真空蒸发装置制造方法
【专利摘要】一种真空蒸发装置包括：驱动单元；线性移动部，连接至所述驱动单元以线性移动；旋转移动部，连接至所述线性移动部以旋转移动；以及遮板部，连接至所述旋转移动部以枢转。
【专利说明】真空蒸发装置
[0001]相关专利申请的交叉引用
[0002]于2013年3月14日向韩国专利局提交的题为“VACUUM EVAPORATING APPARATUS(真空蒸发装置)”的第10-2013-0027487号韩国专利申请的全部内容通过引用被并入本文。
【技术领域】
[0003]本申请涉及真空蒸发装置。
【背景技术】
[0004]基于移动性的电子装置已经被广泛使用。作为移动电子装置，平板型个人计算机(PO和小型电子装置(诸如，移动电话)已经被广泛使用。
[0005]为了支持各种功能，移动电子装置包括用于向用户提供静止或移动的图像的视觉信息的显示器。由于使用于驱动显示器的部件小型化的趋势，更多的注意力被放在电子装置的显示器上。
【发明内容】
[0006]实施方式涉及一种真空蒸发装置，其包括:驱动单元；线性移动部，连接至所述驱动单元以线性移动；旋转移动部，连接至所述线性移动部以旋转移动；以及遮板部，连接至所述旋转移动部以枢转。
[0007]所述驱动单元可为具有可变长度的致动器。
[0008]所述真空蒸发装置还可包括:固定部，所述遮板部被安装在所述固定部中以枢转并且所述线性移动部连接至所述固定部以滑动。
[0009]所述真空蒸发装置还可包括:第一引导件，位于所述固定部与所述线性移动部之间以引导所述线性移动部的滑动。
[0010]所述线性移动部可包括:移动部，与所述驱动单元连接以线性移动；传递部，与所述移动部连接；以及移动块，与所述传递部连接。
[0011]所述旋转部可包括正齿轮。所述移动块包括齿条，所述齿条随同所述旋转部一起操作。
[0012]所述旋转部可包括:第一旋转部，与所述线性移动部连接以在所述线性移动部的运动期间旋转；以及第二旋转部，与所述第一旋转部和所述遮板部连接，所述第二旋转部将所述第一旋转部的旋转传递至所述遮板部。
[0013]所述遮板部的表面可以是丝网形式。
[0014]所述遮板部可包括:第一遮板体部；以及第二遮板体部，从所述第一遮板体部弯曲。
[0015]所述遮板部可包括:加固肋，与所述第一遮板体部和所述第二遮板体部连接。
[0016]所述真空蒸发装置还可包括位于所述线性移动部中的第一减震部。
[0017]所述第一减震部包括位于所述线性移动部中的第一固定支架和固定于所述第一固定支架中的第一减震构件。
[0018]所述真空蒸发装置还可包括与所述线性移动部间隔开的第二减震部。
[0019]所述第二减震部可包括:第二固定支架，固定在所述第二减震部的外部；以及第二减震构件，位于所述第二固定支架中。
[0020]所述真空蒸发装置还可包括第二引导件，所述第二引导件位于所述线性移动部中以引导所述线性移动部的运动。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]通过参考附图详细描述本发明的示例性实施方式，特征将变得更加显而易见，在附图中:
[0022]图1是示出了根据实施方式的真空蒸发装置的立体视图；以及
[0023]图2是示出了图1的A部分的局部放大立体视图。
【具体实施方式】
[0024]参考附图根据下面的详细描述，实施方式将变得显而易见。然而，公开的实施方式可以各种不同的形式实现。实施方式被提供以使公开完整并且允许本领域技术人员完全理解由权利要求限定的本发明范围。文中所用的词语仅用于本发明概念的说明目的并且不应该被解释为限制本发明的意义和范围。如在本说明书中所使用的，单数形式可包括复数形式，除非明确根据上下文指示特殊的情况。而且，本说明书中所使用的表达“包括(comprise)”和/或“包括(comprising)”既不限定所提到的部件、步骤、操作和/或元件，也不排除一个或多个其它部件、步骤、操作和/或元件的存在或附加、或它们的附加。如本文所使用的，诸如“第一”、“第二”等的词语用于描述各种部件，但是部件不应该由这些词语限定。词语仅用于区分一个部件与其它部件。
[0025]图1是示出了根据实施方式的真空蒸发装置100的立体视图；以及图2是示出了图1的A部分的局部放大立体视图。
[0026]参考图1和图2，真空蒸发装置100包括腔室(未示出)，腔室的内部空间被保持在真空状态。真空蒸发装置100还可包括用于加热和喷射蒸发材料的源单元(未示出)和安装有源单元的反射器111。
[0027]真空蒸发装置100可包括侧单体附接板112，侧单体附接板112与反射器111连接。真空蒸发装置100还可包括角度限制板113，角度限制板113安装在源单元之间以限制从源单元喷射的蒸发材料的喷射角度。真空蒸发装置100还可包括固定框架114，固定框架114被牢固地安装在腔室内。
[0028]真空蒸发装置100可包括安装在腔室内的气箱(未示出)。真空蒸发装置100还可包括安装在气箱内的驱动单元130。气箱可被保持在大气压状态，并且驱动单元130可包括具有可变长度的致动器(例如，汽缸131)。具体地，驱动单元130可包括在气压或液压下操作的汽缸131和安装在汽缸131以线性移动的轴132。在其它实现中，驱动单元130可包括具有可变长度且能够线性移动其它装置或对象的任何结构。然而，为了方便起见，基于驱动单元130包括在液压下操作的汽缸131和轴132的情况进行下面的描述。
[0029]真空蒸发装置100可包括线性移动部140，线性移动部140随同驱动单元130移动。真空蒸发装置100可包括旋转移动部150，旋转移动部150随同线性移动部140旋转。旋转移动部150可将线性移动部140的线性运动转换成旋转运动。
[0030]线性移动部140可包括移动部141，移动部141随同驱动单元130线性移动。线性移动部140还可包括与移动部141连接的传递部142和与传递部142连接的移动块143。
[0031]移动部141可根据驱动单元130的操作向上和向下线性移动。传递部142可将移动部141的运动传递至移动块143。移动块143可根据从传递部142传递的移动部141的运动而与移动部141 一起线性移动。
[0032]旋转移动部150可包括第一旋转部151，第一旋转部151与线性移动部140连接以随着线性移动部140的运动而旋转。旋转移动部150还可包括第二旋转部152，第二旋转部152与第一旋转部151和遮板部160连接以将第一旋转部151的旋转传递至遮板部160。
[0033]第一旋转部151和第二旋转部152可具有齿轮形式的外表面。第一旋转部151和第二旋转部152可具有正齿轮。移动块143可具有与正齿轮形状匹配的齿条。
[0034]真空蒸发装置100可包括遮板部160，遮板部160与旋转移动部150连接以枢转。遮板部160的表面可形成为丝网形。遮板部160的丝网形表面可方便位于其上的如下所述蒸发材料的蒸发，因此防止遮板部160的表面上的蒸发材料掉至源单元。
[0035]遮板部160可包括第一遮板体部161和第二遮板体部162。遮板部160还可包括加固肋163，加固肋163连接第一遮板体部161与第二遮板体部162。
[0036]第一遮板体部161和第二遮板体部162之间可形成预定角度。具体地,第二遮板体部162可垂直于第一遮板体部161以使在遮板部160旋转时对外部设备的干扰最小化。
[0037]加固肋163可以是多个，并且多个加固肋163可彼此间隔开。加固肋163可形成于第一遮板体部161和第二遮板体部162彼此相交的部分，由此维持形成于第一遮板体部161与第二遮板体部162之间的角度和形状而不管外部环境如何。
[0038]真空蒸发装置100可包括固定部170，遮板部160被安装在固定部170内以枢转并且线性移动部140与固定部170连接以滑动。第一引导件181可被安装在固定部170与线性移动部140之间用于引导线性移动部140的运动。第一引导件181可以是线性运动(LM)引导件。第一引导件181可以是多个，多个第一引导件181可连接固定部170与移动块143以防止移动块143偏离移动路径。
[0039]真空蒸发装置100可包括安装在线性移动部140内的第一减震部191和被安装为与线性移动部140间隔开的第二减震部192。第一减震部191和第二减震部192可降低根据遮板部160的旋转施加至线性移动部140的震动。具体地，第一减震部191和第二减震部192可减少与遮板部160的操作对应的传递部142的运动。
[0040]第一减震部191可包括安装在线性移动部140内的第一固定支架191a。第一固定支架191a可被安装以固定在传递部142上。第一减震部191可包括安装在第一固定支架191a内的第一减震构件191b。第一减震构件191b可以各种形式形成。例如，第一减震构件191b可包括球形护圈，并且还可包括橡胶、弹簧等。
[0041]第二减震部192可包括第二固定支架192a，第二固定支架192a被安装为固定在第二减震部192的外部。具体地，第二固定支架192a可被安装为固定在固定框架114中。第二减震部192可包括安装在第二固定支架192a内的第二减震构件192b。第二减震构件192b以与第一减震构件191b相同的方式或类似的方式形成，因此不再重复其详细描述。
[0042]第一减震构件191b可防止线性移动部140在遮板部160的旋转时过度地移动。例如，当遮板部160打开时，第一减震构件191b可与固定框架114接触以防止线性移动部140因遮板部160的负载而偏离移运动范围。当遮板部160关闭时，第二减震构件192b可与传递部142接触以防止线性移动部140因遮板部160的负载而偏离运动范围。
[0043]真空蒸发装置100可包括第二引导件182，第二引导件182被安装在线性移动部140内以引导线性移动部140的运动。第二引导件182可被安装在固定框架114与传递部142之间，并且传递部142可沿第二引导件182线性移动。
[0044]对于真空蒸发装置100的操作，首先，在大气压下形成腔室的内部空间，装载衬底。然后，可将腔室的内部空间保持在真空状态。
[0045]当腔室的内部空间被保持在真空状态时，驱动源单元以蒸发材料并且向衬底(未示出)提供蒸发材料。源单元可以是多个，并且蒸发材料的主材料和辅助材料可存储在多个源单元中。可同时加热多个源单元。一旦完成源单元的加热，遮板部160打开源单元以向衬底供应蒸发材料。
[0046]在前面的情况中，驱动单元130可根据预设的控制信号而操作。驱动单元130可操作以线性移动线性移动部140。具体地，驱动单元130可操作以向上和向下移动线性移动部140。为了方便起见，基于当线性移动部140向下移动时遮板部160打开的情况进行下面的描述。
[0047]例如，当驱动单元130的长度减小时，驱动单元130可向下移动移动部141。随着移动部141向下移动 ，移动部141向下移动传递部142并且传递部142向下移动移动块143。具体地，移动块143可使用如上描述的第一引导件181沿固定部170滑动。
[0048]当移动块143以这种方式向下移动时，移动块143可使第一旋转部151沿顺时针方向旋转。第一旋转部151可使第二旋转部152沿逆时针方向旋转。
[0049]当第二旋转部152沿逆时针方向旋转时，连接至第二旋转部152的遮板部160可枢转以打开源单元。遮板部160可以预定的速度打开源单元。
[0050]当遮板部160以这种方式旋转时，如果遮板部160旋转预定角度或更大，则遮板部160的旋转速度可因遮板部160的载重而增加。在这种情况下，第二旋转部152的旋转速度也可因遮板部160的旋转速度而增加。第二旋转部152的旋转速度的增加可导致第一旋转部151的旋转速度的增加，从而向移动部143施加力。
[0051]当力被施加至移动块143时，连接至移动块143的传递部142和移动部141的下降速度可增加。当第一减震构件191b与固定框架114接触时,第一减震构件191b可吸收线性移动部140的下降力的一部分。而且，第一减震构件191b可通过降低线性移动部140的下降速度防止遮板部160的旋转速度增加。
[0052]通过将蒸发材料从源单元提供给衬底，可将蒸发材料蒸发至衬底上。在蒸发材料被完全蒸发至衬底时，遮板部160可保持打开。
[0053]在上述过程完成之后，可检查蒸发到衬底的蒸发材料的状态。具体地，在检查衬底上的蒸发材料的状态之后，必要时可再次向衬底提供蒸发材料。在这种情况下，可测量蒸发材料的主材料或辅助材料的厚度以关闭或打开供应主材料或辅助材料的源单元，从而校正衬底的蒸发材料的蒸发水平。
[0054]当衬底上的蒸发材料的蒸发水平被校正时，可由遮板部160关闭多个源单元中的至少一个。在这种情况下，驱动单元130可被操作为操作线性移动部140，并且遮板部160可由线性移动部140关闭。
[0055]当驱动单元130的长度增加时，驱动单元130可使移动部141上升。随着移动部141向上移动，传递部142可向上移动。传递部142可将移动部141的运动传递至移动块143，从而向上移动移动块143。移动块143可通过如上所述的第一引导件181滑动固定部170。
[0056]如此，当移动块143向上移动时，移动块143可使第一旋转部151沿逆时针方向旋转。根据第一旋转部151的旋转，第二旋转部152可沿顺时针方向旋转。
[0057]随着第二旋转部152旋转，连接至第二旋转部152的遮板部160可沿特定方向枢转。遮板部160可旋转以关闭源单元。
[0058]如果遮板部160以这种方式操作，则当遮板部160在旋转时经过特定点时，遮板部160的下降速度可增加。当遮板部160的下降速度增加时，遮板部160可增加第二旋转部152的旋转速度。第二旋转部152可增加第一旋转部151的旋转速度，并且第一旋转部151可增加移动块143的上升速度。
[0059]如果移动块143的上升速度增加，则线性移动部140可偏离移动路径或向所连接的其它部件施加震动。在这种状态下，如果传递部142上升至特定水平，则第二减震构件192b与传递部142接触，因此降低传递部142的上升速度并且减少施加至其它部件的震动。而且，第二引导件182在传递部142的下降或上升过程中引导传递部142的下降或上升路径，由此防止传递部142歪曲或偏离下降或上升路径。
[0060]在真空蒸发装置100中，如果遮板部160枢转，则在遮板部160蒸发至源单元的蒸发材料可能偏离。具体地，如果遮板部160关闭源单元或过快地旋转，蒸发材料可从遮板部160的表面偏离。当蒸发材料从遮板部160的表面偏离并且被引入源单元时，可能干扰源单元的操作。然而，根据实施方式形成于遮板部160的表面上的丝网结构提高蒸发材料与遮板部160的表面之间的吸附力，由此防止或减少发生这种干扰的可能性。
[0061]因此，真空蒸发装置100通过遮板部160同时加热蒸发材料的主材料的源单元和蒸发材料的辅助材料的源单元，因此提高了工作效率。而且，在真空蒸发装置100中，当遮板部160完全打开时，不干扰从源单元喷射的蒸发材料的蒸发角度，从而确保蒸发角度稳定并且具有较大范围。
[0062]通过概括和回顾，显示器可包括有机发光二极管，使得有机发光层通过从外部施加的电流发出光，因此实现各种图像和文字。有机发光二极管可以各种方式形成。例如，发光二极管可使用有机蒸发、激光热传递和丝网印刷形成，其中有机蒸发被频繁使用，因为以简单的顺序和低成本形成有机发光二极管。
[0063]实施方式提供了一种能够控制单独的膜的厚度的真空蒸发装置。
[0064]尽管已经参考本发明的示例性实施方式具体地显示和描述了本发明，但是本领域技术人员将理解，可进行形式和细节的各种改变而不背离由权利要求及其等同限定的本发明的精神和范围。
【权利要求】
1.一种真空蒸发装置，包括: 驱动单元； 线性移动部，连接至所述驱动单元以线性移动； 旋转移动部，连接至所述线性移动部以旋转移动；以及 遮板部，连接至所述旋转移动部以枢转。
2.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述驱动单元为具有可变长度的致动器。
3.如权利要求1所述的真空蒸发装置，还包括: 固定部，所述遮板部被安装在所述固定部中以枢转并且所述线性移动部连接至所述固定部以滑动。
4.如权利要求3所述的真空蒸发装置，还包括: 第一引导件，位于所述固定部与所述线性移动部之间以引导所述线性移动部的滑动。
5.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述线性移动部包括: 移动部，与所述驱动单元连接以线性移动； 传递部，与所述移动部连接；以及 移动块，与所述传递部 连接。
6.如权利要求5所述的真空蒸发装置，其中: 所述旋转部包括正齿轮；以及 所述移动块包括齿条，所述齿条随同所述旋转部操作。
7.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述旋转部包括: 第一旋转部，与所述线性移动部连接以在所述线性移动部的运动期间旋转；以及第二旋转部，与所述第一旋转部和所述遮板部连接，所述第二旋转部将所述第一旋转部的旋转传递至所述遮板部。
8.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部的表面是丝网形式。
9.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部包括: 第一遮板体部；以及 第二遮板体部，从所述第一遮板体部弯曲。
10.如权利要求9所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部包括: 加固肋，与所述第一遮板体部和所述第二遮板体部连接。
11.如权利要求1所述的真空蒸发装置，还包括: 第一减震部，位于所述线性移动部中。
12.如权利要求11所述的真空蒸发装置，其中所述第一减震部包括: 第一固定支架，固定于所述线性移动部中；以及 第一减震构件，位于所述第一固定支架中。
13.如权利要求12所述的真空蒸发装置，还包括: 第二减震部，与所述线性移动部隔开。
14.如权利要求13所述的真空蒸发装置，其中所述第二减震部包括: 第二固定支架，固定在所述第二减震部的外部；以及 第二减震构件，位于所述第二固定支架中。
15.如权利要求4所述的真空蒸发装置，还包括第二引导件，所述第二引导件位于所述线性移 动部中以引导所述线性移动部的运动。
【文档编号】C23C14/24GK104046944SQ201310463790
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年10月8日 优先权日:2013年3月14日
【发明者】李英昱, 韩政洹 申请人:三星显示有限公司