一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置的制作方法

本实用新型属于金属加工领域，尤其涉及一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置。

背景技术：

溅射靶材作为薄膜源材料广泛应于用电子信息、存储记录以及显示器等相关产业中，靶材表面质量直接影响着薄膜性能。靶材表面质量差(如粗糙度过大、划伤、凸起等)，溅射时“打火”，薄膜内particle增多，芯片短路；靶材表面质量不合格，溅射薄膜均匀性差，薄膜失效。靶材加工方法直接决定表面质量，目前常用加工方法包括：车床、刨床、铣床、磨床、布轮抛光等。通常，靶材加工方式为车削加工，车削后表面光洁度满足溅射靶材产品要求，然而在加工铜、铝、银等易氧化的软性金属及合金时，在完成精密机加工后，在清洗包装过程中，易出现氧化、磕碰、划伤等微小缺陷。传统修复方式一般采用手工打磨，或者对靶材重新装夹进行返工，手工打磨后表面粗糙度偏大，均匀性差，表面光泽不一致，无法满足使用要求，而重新装夹后返修则存在二次划伤及氧化的风险。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提出一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置。包括台面1、圆形卡盘2、轨道3、打磨杆4、滑块5以及轨道盖板10，所述打磨杆4包括手柄6、弹簧7、打磨头8以及卡箍9，所述圆形卡盘2与轨道3固定在台面1上，轨道3投影通过圆形卡盘2圆心，打磨杆4穿过滑块5中心圆孔后将滑块5嵌入轨道3中并通过轨道盖板10固定，打磨头8采用卡箍9固定在打磨杆4首端，手柄6固定在打磨杆4的末端，弹簧7位于滑块5与手柄6之间，打磨杆4通过轨道3往复移动。

所述圆形卡盘2为三爪卡盘，可进行轴向旋转，能够实现靶材的同心装夹。

所述滑块5为方形，中间开有圆孔。

所述打磨头8可更换，可采用由砂纸、拉丝布、毛呢、棉布、丝绸任一材料所制成的打磨介质。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型通过轨道设计可使打磨杆在径向固定，靶材经卡盘固定后实现自动定心，可随卡盘进行同心旋转，通过对打磨杆施加压力，使打磨头在靶材表面沿圆弧运动，实现局部打磨，打磨痕迹与修复前的车刀纹保持一致；

(2)打磨头可根据需要固定砂纸、拉丝布、丝绸等不同材质及粗糙度的打磨介质，确保打磨后痕迹与修复前机加工痕迹吻合，可保证打磨后的靶材表面质量。

附图说明

附图1为圆盘打磨装置的结构图；

附图2为打磨杆的结构图；

附图标记：1-台面；2-圆形卡盘；3-轨道；4-打磨杆；5-滑块；6-手柄；7-弹簧；8-打磨头；9-卡箍；10-轨道盖板；

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细说明。

附图1为圆盘打磨装置的结构图，如图1所示，该装置由台面1、圆形卡盘2、轨道3、打磨杆4、滑块5以及轨道盖板10组成。圆形卡盘2与轨道3固定在台面1上，圆形卡盘2可进行轴向旋转，轨道3投影通过圆形卡盘2圆心，滑块5为方形，且中间开有圆孔，打磨杆4穿过滑块5中心圆孔后将滑块5嵌入轨道3中并通过轨道盖板10固定。附图2为打磨杆的结构图，如图2所示，所述打磨杆4由手柄6、弹簧7、打磨头8以及卡箍9组成。打磨头8采用卡箍9固定在打磨杆4首端，手柄6固定在打磨杆4的末端，弹簧7位于滑块5与手柄6之间，打磨杆4通过轨道3往复移动。

本实用新型的具体操作步骤如下所述：根据待加工靶材表面及加工状态选择适宜的打磨介质，在本实施例中选用拉丝布，利用卡箍9将拉丝布固定在打磨杆4首端，然后将待加工靶材安装在圆形卡盘2上，稳定安装后靶材可随圆形卡盘2进行轴向旋转，移动打磨杆4，使打磨头8位于缺陷正上方，同时握住手柄6，并下压至打磨头8与待加工靶材12接触，在缺陷位置往复转动圆形卡盘2，同时对手柄6施加压力，直至表面缺陷打磨修复完成，松开手柄6，弹簧7释放带动打磨杆4及打磨头8离开靶材表面，松开圆形卡盘2，取下工件，完成表面修复，在无外力的状态下，将手柄6抬起，使打磨头8升高，远离台面1。

此实施例仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。