酸镍溶解于一乙醇胺(2-氨基乙醇)(沸点171X:)的分子状 镍源的镍膜形成用糊。另外，专利文献5提出了将乙酸镍等的有机镍 溶解于二醇系的溶剂中的镍膜形成用糊。这些的方法，例如使用网版 印刷印刷上述糊，在氮气中400"C左右的温度下进行烧成制得镍导电 膜。
然而，近年采用涂布法形成导电膜时，作为分辨率良好地涂布形 成微细图案的方法，积极地研究了喷墨印刷法，作为该法使用的涂布 液，希望油墨喷出性好，并且成膜性良好，不产生弹力(乂、r軒)(由 于湿润性不好故涂布液从印刷图案缩小)或色料扩散(由于过度的湿 润性而涂布液从印刷图案扩展)等的缺陷，并且导电性等的膜特性好 的涂布液。
可是，上述专利文献4使甲酸镍溶解于一乙醇胺的镍膜形成用糊 或专利文献将乙酸镍等的有机镍溶解于二醇系的溶剂中的镍膜形成用 糊以网版印刷为前提，因此由于涂布液的粘度高，故完全不符合喷墨 印刷法的油墨喷出性最佳的5-20mPa . s左右的粘度而不能使用。
另外，假如专利文献4中，即使是使用甲酸镍和一乙醇胺制得了 低粘度的镍膜形成用油墨，但由于成膜性差，膜的致密度也不好，故 不能制得充分的膜特性(完全兼具电阻值、膜强度、膜均匀性、表面 粗糙度等)的镍导电膜。此外， 一乙醇胺是剧毒物，由于一乙醇胺含 量超过20%的涂布液也相当于剧毒物，也有难操作的缺点。
这里，例如在使用甲酸镍和胺系溶剂制造低粘度的镍膜形成用油 墨的场合，由于胺系溶剂有碱性，因此根据使用的基材胺系溶剂作为 碱起作用有可能使该基材劣化。例如可举出氧化硅系的基材容易被碱 劣化。因此，根据使用的基材，必须尽量降低镍膜形成用油墨中的胺 系溶剂的配合量。
另外，把镍膜形成用油墨涂布在基板上形成镍膜的场合，如果能 在更低温度下形成膜(例如，200-250TC左右)，则有可能更扩大镍膜 形成用油墨的使用范围，故期望在更低温度下形成膜。
专利文献l:特开2002-334618号乂>报
专利文献2:特开2002-338850号公报
专利文献3:特开2003-103158号公报
专利文献4:特开2005-026479号公净艮
专利文献5:特开2004-265826号公报

发明内容
本发明的目的在于提供采用涂布法，尤其是喷墨印刷法可低成本 且简便地形成兼具优异的导电性和成膜性(表面平坦性)的镍膜的镍 膜形成用涂布液，使用该涂布液的镍膜及其制造方法。
为了达到上述目的，本发明提供的镍膜形成用涂布液，第l项所 涉及的发明的特征是镍膜形成用涂布液含有作为主溶剂的甲酸和沸点
在180x:以上低于300x:的范围的胺系溶剂。
第2项所涉及的发明，以第1项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述胺系溶剂是链烷醇胺溶剂和/或乙二醇胺溶剂。
第3项所涉及的发明，以第2项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述胺系溶剂是3-氨基-l-丙醇(沸点188匸)。
第4项所涉及的发明，以第1-3项所述的镍膜形成用涂布液为前 提，其特征在于还含有粘合剂成分和/或表面活性剂。
第5项所涉及的发明，以第4项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述粘合剂成分或表面活性剂有氨基(-冊2)或胺基(氨 的1个、2个或3个氢原子分别用1个、2个或3个的烷基或芳基(甲 基、乙基、苯基等)取代得到的官能团)。
第6项所涉及的发明以笫4或5项所述的镍膜形成用涂布液为前 提，其特征在于前述表面活性剂是HLB值(Hydrophile Lipophile Balance,亲水性-亲油性平衡的缩写)10以上的聚硅氧烷系表面活性 剂。
第7项所涉及的发明以第l-6项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于还含有胺系溶剂以外的溶剂。
第8项所涉及的发明以第7项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述胺系溶剂以外的溶剂含有选自二甲基乙酰胺、乙二醇、 ;二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基亚乙基、亚丙基，烷基甲基、乙 基、丙基)、水的l种以上为主要成分。
第9项所涉及的发明以第7项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述胺系溶剂以外的溶剂含有乙二醇和二亚烷基二醇单烷 基醚(亚烷基亚乙基、亚丙基，烷基甲基、乙基、丙基)为主要 ' 成分。
第10项所涉及的发明以第1-9项所述的镍膜形成用涂布液为前 提，其特征在于还含有加热分解促进剂。
第ll项所涉及的发明以第IO项所述的镍膜形成用涂布液为前提， 其特征在于前述加热分解促进剂是钯化合物。
第12项所涉及的发明，以第1-11项所述的镍膜形成用涂布液为 前提，其特征在于室温下的粘度设定在5-30mPa . s的范围。
另外，本发明提供的镍膜的制造方法，其第13项所涉及的发明， 其特征在于把第1-12项的任何一项所述的镍膜形成用涂布液涂布在 基板上，千燥后，在惰性环境气氛或还原性环境气氛下200"以上的 , 温度进行烧成。
第14项所涉及的发明以第13项所述的镍膜的制造方法为前提， 其特征是在150X:以上的温度下进行前述干燥。
第15项所涉及的发明以第13或14项所述的镍膜的制造方法为前 提，其特征在于采用喷墨印刷往基板上进行上述镍膜形成用涂布液的 ; 涂布。
本发明提供的镍膜，其第16项所涉及的发明，其特征在于釆用第 13 -15项的任何一项所述的镍膜的制造方法得到。
第17项所涉及的发明以第16项所述的镍膜为前提，其特征在于 膜的比电阻值是10mQ . cm以下。
根据本发明所涉及的镍膜形成用涂布液，可得到具有适合于喷墨 印刷等的涂布法的粘度和优异的成膜性(印刷性)及液稳定性的涂布 液。并且，把该涂布液涂布在玻璃或陶瓷等的耐热基板上，干燥，烧 成制得的镍膜由于膜强度、表面平滑性好，且有良好的导电性，故可
适用于LCD、 ELD、 PDP等的各种显示器、电路基板等的电极。
附图简单说明


图1是表示实施例1的镍膜外观的光学显微镜照片。 图2是表示比较例1的镍膜外观的光学显微镜照片。
具体实施例方式
以下，对本发明的实施方式详细地进行^兌明。
本发明通过使用含有作为镍化合物的甲酸镍[化学式Ni (HC00) 2， 作为实际的形态，存在无水物Ni (HC00) 2 、或水合物 Ni(HC00)2 , 2H20。],作为溶剂具有180匸以上低于300X:的沸点的胺 系溶剂的镍膜形成用涂布液，作为对基板上的涂布法采用喷墨印刷法 的场合也可容易地实现镍膜的形成。
这里，本发明人在采用本发明时，着眼于(a)甲酸镍在镍化合物 之中比较低的温度范围热分解，(b)甲酸镍对胺系溶剂的溶解度随加 热温度上升而显著地增加，(c)为了某种程度地减慢溶剂的蒸发使用 沸点比较高的胺系溶剂。
即，使用沸点高(180-300。C )的胺系溶剂与热分解温度低(240-270 。C)的甲酸镍并用的镍膜形成用涂布液，往基材等上涂布后，在高温 (15(TC以上)进行加热干燥时，即使干燥继续进行但由于胺系溶剂的 蒸发速度(胺系溶剂的挥发)比较慢，故可将胺系溶剂的蒸发(胺系 溶剂的挥发)抑制到某种程度，而且可提高曱酸镍在加热温度升高的 干燥中的涂布液中的溶解度。
因此，即使是甲酸镍浓度随加热干燥而升高，但也难引起甲酸镍 的析出，可得到致密地填充着甲酸镍的干燥涂膜。 此外，基于对致密地填充着该曱酸镍的干燥涂膜，通过再进行烧 成等的热分解，使得到的镍膜变成更致密的考虑而达到目的。
此外，应当注意的地方是1)溶剂由于在其沸点以下的温度也有 一定程度的蒸气压，故涂布膜一般在沸点以下的加热温度下溶剂完全
挥发可得到干燥膜，2)即使是加热到溶剂的沸点以上，涂布的液的温 度也不上升到沸点以上，由于只是急剧地进行蒸发，故不能得到均匀 的干燥膜。
本发明人留意到这些问题，发现曱酸镍的分解温度(240-270X:)
和胺系溶剂的沸点(180x:以上低于30ox:)很重要，达到了采用本发
明的结果。
如上所述，本发明使用的镍化合物，为了在氮，氩等的中性环境
气氛中，在低温(约240-270X:)下分解形成镍而优选曱酸镍。
另外，甲酸镍在涂布液中的含量优选是3-40重量％的范围，更优
选为5-20重量％。含量小于3重量％时镍膜的膜厚变薄不能得到充分的
导电性，大于40重量°/。时产生裂紋有时导电性遭到破坏。
再者，这里所说的所谓曱酸镍的含量，表示无水的甲酸镍对3-氨基-l-丙醇的溶解度，在25 'C下有40重量％左右，若加热到120。C则溶解度至少增加到50重量％ 以上，若再提高温度其溶解度也增加。因此，本发明使用的胺系溶剂 优选至少具有与3-氨基-l-丙醇同等的溶解度，而实际上在接近各胺 系溶剂沸点的温度范围的溶解度高很重要。换言之，如沸点低的胺系
溶剂，在涂膜干燥时的升温过程中溶剂容易挥发，溶剂的温度上升有 限制的场合，可以说假如低温下的甲酸镍的溶解度某种程度地高，也 存在实际的涂膜形成过程中的溶解度相对地变低的倾向。 此外，上述所述的胺系溶剂都不相当于剧毒物。
另外，镍膜形成用涂布液中胺系溶剂的含量优选是10-97重量％ 的范围，更优选为15-70重量％。
含量小于10重量％时，由于胺系溶剂使甲酸镍溶解，稳定化的效 果降低，故镍膜形成用涂布液的液稳定性降低，同时由于得到的镍膜 的致密性降低，膜特性(电阻值、平坦性、强度等)恶化而不优选。 但是，如后述那样，将胺系溶剂与乙二醇并用的场合，由于乙二醇有 提高甲酸镍的溶解及稳定性的作用，故不使镍膜形成用涂布液的液稳 定性或得到的镍膜特性恶化，例外地，可使胺系溶剂的含量降到5重 量％-低于10重量％的范围。如前述，对氧化硅系容易被碱劣化的基材
使用镍膜形成用涂布液的场合，最好尽量地使胺系溶剂的配合量降低。 一方面，胺系溶剂含量大于97重量％，由于甲酸镍含量成为3重 量％以下故物理上不可能，但作为一般的倾向，胺系溶剂的含量太多时， 可能会(a )根据基材(例如玻璃)，湿润性变差，或(b )由于镍膜形 成用涂布液的粘度增高(例如100mPa s[25r]左右，起因于胺系溶 剂本身的粘度高)，故喷墨印刷时必须一边使用内装加热用加热器的喷 墨头加热液体使粘度降低， 一边进行印刷等费时费力，可能不能称为 优选的方面。
此外，沸点小于180C的胺系溶剂，由于干燥速度快，故使用这
种溶剂作为主溶剂的涂布液涂布后在高温(例如18ox:)下干燥时， 随着溶剂的急速蒸发容易产生膜的龟裂或明显的凹凸，容易引起使膜 电阻值、膜强度、膜平滑性、膜的均匀性等大幅度地劣化的问题。而 降低涂布后的干燥温度的场合，虽然不再引起上述龟裂的问题，但膜 (甲酸镍)的致密化容易不充分，同样地由于引起膜电阻值、膜强度、 膜平滑性等的问题而不优选。
一方面沸点超过30(TC的胺系溶剂，由于干燥速度太慢，故使用
这种溶剂作为主溶剂的涂布液在涂布后高温(例如i8ox:)下干燥时， 干燥时间明显地变长，同时由于膜中容易残留溶剂而不优选。另外， 为了提高溶剂的干燥速度使干燥温度进一步上升时，由于在涂布液的 干燥中同时地开始引起甲酸镍的分解，也会产生分解气体(水蒸汽、 二氧化碳等)，与上述同样地，容易引起使膜电阻值、膜强度、膜平滑 性、膜的均匀性等大幅度地劣化的问题而不优选。
本发明使用的镍膜形成用涂布液，除了甲酸镍和上述胺系溶剂外， 还可根据需要再含有粘合剂成分，胺系溶剂以外的有机溶剂、水等。 另外，为了进一步改善镍膜形成用涂布液的成膜性，也可以加入微量 的表面活性剂或高分子聚合物。
作为本发明使用的粘合剂，只要是溶解于胺系溶剂，不使曱酸镍 的溶解稳定性恶化即可，通过添加粘合剂可使膜的粘着力或平坦性提 高。作为这样的粘合剂材料，可举出高分子聚合物或硅系或钛系等的
偶联剂，其中具有氨基(-NH2)或胺基(氨的1个、2个或3个氢原子 分别用l个、2个或3个的烷基或芳基[甲基、乙基、苯基等]取代得 到的官能团)的偶联剂由于不破坏甲酸镍的溶解性而有效，例如，作 为硅系偶联剂，可举出3-氨丙基三曱氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅 烷、N-2 (氨乙基)3-氨丙基三曱氧基硅烷、N-2 (氨乙基)3-氨丙基 三乙氧基硅烷、N-2 (氨乙基)3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-2 (氨 乙基)3-氨丙基二曱基甲氧基硅烷等，作为钛系偶联剂，可举出钛酸 异丙基三(N-氨乙基-氨乙基)酯等，但不一定受这些限定。
另外，上述粘合剂的添加量，相对于甲酸镍[Ni(HCOO)2]100重量 份为0. 05-20重量份，优选添加1-15重量份。小于O. 05重量份时没 有添加的效果，而超过20重量份时，可发挥使上述膜的粘着力或平坦 性提高的效果，但由于粘合剂成分存在于镍微粒相互之间阻碍接触， 故破坏膜的导电性因而不优选。此外，粘合剂使用偶联剂的场合，由 于烧成后无机成分也残留在膜中，使基材与镍微粒间接合故有助于膜 的粘着力提高。另外，粘合剂的添加在烧成过程中也有使镍微粒的成 长均匀化的效果也有助于膜的平坦性的提高。
作为本发明使用的胺系溶剂以外的有机溶剂，优选是与胺系溶剂 有相互溶解性不使甲酸镍的溶解稳定性恶化范围的有机溶剂。另外，
进行喷墨印刷的场合，当然必须抑制低沸点有机溶剂(例如沸点100
x:以下)的配合量使配合量低，不使印刷性(初期喷出性，间歇喷出 性等)恶化。
即，作为上述有机溶剂，例如，可举出甲醇(MA)，乙醇(EA)、 l-丙醇(NPA)、异丙醇(IPA)、 丁醇、戊醇、节醇、双丙酮醇(DAA) 等的醇系溶剂、丙酮、甲乙酮(MEK)、甲丙酮、甲基异丁基酮(MIBK)、 环己酮、异佛尔酮等的酮系溶剂、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异丁酯、 甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁 酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸 丁酯、甲氧基乙酸曱酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基 乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羟基丙酸曱酯、3-羟基丙酸乙酯、3-曱氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基 丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基 丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-曱基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-曱氧基-2-曱基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙 酯、丙酮酸曱酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙 酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等的酯系溶剂、乙二醇单 甲醚(MCS)、乙二醇单乙醚(ECS)、乙二醇异丙醚(IPC)、乙二醇一 丁醚(BCS)、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇甲 醚(PGM)、丙二醇乙醚(PE)、丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇乙 醚乙酸酯(PE-AC)、 二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单 丁醚、二乙二醇单曱醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单 丁醚乙酸酯、二乙二醇二曱醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丁醚、 二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丁醚等的乙二醇衍生 物，甲酰胺(FA)、 N-甲基甲酰胺、二曱基甲酰胺(DMF)、 二甲基乙酰 胺(DMAc)等的酰胺系溶剂、甲苯、二曱苯、均三甲苯、十二烷基苯
等的苯衍生物、二甲基亚砜(DMSO)、 N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、 y-丁内酯、乙二醇、二乙二醇、四氢呋喃(THF)、氯仿、矿油精、萜品 醇等，但不一定限定于这些。上述溶剂之中从良好地保持溶解甲酸镍 的胺系溶剂的液稳定性的观点考虑优选酰胺系溶剂。另外，比镍膜形 成用涂布液使用的至少1种以上的胺系溶剂的沸点低的有机溶剂，以 该有机溶剂比胺系溶剂先挥发，良好地溶解甲酸镍的胺系溶剂后挥发 的观点考虑而优选。上述酰胺系溶剂之中，二甲基乙酰胺(沸点166 X:，表面张力32. 4达因/cm[30lC]、粘度0. 92mPa . s [25*C])，由 于沸点适度地高；且表面张力和粘度低而优选。
这里，二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基亚乙基、亚丙基，烷基 甲基、乙基、丙基)，例如为二乙二醇单甲醚(沸点194X:，表面张 力34. 8达因/cm[25X:]，粘度3. 48mPa . s [25'C] )、 二乙二醇单乙 醚(沸点202°C，表面张力:31. 8达因/cm[25iC]，粘度3. 71mPa -s [25 。C] )、 二乙二醇单丙醚(沸点210匸，表面张力32.3达因/cm[20 匸]、粘度4. lmPa . s[25X:]、 二丙二醇单甲醚(沸点190"C，表面 张力28.8达因/cm[25X:]，粘度3. 33mPa . s [25*C] ， 二丙二醇单 乙醚(沸点198C，表面张力27.7达因/cm[25X:]、粘度 3. 34mPa . s[25。C]，虽然沸点比作为胺系溶剂的前述3-氨基-l-丙醇 的沸点188"C高一些，但表面张力和粘度低，虽然更正确的理由还不 清楚但与上述3-氨基-1-丙醇并用使用时由于可得到低粘度且成膜性 好的涂布液而可作为优选的溶剂举出。
另外，乙二醇(沸点197. 6匸，表面张力48. 4达因/cm[20匸]， 粘度20. 9mPa . s[20C]，虽然沸点也比作为胺系溶剂的上述3-氨基 -l-丙醇的沸点188匸高一些，但由于有促进甲酸镍的溶解的作用，在 配合到镍膜形成用涂布液中时，由于即使是使上述3-氨基-l-丙醇的 配合量少也可确保曱酸镍的溶解稳定性而可作为优选的溶剂举出。但 由于乙二醇的粘度高，约为21mPa.s，故与上述低粘度的二亚烷基二
醇单烷基醚(亚烷基亚乙基、亚丙基，烷基曱基、乙基)并用时 可以得到胺系溶剂配合量少，低粘度且成膜性好的涂布液(例如，甲
酸镍5-10重量％，胺系溶剂5-10重量％、乙二醇5-15重量％、 二 亚烷基二醇单烷基醚65-75重量％、其他少量)。
作为上述乙二醇以外的二醇溶剂，例如二乙二醇，三乙二醇，四 乙二醇，丙二醇，二丙二醇，三丙二醇等基本上没有出现如乙二醇那 样促进甲酸镍的溶解的作用，只有乙二醇有特殊的作用。
这里，作为胺系溶剂以外的溶剂的水，作为甲酸镍的原料使用甲 酸镍水合物[Ni(C00H)2 2&0]的场合，在镍膜形成用涂布液中必然地 含有水，虽然水比不上乙二醇但由于有提高甲酸镍的溶解及稳定性的 作用，故也可以进一步加入水使镍膜形成用涂布液中的水含量为25 重量％以下(优选20重量°/。以下)，水的含量超过25重量％时虽然理由 尚不确定但有使甲酸镍的溶解稳定性恶化的倾向而不优选。
配合有上述酰胺系溶剂、二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基亚乙 基、亚丙基，烷基甲基、乙基)、乙二醇、水等的低粘度且成膜性好 的涂布液，虽然也适合于旋转涂布等的各种涂布方法，但最适合于喷 墨印刷。
能适用于本发明的上述表面活性剂或高分子聚合物有聚硅氧烷 系、氟系，胺系的表面活性剂、丙烯酸系高分子聚合物等，但尽量优 选有燃烧性或热分解性。作为聚硅氧烷系表面活性剂，例如可举出疏 水基由聚二甲基硅氧烷、亲水基由聚环氧烷构成的表面活性剂，或其 一部分中导入各种官能团的表面活性剂等，表面活性剂的HLB值(亲 水性-亲油性平衡)优选是10-20。 HLB值小于10时由于出现镍膜形成 用涂布液涂布并成膜得到的膜的均匀性不充分的倾向而不优选。超过 20的聚硅氧烷系表面活性剂一般没有市售很难得到。
这里，HLB ( Hydrophilic-Lipophilic-Balance )值是表示表面 活性剂性质的一个指标，HLB值表示亲水性与亲油性的均衡，HLB值越 高则水溶性越高，越低表示越接近油性。
作为上述官能团，从对胺系溶剂的溶解性或使甲酸镍的溶解稳定 性提高的观点考虑可以说优选氨基或胺基。这里，作为胺系的表面活 性剂由于烷基胺乙酸盐(RHNH2 H00CCH3、 R:烷基)良好地保持镍膜
形成用涂布液的液稳定性，并且也有热分解性故可作为优选的表面活 性剂举出。
另外，上述表面活性剂或高分子聚合物的添加量，相对于甲酸镍 100重量份是0. 01-3. 0重量份，优选添加0. 02-0. 5重量 份。小于O. 01重量份时没有添加的效果，而超过3. 0重量份时虽然可 发挥提高上述成膜性的效果，但表面活性剂或高分子聚合物成分在镍 膜形成过程中存在于镍微粒相互之间阻碍粒子成长或接触有破坏所得 镍膜的导电性的可能性而不优选。
本发明使用的镍膜形成用涂布液，可通过使甲酸镍加热溶解于胺 系溶剂中进行制备。另外，如上所述，也可以根据需要添加粘合剂成 分，上述有机溶剂等。加热溶解条件，例如使加热溶解温度为50-160 'C的场合，通过搅拌10-60分钟左右进行。即使加热溶解温度比50匸 低但如果花长时间也不会不溶解，但不是高效率，而加热溶解温度比 160X:高时胺系溶剂的蒸发显著，甲酸镍浓度发生变化而不优选。另外，
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作为本发明使用的涂布方法，可使用所谓旋转涂布法、线棒涂布 法(7 4 Y—^一3—卜)、浸渍涂布法、网版印刷、喷墨印刷的各种 涂布方法，其中从可直接分辨率良好地形成微细图案的观点考虑优选 喷墨印刷的涂布法。
喷墨印刷由于使油墨从喷嘴喷出在基材上形成涂膜图案，故涂布 液的粘度(室温下的测定值)，通常必须设定在5-30mPa s左右的范 围(优选5-20mPa . s，更优选5-15mPa s )。由于该适用粘度指喷墨 头内的油墨的粘度，故在喷墨头内装加热用加热器的装置时也可以使 用更高粘度(指室温下的粘度)的油墨。另外，为了防止被喷嘴部分
的溶剂干燥堵塞喷嘴，必须使用沸点比较高(例如，沸点ioox:以上)
的溶剂。
涂布在基板上的镍膜形成用涂布液的干燥，由于上述的理由使涂 布着涂布液的基板在15(TC以上的温度下，优选150-220匸，更优选在180-220X:的温度进行。但即使是低于150C而根据条件也可以进行干 燥可得到良好的镍膜。干燥时间优选保持10-60分钟。干燥环境气氛 可使用大气中，或氮气等的中性环境气氛。
把干燥后的涂布基板放入烧成炉中，通常，通过加热到甲酸镍的 分解温度约240C以上，优选300X:以上，保持30-120分钟进行烧成。 在镍膜形成用涂布液中添加微量(相对于镍100重量份0. 01-0. 1重量 份左右)的钯化合物(例如乙酸钯)等的加热分解促进剂时，由于可 降低甲酸镍的分解温度，故可使烧成温度再降低5-15"C左右。但是， 根据加热分解促进剂的种类及其添加量，涂布液的室温放置时间长时， 有时由于分解促进作用而生成微粒，这种场合必须在即将使用镍膜形 成用涂布液之前配合加热分解促进剂。
由于烧成温度越高越促进镍粒子的粒子成长故镍膜的导电性提 高。烧成环境气氛可以是氮气、氩气等的中性环境气氛，但从完全抑 制镍粒子的氧化促进镍粒子相互的烧结可进一步提高导电性的观点考 虑优选氢气、氢-氮混合气体等的还原性环境气氛。另外，还原性环境 气氛中的烧成，由于即使在甲酸镍的分解温度以下的温度也可将甲酸 镍还原成镍，虽然烧成时间变长，例如在200-230X:左右的低温烧成 时也可得到镍膜。 实施例1
将甲酸镍[Ni(C00H)2 .2H20]: 10g、 3-氨基-l-丙醇(沸点188t:): 40g混合，在80C加热溶解后，将二曱基乙酰胺49. 8g，及烷基胺乙 酸盐(RHNH2 . HOOCCH3、 R:具有碳链长度8-18分布的烷基)0. 2g作 为胺系的表面活性剂混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液的实施例1 的镍膜形成用涂布原液。
该镍膜形成用涂布液的粘度是IO. lmPa s[25土2C下测定的值]， 室温下放置一个星期包括甲酸镍等的析出在内的油墨外观也没有变 化。在钠钓玻璃基板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴， 油墨喷出性良好，并且所形成的涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷 墨印刷。此外，该镍膜形成用涂布液的粘度使用CBC有限公司制的振 动式粘度计VM-100-L进行测定。
由于釆用喷墨印刷的大面积涂布印刷(《夕印刷)不容易，难采 集后述的所述镍膜的特性评价(透射率、雾度、表面电阻值)用的试 样，故采用旋转涂布法进行镍膜的形成，将该镍膜作为评价试样。即， 把上述镍膜形成用涂布液旋转涂布(250rpmx60秒)在钠钩玻璃基板 (10cmxl0cmx3mm厚)的整个面上后，在180t:干燥30分钟，再在2% 氢-98%氮中在300X:下烧成60分钟得到实施例1的镍膜。该镍膜的外 观，如由图1表示的光学显微镜照片所判断的是均匀的，目视观察也 是均匀的且没有看到涂膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约90nm。此外，由 于这些镍膜使用同样的镍膜形成用涂布液，故不论是采用喷墨印刷法， 还是釆用旋转涂布法，所得镍膜的膜特性均没变。 实施例2
将曱酸镍[Ni(COOH)2.2H20]: 10g、 3-氨基-l-丙醇(沸点): 40g混合，在80r加热溶解后，将二甲基乙酰胺49. 88g，聚硅氧烷 系表面活性剂(東k ,夕'々3—-》夕'.〉！J 3 — 7制，L-7604, HLB 值=13) 0. 02g,及作为粘合剂成分的硅偶联剂(N-2 (氨乙基)3-氨丙 基三甲氧基硅烷)0. lg混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液的实施 例2的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 9. 8mPa . s [25士210下测定的值]，在室温下放置一个星期包括曱酸镍等 的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钓玻璃基板上喷墨印刷该镍 膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，并且所形成的涂 布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例1同样地进行，得 到实施例2的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约110nm。 实施例3
将曱酸镍[Ni(COOH)2'2H20]: 10g、 3-氨基-l-丙醇(沸点): 40. Og混合，在80C加热溶解后，将二甲基乙酰胺49. 68g，聚硅氧 烷系表面活性剂(東k.夂々3—-7夕'.)卩3 — :x制，FZ-2162;
HLB值=11) 0. 02g，及作为粘合剂成分的硅偶联剂(3-氨丙基三甲氧 基硅烷)0. 3g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液的实施例3的镍 膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是9， 9mPa 's[25土2t: 下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍等的析出在内的油墨 外观也没有变化。在钠钧玻璃基板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时， 不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，并且所形成的涂布膜的涂布性也良好， 可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例1同样地进行，得 到实施例3的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约115nm。 实施例4
将甲酸镍[Ni (C00H)2 2H20]: 10g、 3-氨基-l-丙醇(沸点188"C ): 40. 0g混合，在80。C加热溶解后，将二甲基乙酰胺49. 68g，聚硅氧 烷系表面活性剂(東k.夂々3—-;/夕'.'〉卩3 — 7制，FZ-2161; HLB值=16) 0. 02g，及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联剂(钛酸异丙基 三(N-氨乙基-氨乙基)酯)0.3g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶 液的实施例4的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 9. 8mPa . s [25土2。C下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍等 的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钙玻璃基板上喷墨印刷该镍 膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，并且所形成的涂 布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例1同样地进行，得 到实施例4的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约105nm。 实施例5
将甲酸镍[Ni(COOH)2'2H20]: 10g、 3-氨基-l-丙醇(沸点): 20. Og混合，在80X:加热溶解后，将二乙二醇单乙醚69. 48g，聚硅 氧烷系表面活性剂(東k. y，3—-7/.'〉卩3 — :x制，L-7604, HLB值=13) 0. 02g,及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联剂(钛酸异丙基
三(N-氨乙基-氨乙基)酯)0.5g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶 液的实施例5的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 16. 8mPa s [25土2X:下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍 等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钩玻璃基板上喷墨印刷该 镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，并且所形成的 涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液旋转涂布后在2001C干燥30分 钟，在2%氢-98%氮中在300"C烧成30分钟以外与实施例1同样地进行， 得到实施例5的镍膜。该镍膜的外观，目视视察是均匀的且没有看到 涂膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约H0nm。 实施例6
将甲酸镍[Ni(C00H)2 2H20]: 8g、 3-氨基-l-丙醇(沸点): 16. Og混合，在80X:加热溶解后，将二乙二醇单乙醚75. 58g,聚硅 氧烷系表面活性剂(東k. ,，3—-》夕*.'〉卩3 —爻制，L-7604， HLB值=13) 0. 02g,及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联剂(钛酸异丙基 三(N-氨乙基-氨乙基)酯)0.4g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶 液的实施例6的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 11.7mPa . s[25土2"C下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍 等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钙玻璃基板上喷墨印刷该 镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，并且所形成的 涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例5同样地进行，得
到实施例6的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约104認。 实施例7
除了实施例6中在2%氢-98%氮中在250\:下烧成30分钟以外与实 施例6同样地进行，得到实施例7的镍膜。该镍膜的外观，目视观察 是均匀的且没有看到涂膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约110nm。 实施例8
将甲酸镍[Ni(C00H)2 2H20]: 8g、 3-氨基-1-丙醇(沸点188匸) 8. Og，乙二醇10g混合，在80t:加热溶解后，将二乙二醇单乙醚 73. 58g，聚硅氧烷系表面活性剂(東k, y々3—-7/.》'J3 — 》制，L-7604， HLB值=13) 0. 02g，及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联 剂(钛酸异丙基三(N-氨乙基-氨乙基)酯)0.4g混合并溶解，得到 作为蓝色透明溶液的实施例8的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用 涂布液的粘度是9. 6mPa . s [25±21:下测定的值]，在室温下放置一个 星期包括甲酸镍等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钙玻璃基 板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好， 且所形成的涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例5同样地进行，得 到实施例8的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约ioo該。 实施例9
将甲酸镍[Ni(C00H)2 2H20]: 8g、 3-氨基-l-丙醇(沸点188"C ): 16. Og混合，在80。C加热溶解后，将0. 25°/。乙酸钯溶液lg， 二乙二醇 单乙醚74. 58g，聚硅氧烷系表面活性剂(東h y夕3—-歹夕'. 夕lj 3 —》制，L-7604, HLB值-13) 0. 02g，及作为粘合剂成分的钛 酸酯偶联剂(钛酸异丙基三(N-氨乙基-氨乙基)酯)0.4g混合并溶 解，得到作为蓝色透明溶液的实施例9的镍膜形成用涂布原液。该镍 膜形成用涂布液的粘度是11. 6mPa 's[25土2匸下测定的值]，在室温下 放置半天包括甲酸镍等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钙玻 璃基板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性 良好，且所形成的涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液，在2%氢-98%氮气中在230匸下 烧成60分钟以外与实施例1同样地进行，得到实施例9的镍膜。该镍 膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂膜缺陷等。该镍膜的膜厚 是约105nm。 实施例10
将甲酸镍[Ni(C00H)2 2H20]: 8g、 3-氨基-l-丙醇(沸点188匸): 16. Og混合，在80匸加热溶解后，将二乙二醇单甲醚75.58g，聚硅 氧烷系表面活性剂(東k.夕卩3 — y制，L-7604， HLB值-13) 0. 02g，及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联剂[钛酸异丙基三 (N-氨乙基-氨乙基)酯]:0.4g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液 的实施例10的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 10. 9mPa . s[25土2"C下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍 等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钾玻璃基板上喷墨印刷该 镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，且所形成的涂 布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例5同样地进行，得 到实施例IO的镍膜。该镍膜的外观，目视观察并均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约101nm。 实施例11
将甲酸镍[Ni(C00H)2 2H20〗:8g、 3-氨基-l-丙醇(沸点): 16. Og混合，在80t:加热溶解后，将二乙二醇单甲醚75.58g，聚硅 氧烷系表面活性剂(東k.夂々3—-:x夕'.卩3 —歹制，L-7604， HLB值-13) 0. 02g，及作为粘合剂成分的钛酸酯偶联剂[钛酸酯异丙基 三(N-氨乙基-氨乙基)酯]:0.4g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶 液的实施例11的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 10. 5mPa. s[25土2t:下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍 等的析出在内的油墨外观也没有变化。在钠钙玻璃基板上喷墨印刷该 镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，且所形成的涂 布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例5同样地进行，得 到实施例11的镍膜。该镍膜的外观，目视观察是均匀的且没有看到涂 膜缺陷等。该镍膜的膜厚是约103nm。 [比较例1]
将甲酸镍[Ni(C00H)2 . 2H20]: 10g、 2-氨基乙醇(沸点):
40g混合，在801C加热溶解后，将二甲基乙酰胺49. 8g，及作为表面 活性剂的烷基胺乙酸盐UHNH2 .HOOCCH3; R:具有碳链长度8-18的分 布的烷基)0. 2g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液的比较例1的镍 膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是8. OmPa .s[25士2lC 下测定的值]，在室温下放置一个星期包括甲酸镍等的析出在内的油墨 外观也没有变化。在钠钩玻璃基板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时， 不堵塞喷嘴，油墨喷出性良好，且所形成的涂布膜的涂布性也良好， 可充分地喷墨印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例1同样地操作，得 到镍膜。由于干燥温度180X:比溶剂2-氨基乙醇的沸点高，故膜的干 燥不均匀，成为具有形成目视观察容易判断程度的涂膜缺陷(0. 2-数 mm左右尺寸的斑驳花紋)的极不均匀外观的比较例1的镍膜。把该镍 膜外观的光学显微镜照片示于图2。由于该镍膜不均匀，故没进行部 分膜特性(膜厚、比电阻值)的测定。关于透射率，虽然膜不均匀， 但由于后述的透射率测定方法是对直径20mm的范围求透射率的平均 值的方法，故按与各实施例进行比较的意义进行测定。 [比较例2]
将曱酸镍[Ni(C00H)2 '21120]: 10g、 l-氨基-2-丙醇(沸点160*€ ): 40g混合，在80X:加热溶解后，将二甲基乙酰胺49. 8g，及作为表面 活性剂的烷基胺乙酸盐(RHNH2 . HOOCCH3; R:具有碳链长度8-18的分 布的烷基)0. 2g混合并溶解，得到作为蓝色透明溶液的比较例2所述 的镍膜形成用涂布原液。该镍膜形成用涂布液的粘度是 8. 9mPa .s [25±2匸下测定的值],在室温下放置一个星期包括甲酸镍等 的析出在内的油墨外观也没有变化。
在钠钙玻璃基板上喷墨印刷该镍膜形成用涂布液时，不堵塞喷嘴， 油墨喷出性良好，且所形成的涂布膜的涂布性也良好，可充分地喷墨 印刷。
除了使用上述镍膜形成用涂布液以外与实施例1同样地进行，但 由于干燥温度180匸比溶剂l-氨基-2-丙醇的沸点高，故膜的干燥不均匀，得到形成有目视观察容易判断的涂膜缺陷(数腿左右以上尺寸的
斑驳花紋)的比较例2的镍膜。由于该镍膜不均匀，故没进行部分膜 特性(膜厚，比电阻值)的测定。关于透射率，虽然膜不均匀，但由 于后迷的透射率测定方法是对直径20mm的范围求透射率的平均值的 方法，故按与各实施例进行比较的意义进行测定。
求这样得到的各实施例及各比较例的镍膜的膜厚，表面电阻值(单 位Q/口 (ohm . per . Square ))、比电阻值、可见光线透射率、膜强度 (粘着力)、表面粗糙度(Ra ),把结果示于表1。膜厚使用KLA-Tencor Corporation制触针式膜厚计(Alpha-Step IQ )进行测定，表面电阻 值使用三菱化学公司制的表面电阻计口 k久夕AP (MCP-T400 )进行测 定，可见光线透射率使用村上色彩技术研究所制雾度计(HR-200 )进 行测定，表面粗糙度(Ra)使用DI制AFM (NS-III， D5000系统)对 20jamx20ium的领域进行测定(有关比较例1、 2的表面粗糙度，由于膜 不均勻，故认为其测定值依测定部位而不同，故由与各实施例进行比 较的意义进行测定)，膜强度(粘着力)按JIS K 5600-5-6规定的胶 黏带剥离试验(划格法胶勦带剥离试验)进行评价。
此外，上述的镍膜的透射率是仅镍膜的(可见光)透射率，可按 照下式求出。即，
镍膜的透射率(％)
=[(每个带镍膜玻璃基板测定的透射率)/ (玻璃基板的透射 率)]x100
上述的镍膜的比电阻值，可按下式求出。即， 镍膜的比电阻值(mQ cm)
-[镍膜的表面电阻值(Q/:i) x[镍膜的膜厚(jam) ]x0.1
将各实施例与各比较例加以对比则看出各实施例的含甲酸镍和 180。C以上低于300"C的沸点的胺系溶剂的镍膜形成用涂布液适合于 喷墨印刷，且没有油墨外观的变化，同时可形成低电阻且膜强度(粘 着力)好的均匀而平坦的镍膜，而使用各比较例的镍膜形成用涂布液 制得的镍膜，镍膜明显地不均匀，同时出现电阻值或膜平坦性大幅地 恶化等的问题。
产业上利用的可能性
根据本发明的镍膜形成用涂布液，由于可使用喷墨印刷，故可在 基板上分辨率好地形成微细的镍膜的图案，并且由于所得镍膜的导电 性、均匀性、平坦性、强度也良好，故可在要求精密且复杂的图案的 液晶显示器(LCD)，电致发光显示器(ELD)、等离子体显示器(PDP) 等的显示器件的信号电极等的电子设备的制造中使用，此外也包含各 种电路基板的电极等，可期待广范的利用。
权利要求
1.镍膜形成用涂布液，其特征在于含有甲酸镍和沸点在180℃以上低于300℃的范围的胺系溶剂作为主溶剂。
2. 权利要求1所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述胺系溶剂是链烷醇胺溶剂和/或乙二醇胺溶剂。
3. 权利要求2所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述胺系溶 剂是3-氨基-1-丙醇(沸点)。
4. 权利要求1-3的任何一项所述的镍膜形成用涂布液，其特征在 于还含有粘合剂成分和/或表面活性剂。
5. 权利要求4所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述粘合剂 成分或表面活性剂有氨基(_NH2)或胺基(氨的氩原子的1个、2个或 3个分别用1个、2个或3个烷基或芳基[甲基、乙基、苯基等]取代得 到的官能团)。
6. 权利要求4或5所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述表 面活性剂是HLB值(亲水性-亲油性平衡)10以上的聚硅氧烷系表面 活性剂。
7. 权利要求1-6的任何一项所述的镍膜形成用涂布液，其特征在 于还含有胺系溶剂以外的溶剂。
8. 权利要求7所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述胺系溶 剂以外的溶剂含有选自二甲基乙酰胺、乙二醇、二亚烷基二醇单烷基 醚(亚烷基亚乙基、亚丙基，烷基甲基、乙基、丙基)、水的1 种以上作为主要成分。
9. 权利要求7所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述胺系溶 剂以外的溶剂含有乙二醇和二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基亚乙基、 亚丙基，烷基甲基、乙基、丙基)作为主要成分。
10. 权利要求1-9的任何一项所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于还含有加热分解促进剂。
11. 权利要求10所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于前述加热 分解促进剂是钯化合物。
12. 权利要求1-11所述的镍膜形成用涂布液，其特征在于室温下 的粘度设定在5-30mPa . s的范围内。
13. 镍膜的制造方法，其特征在于把权利要求1-12的任何一项所 述的镍膜形成用涂布液涂布在基板上、干燥后，在惰性环境气氛或还 原性环境气氛下在2001C以上的温度进行烧成。
14. 权利要求13所述的镍膜的制造方法，其特征在于在150匸以 上的温度进行前述干燥。
15. 权利要求13或14所述的镍膜的制造方法，其特征在于采用 喷墨印刷进行前述涂布。
16. 镍膜，其特征在于采用权利要求13-15的任何一项所迷的镍 膜的制造方法得到。
17. 权利要求16所述的镍膜，其特征在于膜的比电阻值是 1 OmQ cm以下。
全文摘要
本发明目的在于提供适用于采用涂布法，尤其是喷墨印刷法形成兼具优异的导电性和成膜性(表面平坦性)的镍膜的镍膜形成用涂布液，使用该涂布液的镍膜及其制造方法。通过制成含有甲酸镍和沸点在180℃以上低于300℃的范围的胺系溶剂作为主溶剂的镍膜形成用涂布液，可得到适用于喷墨印刷的镍膜形成用涂布液，涂布该镍膜形成用涂布液，干燥，在惰性环境气氛或还原性环境气氛下在200℃以上的温度进行烧成，可得到低电阻且膜强度(粘着力)好的均匀且平坦的镍膜。
文档编号C23C18/08GK101194041SQ20068002058
公开日2008年6月4日 申请日期2006年6月16日 优先权日2005年6月17日
发明者大塚良广, 行延雅也 申请人:住友金属矿山株式会社