一种镀铜工艺的制作方法

文档序号:3251867阅读:885来源:国知局
专利名称:一种镀铜工艺的制作方法
技术领域
本发明属于精细化工领域,更具体地说,是涉及一种镀铜工艺。
背景技术
铜镀层具有良好的延展性、结合性、可塑性及易抛光性,广泛应用于装饰防护镀层 的底层,这样可以减少镀层孔隙,提高镀层的防蚀性能,而且还可以节约贵重金属的耗用 量。由于碳在铜中扩散渗透比较困难,在热处理工艺中为了防止钢铁局部渗碳,往往也要采 用镀铜工艺。此外,由于铜与塑料的膨胀系数接近,因此,在塑料电镀中,常用铜镀层作为导 电层。焦磷酸盐镀铜采用焦磷酸铜作为主盐,加上配位剂及其他辅助配位剂等成分,通 过控制PH值、温度、空气搅拌等工艺条件得到结晶细致的光亮镀层。由于镀液不含氰化物, 分散能力和覆盖能力好,镀液稳定,电流效率高,工艺范围较宽,易于控制,因此,非常适合 于工业大批量生产。然而,传统的镀铜工艺,虽然能得到结晶细致的光亮镀层,但是电流密度较小,导 致生产率较低。虽然可以通过添加有机添加剂等来提高电流密度,但是有机添加剂在较高 温度下容易分解,影响镀液纯净度,同时有机添加剂又存在废水处理等环保问题。

发明内容
本发明就是针对上述问题,提供了一种高效、污染小的镀铜工艺。为了实现本发明的上述目的,本发明采用如下技术方案,本发明的工艺步骤为1.除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;2.焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为焦磷酸铜70 90g/L、焦磷酸钾300 350g/L、柠檬酸铵0 15g/L、硝酸铵0 20g/L、酒石酸钾钠0 25g/L、氨三乙酸0 20g/L、氨水0 Iml ;镀铜过程的温度为45 55°C,体系PH值为8. 2 8. 8 ;3.烘干。本发明的有益效果1.镀液中的硝酸铵能提高焦磷酸盐电镀时的电流密度至1. 5 2. 5A/dm2,同时起 到改善镀层表面质量的作用;2.本发明操作简单,对环境的污染小,利于工业化生产。
具体实施例方式本发明的工艺步骤为1.除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;2.焦磷酸盐电镀铜
镀液的配方为焦磷酸铜70 90g/L、焦磷酸钾300 350g/L、柠檬酸铵0 15g/L、硝酸铵0 20g/L、酒石酸钾钠0 25g/L、氨三乙酸0 20g/L、氨水0 Iml ;镀铜过程的温度为45 55°C,体系pH值为8. 2 8. 8 ;3.烘干。实施例1 1.除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;2.焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾350g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠 12. 5g/L、氨三乙酸10g/L、氨水Iml ;镀铜过程的温度为45°C,体系pH值为8. 2 ;3.烘干。实施例2 1.除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;2.焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为焦磷酸铜90g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵Og/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠Og/ L、氨三乙酸20g/L、氨水0. 5ml ;镀铜过程的温度为55°C,体系pH值为8. 8 ;3.烘干。实施例3 1.除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;2.焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵10g/L、酒石酸钾钠 25g/L、氨三乙酸Og/L、氨水Oml ;镀铜过程的温度为50°C,体系pH值为8. 5 ;3.烘干。配置焦磷酸盐镀液时,应将叫磷酸铜用少量去离子水调成糊状,然后缓慢加入到 已溶解的焦磷酸钾中,不断搅拌,直至完全溶解;镀液中加入氨三乙酸时,应先将NaOH溶解于水中,NaOH的量为氨三乙酸的3 %,待 碱液温度低于60°C后,将氨三乙酸逐渐加入碱液中搅勻,最后将其加入到焦磷酸铜与焦磷 酸钾已混合好的溶液中,再搅勻;镀液中添加氨水,应在pH值调整前加入;硝酸铵应定期分析调整。
权利要求
1.一种镀铜工艺,其特征在于,本发明的工艺步骤为(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;(2)焦磷酸盐电镀铜 镀液的配方为焦磷酸铜70 90g/L、焦磷酸钾300 350g/L、柠檬酸铵0 15g/L、硝酸铵0 20g/ L、酒石酸钾钠0 25g/L、氨三乙酸0 20g/L、氨水0 Iml ; 镀铜过程的温度为45 55°C,体系pH值为8. 2 8. 8 ;(3)烘干。
2.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺,其特征在于,本发明的工艺步骤为(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;(2)焦磷酸盐电镀铜 镀液的配方为焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾350g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠12. 5g/ L、氨三乙酸10g/L、氨水Iml ;镀铜过程的温度为45°C,体系pH值为8. 2 ;(3)烘干。
3.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺,其特征在于,本发明的工艺步骤为(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;(2)焦磷酸盐电镀铜 镀液的配方为焦磷酸铜90g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵Og/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠Og/L、氨 三乙酸20g/L、氨水0. 5ml ;镀铜过程的温度为55°C,体系pH值为8. 8 ;(4)烘干。
4.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺,其特征在于,本发明的工艺步骤为(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜;(2)焦磷酸盐电镀铜 镀液的配方为焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵10g/L、酒石酸钾钠25g/L、 氨三乙酸Og/L、氨水Oml ;镀铜过程的温度为50°C,体系pH值为8. 5 ;(3)烘干。
全文摘要
一种镀铜工艺属于精细化工领域,更具体地说,是涉及一种镀铜工艺。本发明提供了一种高效、污染小的镀铜工艺。本发明的工艺步骤为除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜、焦磷酸盐电镀铜、烘干。
文档编号C23C14/35GK102061471SQ200910219769
公开日2011年5月18日 申请日期2009年11月11日 优先权日2009年11月11日
发明者周丽 申请人:周丽
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