1.一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环，其特征在于，通过增大双腔室薄膜沉积设备中抽气陶瓷环的抽气孔孔径，提高气体抽走速率，从而避免抽气孔被薄膜堵塞。
2.根据权利要求1所述的一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环，其特征在于，所述抽气陶瓷环的抽气孔直径增加1～8mm。
3.根据权利要求1所述的一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环，其特征在于，所述抽气陶瓷环上的一圈抽气孔在抽气陶瓷环上均匀分布。