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制造掩模的方法与流程
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来源:国知局
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制造掩模的方法与制造工艺
技术总结
公开了制造掩模的方法,该方法包括:使用激光在基础材料中形成第一孔,第一孔从第一表面至与第一表面不同的第二表面穿透基础材料;以及使用刻蚀剂扩张第一孔以形成第二孔。
技术研发人员:
文英慜;任星淳;文敏浩;张淳喆
受保护的技术使用者:
三星显示有限公司
文档号码:
201610584540
技术研发日:
2016.07.22
技术公布日:
2017.02.15
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