技术总结
本实用新型公开了一种物理气相沉积设备，所述箱体通过支柱与万向轮固定连接，所述箱体的正面上方镶嵌有显示屏，所述箱体正面的下方设有压力表，所述箱体的内部底端设有真空泵，所述真空泵通过连接管与真空室连通，所述真空室的侧壁上设有烘干器，所述真空室的底部从左到右依次设有雾化器、旋转式蒸发器和清洗器，所述旋转式蒸发器通过导线与PLC控制器电性连接，所述真空室的顶部设有基片槽，所述真空泵、显示屏和烘干器分别通过导线与PLC控制器电性连接，所述清洗器通过雾化器与PLC控制器电性连接。该实用新型设计科学合理、不仅沉积的效率高，而且比较均匀，可以实现该设备自由移动，不受工作地点的约束，操作简单，实用性强，值得大力推广。
技术研发人员：肖姝萌;梁祎博;郭俊
受保护的技术使用者：肖姝萌;梁祎博;郭俊
文档号码：201620867259
技术研发日：2016.08.12
技术公布日：2017.03.08