一种钽铝靶的生产工艺的制作方法

文档序号:12099305阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种钽铝靶的生产工艺,包括以下步骤:

A),将钽靶和铝背板叠加放置后放置于包套中;

B),将步骤A)得到的包套抽真空,然后将包套中的钽靶和铝背板进行焊接;

C),将得到的包套进行热处理,去除包套,得到钽铝靶。

2.根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于,所述抽真空的真空度为10-2Pa以上。

3.根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于,所述焊接具体为:

将抽真空后的包套置于热等静压机内进行热等静压焊接。

4.根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于,在热处理之前还包括:

在得到的包套底部放置钢板。

5.根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于,所述热处理具体为:

将得到的包套先进行固溶热处理,再进行时效热处理。

6.根据权利要求5所述的生产工艺,其特征在于,所述固溶热处理的温度为400~550℃,所述时效热处理的温度为150~200℃。

7.根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于,焊接的温度为400~550℃。

8.根据权利要求1~7任一项所述的生产工艺,其特征在于,所述包套为铝包套。

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