用于化学机械抛光承载头的外部夹环的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明描述了用于具有疏水涂层的化学机械抛光(CMP)承载头的外部夹环，和具有所述外部夹环的承载头。在一个实施方式中，提供一种包括圆柱体的外部夹环，所述圆柱体具有外圆柱壁和内圆柱壁。疏水层被设置在外圆柱壁上。

技术研发人员：帕特里克·阿拉;丁博;胡永其;西蒙·亚沃伯格;麦特斯·拉尔森
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.09.20
技术公布日：2017.07.21