专利名称：双坩埚电子枪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子束蒸发技术领域，特别涉及ー种双坩埚电子枪。
背景技术：
电子枪是产生电子束的部件，由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。其原理是阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在磁场的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转270°或180°射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。目前常用的电子枪只设有ー个坩埚，其电子束只能实 现270°或180°的偏转角度，所以针对不同镀膜要求的エ件，只能通过更换电子枪来实现镀膜，其操作繁琐，镀膜效率也低。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供ー种双坩埚电子枪，该电子枪的电子束可同时实现270°和180°的偏转角度，以适应不同镀膜要求的エ件，有效提高其
镀膜效率。本实用新型的技术方案为ー种双坩埚电子枪，包括热源、两个旋转坩埚、底板、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚分别设于热源的两侧，热源底部与水冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。所述水冷机构包括水冷轴和两个水输入座,水冷轴与热源底部连接,两个水输入座分别穿过底板后与水冷轴连接，两个水输入座分别对应设于两个旋转坩埚下方。所述驱动机构包括电机、输出齿轮和两个传动齿轮，输出齿轮中心与电机输出端连接，两个传动齿轮分别设于输出齿轮外周，两个传动齿轮的中心分别与两个水输入座对应连接。所述电机和两个水输入座分别固定于安装架上。所述水冷轴与两个旋转坩埚底部的相接处设有旋转密封件。所述两个旋转坩埚上方还分别设有旋转挡板。所述热源为灯丝，热源外接PLC控制功率变化的电源。本双i甘祸电子枪使用时，其原理是驱动机构中，电机通过输出齿轮和传动齿轮将动カ传送给水冷机构，水冷机构带动两个旋转坩埚分别旋转，热源发射的电子束分别射入设于其两侧的旋转坩埚中，电子束发射角度的变化可通过PLC调节电源的功率实现。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本双坩埚电子枪通过设置两个旋转坩埚，通过电源的调节，使其电子束可同时实现270°和180°的偏转角度，以适应不同镀膜要求的エ件，有效提高其镀膜效率。同时，本双坩埚电子枪结构简単，操作方便，应用于不同镀膜要求的エ件吋，只要调节电源，而不需要更换整个电子枪，操作简单，也可有效提高效率。
图I为本双坩埚电子枪的结构示意图。图2为图I的A-A视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进ー步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例本实施例ー种双坩埚电子枪，其结构如图I或图2所示，包括热源I、两个旋转坩埚2、底板3、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚2分别设于热源I的两侧，热源底部与水 冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。水冷机构包括水冷轴4和两个水输入座5，水冷轴与热源底部连接，两个水输入座分别穿过底板后与水冷轴连接，两个水输入座分别对应设于两个旋转坩埚下方。驱动机构包括电机6、输出齿轮7和两个传动齿轮8,输出齿轮中心与电机输出端连接，两个传动齿轮分别设于输出齿轮外周，两个传动齿轮的中心分别与两个水输入座对应连接。电机6和两个水输入座5分别固定于安装架9上。水冷轴4与两个旋转坩埚2底部的相接处设有旋转密封件10。两个旋转坩埚2上方还分别设有旋转挡板11。热源为灯丝，热源外接PLC控制功率变化的电源。本双i甘祸电子枪使用时，其原理是驱动机构中，电机通过输出齿轮和传动齿轮将动カ传送给水冷机构，水冷机构带动两个旋转坩埚分别旋转，热源发射的电子束(如图I中虚线所示)分别射入设于其两侧的旋转坩埚中，电子束发射角度的变化可通过PLC调节电源的功率实现。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.双坩埚电子枪，其特征在于，包括热源、两个旋转坩埚、底板、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚分别设于热源的两侧，热源底部与水冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。
2.根据权利要求I所述的双坩埚电子枪，其特征在于，所述水冷机构包括水冷轴和两个水输入座，水冷轴与热源底部连接，两个水输入座分别穿过底板后与水冷轴连接，两个水输入座分别对应设于两个旋转坩埚下方。
3.根据权利要求2所述的双坩埚电子枪，其特征在于，所述驱动机构包括电机、输出齿轮和两个传动齿轮，输出齿轮中心与电机输出端连接，两个传动齿轮分别设于输出齿轮外周，两个传动齿轮的中心分别与两个水输入座对应连接。
4.根据权利要求3所述的双坩埚电子枪，其特征在于，所述电机和两个水输入座分别固定于安装架上。
5.根据权利要求2所述的双坩埚电子枪，其特征在干，所述水冷轴与两个旋转坩埚底部的相接处设有旋转密封件。
6.根据权利要求I所述的双坩埚电子枪，其特征在于，所述两个旋转坩埚上方还分别设有旋转挡板。
7.根据权利要求I所述的双坩埚电子枪，其特征在于，所述热源为灯丝，热源外接PLC控制功率变化的电源。
专利摘要本实用新型公开一种双坩埚电子枪，包括热源、两个旋转坩埚、底板、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚分别设于热源的两侧，热源底部与水冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。本双坩埚电子枪通过设置两个旋转坩埚，通过电源的调节，使其电子束可同时实现270°和180°的偏转角度，以适应不同镀膜要求的工件，有效提高其镀膜效率。同时，本双坩埚电子枪结构简单，操作方便，应用于不同镀膜要求的工件时，只要调节电源，而不需要更换整个电子枪，操作简单，也可有效提高效率。
文档编号C23C14/30GK202415678SQ20112057648
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者朱刚劲, 朱刚毅, 朱文廓 申请人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司