一种抛光机上抛头升降转动驱动装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种抛光机上抛头升降转动驱动装置，包括中心轴，支撑座、中心轴转动驱动机构和中心轴升降驱动机构，所述中心轴外部设置有空心轴，所述中心轴转动驱动机构的电机通过弯板固定安装在行程板上。本发明技术方案，通过采用摆线针轮减速机驱动抛光头旋转，同时采用升降气缸控制中心轴的升降，无论在自动模式或手动模式下，都可对多个抛光头进行选定使用，即选择那几个头或一个抛光头进行抛光，该装置结构使多个抛光独立工作互不干扰，升降可调、可控，并有安全保护装置；提高生产效率，使用安全可靠；特殊的活塞密封件，不仅能够起到有效的密封作用，还实现了运动的低摩擦性，是实现上抛头压力精确控制的有力保证。
【专利说明】一种抛光机上抛头升降转动驱动装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于硅片或其他硬脆材料的单面高精度，高效率抛光的抛光机设备【技术领域】，具体涉及一种抛光机上抛头升降转动驱动装置。
【背景技术】
[0002]近年来，随着半导体产业的迅速发展，半导体晶片不断地朝小体积、高电路密集度、快速、低耗电方向发展，集成电路现已进入ULSI亚微米级的技术阶段。硅片抛光设备是
0.25微米以下大规模集成电路芯片制造工艺中的关键设备，其结构复杂，控制精度高，研制起点高、技术难度大，越来越迅速的发展，对硅晶片表面平整度要求日趋严格。
[0003]现有技术中的抛光机设备的抛光头，抛光头是被动式旋转的，是下盘旋转，利用下盘和上盘之间的摩擦力带动上抛光头旋转；新型的上抛光头结构，四个上气缸均有独立的驱动装置，通过调频调速可使四个抛光头转速与主抛盘实现合理匹配。调速范围较被动式单面抛光机调速范围广，且四个抛光头可独立驱动，互不影响，适应更广泛的工艺方案。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是克服现有技术存在的以上问题，提供一种抛光机上抛头升降转动驱动装置。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现:
一种抛光机上抛头升降转体，包括中心轴，支撑座，所述中心轴转动驱动机构和中心轴
升降驱动机构，所述中心轴外部设置有空心轴，所述中心轴转动驱动机构的电机通过弯板固定安装在行程板上，电机输出轴上通过超越离合器结构安装有第一齿轮，所述第一齿轮与固定安装在支承盘上的第二齿轮相啮合，所述支承盘通过第一轴承安装在支撑座上，导轴下端安装在所述支承盘上，所述导轴上端设置有导套，所述导套与安装在所述中心轴上的转盘固定相连，所述中心轴升降驱动机构的缸体的上端安装在所述支撑座的下端，所述缸体的下端安装在所述空心轴下部的轴承座上，所述缸体内的所述空心轴上设置有气缸活塞结构。
[0006]进一步的，所述中心轴上端与所述空心轴之间分别设置有第二轴承，所述第二轴承为两个深沟球轴承，两个深沟球轴承通过内隔套隔开，外部的深沟球轴承外侧设置有压环和第一隔套，所述中心轴下端与所述空心轴之间设置有第三轴承，所述第三轴承为深沟球轴承，所述第三轴承外侧设置有第一轴承盖，所述第一轴承盖通过螺钉固连在所述空心轴上。
[0007]进一步的，所述电机与所述弯板通过螺钉固定相连，所述电机输出轴与所述第一齿轮之间的超越离合器结构包括安装在电机输出轴上的星轮、外毂和设置在所述星轮与所述外毂之间的弹簧、顶销和滚柱，超越离合器结构上下端安装有盖板，所述盖板通过螺钉固连在所述外毂的上下端；所述电机输出轴上的星轮下部设置有垫环，所述电机输出轴上的星轮上部设置有压圈，所述压圈通过螺钉固连在电机轴上。[0008]进一步的，所述第一齿轮通过螺钉与所述外毂固定相连，所述第二齿轮通过螺钉与所述支承盘固定相连。
[0009]进一步的，所述支撑座和轴承座之间设置有四个拉杆，所述缸体通过所述四个拉杆分别与所述支撑座和所述轴承座固定相连，所述缸体的上端与所述支撑座的下端结合处设置有第一 O型密封圈，所述缸体的下端与所述轴承座结合处设置有第二 O型密封圈。
[0010]进一步的，所述气缸活塞结构包括安装在所述空心轴上的活塞套、L型密封圈、上压环和下压环。
[0011]进一步的，所述支撑座与所述空心轴之间设置有第一高精度直线轴承，所述第一高精度直线轴承下端设置有第二隔套和第一定位环，所述第一定位环通过螺钉与所述支撑座固定相连，所述支撑座上端与所述空心轴结合处设置有第一唇型密封圈。
[0012]进一步的，所述轴承座与所述空心轴之间设置有第二高精度直线轴承，所述第二高精度直线轴承上端设置有第二定位环，所述第二定位环通过螺钉与所述轴承座固定相连，所述轴承座下端与所述空心轴结合处设置有第二唇型密封圈，所述轴承座外侧设置有导座。
[0013]本发明的有益效果是:
本发明技术方案，通过采用摆线针轮减速机驱动抛光头旋转，同时采用升降气缸控制中心轴的升降，无论在自动模式或手动模式下，都可对多个抛光头进行选定使用，即选择那几个头或一个抛光头进行抛光，该装置结构使多个抛光独立工作互不干扰，升降可调、可控，并有安全保护装置。提高生产效率，使用安全可靠。特殊的活塞密封件，不仅能够起到有效的密封作用，还实现了运动的低摩擦性，是实现上抛头压力精确控制的有力保证。
[0014]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的【具体实施方式】由以下实施例及其附图详细给出。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1是本发明的结构轴侧示意图；
图2是本发明的图1的剖视结构示意图。
[0016]图中标号说明:1、中心轴，2、空心轴，3、轴承座，4、第二定位环，5、缸体，6、活塞套，
7、第二隔套，8、第一定位环，9、支撑座，10、第二齿轮，11、支承盘，12、第二轴承盖，13、导轴，14、导套，15、转盘，16、压环，17、内隔套，18、第一齿轮，19、弹簧，20、顶销，21、滚柱，22、压圈，23、星轮，24、盖板，25、外毂，26、垫环，27、弯板，28、行程板，29、拉杆，30、导座，31、第一隔套，32、压盖，33、上压环，34、下压环，35、第一轴承盖，36、第二轴承，37、第三轴承，38、第一轴承，39、第一高精度直线轴承，40、第二高精度直线轴承，41、电机，42、第二唇型密封圈，43、第一唇型密封圈，44、第二 O型密封圈，45、第一 O型密封圈，46、L型密封圈。
【具体实施方式】
[0017]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。[0018]如图所示，一种抛光机上抛头升降转体，包括中心轴1，支撑座9，所述中心轴I转动驱动机构和中心轴升降驱动机构，所述中心轴I外部设置有空心轴2，所述中心轴I转动驱动机构的电机41通过弯板27固定安装在行程板28上，电机输出轴上通过超越离合器结构安装有第一齿轮18，所述第一齿轮18与固定安装在支承盘11上的第二齿轮10相啮合，所述支承盘11通过第一轴承38安装在支撑座9上，导轴13下端安装在所述支承盘11上，所述导轴13上端设置有导套14，所述导套14与安装在所述中心轴I上的转盘15固定相连，所述中心轴I升降驱动机构的缸体5的上端安装在所述支撑座9的下端，所述缸体9的下端安装在所述空心轴2下部的轴承座3上，所述缸体5内的所述空心轴2上设置有气缸活塞结构。
[0019]进一步的，所述中心轴I上端与所述空心轴2之间分别设置有第二轴承36，所述第二轴承36为两个深沟球轴承,两个深沟球轴承通过内隔套17隔开,外部的深沟球轴承外侧设置有压环16和第一隔套31，所述中心轴I下端与所述空心轴2之间设置有第三轴承37，所述第三轴承37为深沟球轴承,所述第三轴承37外侧设置有第一轴承盖35,所述第一轴承盖35通过螺钉固连在所述空心轴2上。
[0020]进一步的，所述电机41与所述弯板27通过螺钉固定相连，所述电机输出轴与所述第一齿轮18之间的超越离合器结构包括安装在电机输出轴上的星轮23、外毂25和设置在所述星轮23与所述外毂25之间的弹簧19、顶销20和滚柱21，超越离合器结构上下端安装有盖板24，所述盖板24通过螺钉固连在所述外毂25的上下端；所述电机输出轴上的星轮23下部设置有垫环26，所述电机输出轴上的星轮23上部设置有压圈22，所述压圈22通过螺钉固连在电机轴上。
[0021]进一步的，所述第一齿轮18通过螺钉与所述外毂25固定相连，所述第二齿轮10通过螺钉与所述支承盘11固定相连。
[0022]进一步的，所述支承盘11与所述支撑座9之间的第一轴承38为深沟球轴承，所述第一轴承38外侧设置有压盖32和第二轴承盖36，所述压盖32通过螺钉固连在所述支撑座9上。
[0023]进一步的，所述导轴13下端通过螺纹与所述支承盘11相连，所述导轴13上端的导套14与转盘15通过螺钉固定相连；所述转盘15与所述中心轴I通过双键固定相连。
[0024]进一步的，所述支撑座9和轴承座3之间设置有四个拉杆29，所述缸体5通过所述四个拉杆29分别与所述支撑座9和所述轴承座3固定相连，所述缸体5的上端与所述支撑座9的下端结合处设置有第一 O型密封圈45，所述缸体5的下端与所述轴承座3结合处设置有第二 O型密封圈44。
[0025]进一步的，所述气缸活塞结构包括安装在所述空心轴2上的活塞套6、L型密封圈46、上压环33和下压环34。
[0026]进一步的，所述支撑座9与所述空心轴2之间设置有第一高精度直线轴承39，所述第一高精度直线轴承39下端设置有第二隔套7和第一定位环8，所述第一定位环8通过螺钉与所述支撑座9固定相连，所述支撑座9上端与所述空心轴2结合处设置有第一唇型密封圈43。
[0027]进一步的，所述轴承座3与所述空心轴2之间设置有第二高精度直线轴承40，所述第二高精度直线轴承40上端设置有第二定位环4，所述第二定位环4通过螺钉与所述轴承座3固定相连，所述轴承座3下端与所述空心轴2结合处设置有第二唇型密封圈42，所述轴承座3外侧设置有导座30。
[0028]以上所述仅为发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种抛光机上抛头升降转体，包括中心轴(1)，支撑座(9)，所述中心轴(I)转动驱动机构和中心轴升降驱动机构，所述中心轴(I)外部设置有空心轴(2)，所述中心轴(I)转动驱动机构的电机(41)通过弯板(27)固定安装在行程板(28)上，电机输出轴上通过超越离合器结构安装有第一齿轮(18)，所述第一齿轮(18)与固定安装在支承盘(11)上的第二齿轮(10)相啮合，所述支承盘(11)通过第一轴承(38)安装在支撑座(9)上，导轴(13)下端安装在所述支承盘(11)上，所述导轴(13)上端设置有导套(14)，所述导套(14)与安装在所述中心轴(I)上的转盘(15)固定相连，所述中心轴(I)升降驱动机构的缸体(5)的上端安装在所述支撑座(9)的下端，所述缸体(9)的下端安装在所述空心轴(2)下部的轴承座(3)上，所述缸体(5 )内的所述空心轴(2 )上设置有气缸活塞结构。
2.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述中心轴(I)上端与所述空心轴(2)之间分别设置有第二轴承(36)，所述第二轴承(36)为两个深沟球轴承，两个深沟球轴承通过内隔套(17 )隔开,外部的深沟球轴承外侧设置有压环(16 )和第一隔套(31)，所述中心轴(I)下端与所述空心轴(2)之间设置有第三轴承(37)，所述第三轴承(37)为深沟球轴承,所述第三轴承(37)外侧设置有第一轴承盖(35),所述第一轴承盖(35)通过螺钉固连在所述空心轴(2)上。
3.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述电机(41)与所述弯板(27)通过螺钉固定相连，所述电机输出轴与所述第一齿轮(18)之间的超越离合器结构包括安装在电机输出轴上的星轮(23)、外毂(25)和设置在所述星轮(23)与所述外毂(25)之间的弹簧(19)、顶销(20)和滚柱(21)，超越离合器结构上下端安装有盖板(24)，所述盖板(24)通过螺钉固连在所述外毂(25)的上下端；所述电机输出轴上的星轮(23)下部设置有垫环(26)，所述电机输出轴上的星轮(23)上部设置有压圈(22)，所述压圈(22)通过螺钉固连在电机轴上。
4.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述第一齿轮(18)通过螺钉与所述外毂(25)固定相连，所述第二齿轮(10)通过螺钉与所述支承盘(II)固定相连。
5.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于:所述支承盘(11)与所述支撑座(9)之间的第一轴承(38)为深沟球轴承，所述第一轴承(38)外侧设置有压盖(32)和第二轴承盖(36)，所述压盖(32)通过螺钉固连在所述支撑座(9)上。
6.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述导轴(13)下端通过螺纹与所述支承盘(11)相连，所述导轴(13)上端的导套(14)与转盘(15)通过螺钉固定相连；所述转盘(15)与所述中心轴(I)通过双键固定相连。
7.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述支撑座(9)和轴承座(3)之间设置有四个拉杆(29)，所述缸体(5)通过所述四个拉杆(29)分别与所述支撑座(9)和所述轴承座(3)固定相连，所述缸体(5)的上端与所述支撑座(9)的下端结合处设置有第一 O型密封圈(45)，所述缸体(5)的下端与所述轴承座(3)结合处设置有第二 O型密封圈(44)。
8.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述气缸活塞结构包括安装在所述空心轴(2)上的活塞套(6)、L型密封圈(46)、上压环(33)和下压环(34)。
9.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述支撑座(9)与所述空心轴(2)之间设置有第一高精度直线轴承(39)，所述第一高精度直线轴承(39)下端设置有第二隔套(7)和第一定位环(8)，所述第一定位环(8)通过螺钉与所述支撑座(9)固定相连，所述支撑座(9)上端与所述空心轴(2)结合处设置有第一唇型密封圈(43)。
10.根据权利要求1所述的抛光机上抛头升降转动驱动装置，其特征在于，所述轴承座(3)与所述空心轴(2)之间设置有第二高精度直线轴承(40)，所述第二高精度直线轴承(40)上端设置有第二定位环(4)，所述第二定位环(4)通过螺钉与所述轴承座(3)固定相连，所述轴承座(3 )下端与所述空心轴(2 )结合处设置有第二唇型密封圈(42 )，所述轴承座(3)外侧设置有导座(30 )。
【文档编号】B24B47/12GK103659596SQ201210350473
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2012年9月20日 优先权日:2012年9月20日
【发明者】任明元, 梁春 申请人:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司