制造掩模的方法与流程

文档序号:11126664阅读:来源:国知局
技术总结
公开了制造掩模的方法,该方法包括:使用激光在基础材料中形成第一孔,第一孔从第一表面至与第一表面不同的第二表面穿透基础材料;以及使用刻蚀剂扩张第一孔以形成第二孔。

技术研发人员:文英慜;任星淳;文敏浩;张淳喆
受保护的技术使用者:三星显示有限公司
文档号码:201610584540
技术研发日:2016.07.22
技术公布日:2017.02.15

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