基于磨料抛光垫的宝石衬底的超精密加工方法与流程

文档序号:11076757阅读:来源:国知局

技术特征:

1.本发明属于基于磨料抛光垫的宝石衬底的超精密加工方法,其特征在于:用粒度不大于14微米的金刚石固结磨料抛光垫对LBO晶体进行粗抛光加工,抛光加工过程中控制抛光压力为50~600g/cm2,抛光机的转速控制在10~200rpm,并控制抛光所用的抛光液的PH值在2~6之间,抛光液的温度介于20~30℃,完成LBO晶体的粗抛光;其次,再用粒度不大于3微米的氧化铈固结磨料抛光垫对上述粗抛光所得的LBO晶体进行精抛光加工,精抛光加工过程中控制抛光压力在50~600g/cm2之间,抛光转速控制在10~200rpm之间,同时调节抛光所用的抛光液的PH值在2~6之间,控制抛光液的温度在20~30℃之间,直至表面粗糙度满足设定要求。

2.根据权利要求1所述的加工方法,其特征是所述的抛光液为去离子水。

3.根据权利要求1或2所述的加工方法,其特征是所述的抛光液的PH值调节剂为盐酸、过氧化氢、氨水、羟基胺、四甲基氢氧化铵、乙二胺或三乙醇胺、柠檬酸、乙酸或乙酸钠、磷酸二氢钠或次氯酸钠中的一种或一种以上的组合。

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