1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，该装置包含：
反应腔（1）；
进气部件（2），设置在所述反应腔（1）顶部，并与该反应腔（1）内部相通；
旋转轴（3），设置在所述反应腔（1）内底部；
托盘（5），设置在所述旋转轴（3）顶部，并与所述进气部件（2）相对设置；
加热部件（4），环绕设置在所述旋转轴（3）、所述托盘（5）下方；
限流环（6），设置在所述托盘（5）周边；
气体抽取部件（7），设置在所述反应腔（1）内底部，并环绕设置在所述加热装置（4）周边；所述气体抽取部件（7）与外部相通，所述气体抽取环顶盖（72）设有多个抽气孔（721）；
多个清洁部件（8），每个所述清洁部件（8）包含：一个传动单元（81）和刮片（82）；所述传动单元（81）还包含第一旋转轴（812）、第二旋转轴（813），所述刮片（82）设置在所述第一旋转轴（812）、所述第二旋转轴（813）上；
所述传动单元（81）还包括曲轴结构（811），所述曲轴结构（811）包含一对旋转臂（8111）、一个第一连杆（8112）；
所述清洁部件（8）还包括与所述限流环（6）上向下延伸的连动杆（83），所述第一连杆（8112）与所述连动杆（83）相连接，所述第一连杆（8112）通过一对所述旋转臂（8111）分别与所述第一旋转轴（812）、第二旋转轴（813）连接；
所述刮片（82）的位置与相应所述抽气孔（721）位置对应，所述限流环上下运动时，所述连动杆（83）驱动所述传动单元（81）上的刮片（82）沿旋转轴转动，所述刮片扫过所述抽气孔（721）。
2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体抽取部件（7）包含：
气体抽取环（71），呈环形，设置在所述反应腔（1）内底部，并环绕设置在所述加热装置（4）周边；
气体抽取环顶盖（72），呈环形，对应设置在所述气体抽取环（71）顶部。
3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体抽取环（71）截面呈U形；该气体抽取环（71）设有一对汇总孔（711），所述一对汇总孔（711）对称设置在该气体抽取环（71）底部；
所述气体抽取部件（7）通过该对汇总孔（711）于外部相通。
4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述传动杆单元（81）中：
所述第一旋转轴（812）的一端与所述气体抽取环（71）的一内侧壁连接，该第一旋转轴（812）的另一端与所述曲轴结构（811）连接； 所述刮片（82）设置在该第一旋转轴（812）上；
所述第二旋转轴（813）的一端与所述气体抽取环（71）的另一内侧壁连接，该第二旋转轴（813）的另一端与所述曲轴结构（811）连接；
所述第一旋转轴（812）与所述第二旋转轴（813）处于一条直线上。
5.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述曲轴结构（811）中：
所述第一旋转轴（812）的一端与所述反应腔（1）的一内侧壁连接，该第一旋转轴（812）的另一端与所述曲轴结构（811）连接； 所述刮片（82）设置在该第一旋转轴（812）上；
所述第二旋转轴（813）的一端与该反应腔（1）的同侧内侧壁连接，该第二旋转轴（813）的另一端与所述曲轴结构（811）连接；
所述第一旋转轴（812）与所述第二旋转轴（813）处于一条直线上。
6.权利要求4或5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述曲轴结构（811）中：
一对对称设置的旋转臂（8111），一个所述旋转臂（8111）的外侧壁底部与所述第一旋转轴（812）连接；另一个所述旋转臂（8111）的外侧壁底部所述第二旋转轴（813）连接；
第一连杆（8112），设置在所述一对旋转臂（8111）顶部之间。
7.如权利要求6所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述连动杆（83）包含：
连动环（831），套置在所述第一连杆（8112）上；
第二连杆（832），所述第二连杆（832）的一端与所述连动环（831）连接，该第二连杆（832）的另一端与所述限流环（6）连接。
8.如权利要求7所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述旋转臂（8111）的直径大于所述第二连杆（832）的长度。
9.如权利要求7所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述第二连杆（832）的初始位置与铅垂面呈一个锐角。
10.一种用于化学气相沉积装置的清洁部件，所述化学气相沉积装置包含：反应腔（1），设于反应腔（1）的顶部进气部件（2），设于反应腔（1）内部的旋转轴（3）、托盘（5）、加热部件（4）、限流环（6），以及设于反应腔（1）内底部的气体抽取部件（7）；
其特征在于，该清洁部件（8）设置于所述反应腔（1）内，并与限流环（6）连接；所述清洁部件（8）包含：
一个传动单元（81）和刮片（82）；所述传动单元（81）还包含第一旋转轴（812）、第二旋转轴（813），所述刮片（82）设置在所述第一旋转轴（812）、所述第二旋转轴（813）上；
所述传动单元（81）还包括曲轴结构（811），所述曲轴结构（811）包含一对旋转臂（8111）、一个第一连杆（8112）；
所述清洁部件（8）还包括与所述限流环（6）上向下延伸的连动杆（83），所述第一连杆（8112）与所述连动杆（83）相连接，所述第一连杆（8112）通过一对所述旋转臂（8111）分别与所述第一旋转轴（812）、第二旋转轴（813）连接；
所述刮片（82）的位置与相应所述抽气孔（721）位置对应，所述限流环上下运动时，所述连动杆（83）驱动所述传动单元（81）上的刮片（82）沿旋转轴转动，所述刮片扫过所述抽气孔（721）。
11.如权利要求10所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述气体抽取部件（7）包含：
气体抽取环（71），呈环形，设置在所述反应腔（1）内底部，并环绕设置在所述加热装置（4）周边；
气体抽取环顶盖（72），呈环形，对应设置在所述气体抽取环（71）顶部，所述气体抽取环顶盖（72）设有抽气孔（721）。
12.如权利要求10所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述气体抽取环（71）截面呈U形；该气体抽取环（71）设有一对汇总孔（711），所述一对汇总孔（711）对称设置在该气体抽取环（71）底部；
所述气体抽取部件（7）通过该对汇总孔（711）于外部相通。
13.如权利要求11所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述传动杆单元（81）中：
第一旋转轴（812），所述第一旋转轴（812）的一端与所述气体抽取环（71）的一内侧壁连接，该第一旋转轴（812）的另一端与所述曲轴结构（811）连接；所述刮片（82）设置在该第一旋转轴（812）上；
第二旋转轴（813），所述第二旋转轴（813）的一端与所述气体抽取环（71）的另一内侧壁连接，该第二旋转轴（813）的另一端与所述曲轴结构（811）连接；
所述第一旋转轴（812）与所述第二旋转轴（813）处于一条直线上。
14.如权利要求11所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述曲轴结构（811）中：
所述第一旋转轴（812）的一端与所述反应腔（1）的一内侧壁连接，该第一旋转轴（812）的另一端与所述曲轴结构（811）连接； 所述刮片（82）设置在该第一旋转轴（812）上；
所述第二旋转轴（813）的一端与该反应腔（1）的同侧内侧壁连接，该第二旋转轴（813）的另一端与所述曲轴结构（811）连接；
所述第一旋转轴（812）与所述第二旋转轴（813）处于一条直线上。
15.如权利要求13或14所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述曲轴结构（811）中：
一个所述旋转臂（8111）的外侧壁底部与所述第一旋转轴（812）连接；另一个所述旋转臂（8111）的外侧壁底部所述第二旋转轴（813）连接；
第一连杆（8112），设置在所述一对旋转臂（8111）顶部之间。
16.如权利要求15所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述连动杆（83）包含：
连动环（831），设置在所述第一连杆（8112）上；
第二连杆（832），所述第二连杆（832）的一端与所述连动环（831）连接，该第二连杆（832）的另一端与所述限流环（6）连接。
17.如权利要求16所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述旋转臂（8111）的直径大于所述第二连杆（832）的长度。
18.如权利要求16所述的用于化学气相沉积装置的清洁部件，其特征在于，所述第二连杆（832）的初始位置与铅垂面呈一个锐角。
19.一种化学气相沉积装置的清洁方法，其特征在于，该方法包含如下步骤：
在所述气体抽取部件（7）内设定多个所述清洁部件（8），或在反应腔（1）内设定多个所述清洁部件（8）；
当所述限流环（6）移动时，带动多个所述清洁部件（8）转动；
每个所述清洁部件（8）与对应的所述抽气孔（721）相接触，以清洁该抽气孔（721）。
20.如权利要求19所述的化学气相沉积装置的清洁方法，其特征在于，根据所述气体抽取部件（7）中抽气孔（721）的数量，设定所述清洁部件（8）的数量；
将每个所述清洁部件（8）的刮片（82）位置与相应的所述抽气孔（721）位置一一对应；
将所有的清洁部件（8）设定在所述气体抽取环（71）内或设定在所述反应腔（1）内；同时确保初始状态时，所述第二连杆（832）的初始位置与铅垂面之间呈一个锐角。
21.如权利要求19所述的化学气相沉积装置的清洁方法，其特征在于，当所述限流环（6）进行上下移动时，带动所有的连动杆（83）进行上下移动；
每个所述连动杆（83）带动与其连接的曲轴结构（811）转动，从而带动刮片（82）转动。
22.如权利要求19所述的化学气相沉积装置的清洁方法，其特征在于，当每个所述刮片（82）在转动时，该刮片（82）与对应的所述抽气孔（721）充分接触，将沉积在该抽气孔（721）上的沉淀物去除，并将沉淀物带入截面呈U形的所述气体抽取环（71）内，实现所有抽气孔（721）的清洁。