一种新型蒸镀源喷嘴的制作方法

文档序号:12234587阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:包括喷嘴本体,所述的喷嘴本体包括内壁和外壁,喷嘴本体为中空状,在喷嘴本体上设有喷射口,所述喷嘴本体包括上部、中部和下部,喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。

2.根据权利要求1所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形。

3.根据权利要求2所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为10°~80°。

4.根据权利要求3所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为53°。

5.根据权利要求1所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为V形。

6.根据权利要求5所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述的V形夹角为20°~160°。

7.根据权利要求6所述的新型蒸镀源喷嘴,其特征在于:所述的V形夹角为106°。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1