一种新型蒸镀源喷嘴的制作方法

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其是涉及一种新型的蒸镀源喷嘴。

背景技术：

在平板显示技术中，有机发光二极管（Organic Light—Emitting Diode，OLED）显示器尤其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器（LCD）之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED（Passive Matrix OLED， PMOLED）及主动式OLED（Active Martix OLED，AMOLED），其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管（TFT）和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。

AMOLED在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，其蒸镀源上部是由众多蒸镀源喷嘴（nozzle，用来控制有机材料蒸镀）排布而成，蒸镀源喷嘴是用来控制有机材料均匀分布。传统的蒸镀源喷嘴结构如附图1所示，该结构无法有效控制蒸镀角度，且需要通过增加额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，材料利用率较低，生产成本高，蒸镀装置的结构复杂。

技术实现要素：

本实用新型为了解决上述技术问题提供了一种新型蒸镀源喷嘴，本设计解决了现有需依赖额外部件实现蒸镀角、材料利用率低、生产成本高等技术问题。

实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：一种新型蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，所述喷嘴本体包括上部、中部和下部，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。

其中，所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形。

优选的，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为10°~80°。

优选的，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为53°。

其中，所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为V形。

优选的，所述的V形夹角为20°~160°。

优选的，所述的V形夹角为106°。

本实用新型提供一种新型蒸镀源喷嘴，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，其内壁的垂直剖面为弧形或V形，相比于传统柱状结构的蒸镀源喷嘴，在保持相同孔径比的前提下，喷嘴本体内壁与水平线形成蒸镀角，凡是与内壁发生碰撞的有机材料均发生反射，部分反射返回坩埚内部，部分通过内表面调控使其大部分都有效的控制在蒸镀角以内喷出蒸镀到基板表面，不需要额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，提高了材料利用率，生产成本降低，蒸镀装置的结构简单。

附图说明

图1为现有技术的整体结构示意图。

图2为本实用新型的垂直剖切面示意图一。

图3为本实用新型的垂直剖切面示意图二。

具体实施方式

为了让本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步阐述。

具体实施例，如附图2、3所示，一种新型蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体1，所述的喷嘴本体包括内壁2和外壁3，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口4，所述喷嘴本体包括上部5、中部6和下部7，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。

喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形或V形。

若喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形时，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角α为10°~80°，采用最优方案，喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角α为53°。

若喷嘴本体内壁的垂直剖面为V形，所述的V形夹角β为20°~160°，采用最优方案，V形夹角β为106°。

本实用新型提供一种新型蒸镀源喷嘴，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，其内壁的垂直剖面为弧形或V形，相比于传统柱状结构的蒸镀源喷嘴，在保持相同孔径比的前提下，喷嘴本体内壁与水平线形成蒸镀角，凡是与内壁发生碰撞的有机材料均发生反射，部分反射返回坩埚内部，部分通过内表面调控使其大部分都有效的控制在蒸镀角以内喷出蒸镀到基板表面，不需要额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，提高了材料利用率，生产成本降低，蒸镀装置的结构简单。

以为本实用新型较佳的实现方式，需要说明的是，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。