1.一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：包括：
不锈钢壳体(1)，该不锈钢壳体(1)中设置有水冷结构，且该不锈钢壳体(1)内形成有密闭腔室(10)；
铜管加热线圈组件(200)，其包括铜管加热线圈(2)以及安装于铜管加热线圈(2)两端的第一、第二固定连接结构(3、4)和连接于第一、第二固定连接结构(3、4)之间的不锈钢基座(5)，该铜管加热线圈组件(200)通过不锈钢基座(5)配合第一螺钉锁固于不锈钢壳体(1)中，该铜管加热线圈(2)置于所述密闭腔室(10)内，该铜管加热线圈(2)具有供冷却水通过的中空通道，且其两端分别形成冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22)，该冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22)分别穿过第一、第二固定连接结构(3、4)均显露于不锈钢壳体(1)外；
所述第一、第二固定连接结构(3、4)与不锈钢基座(5)之间分别设置有第一、第二密封圈(61、62)，且该不锈钢基座(5)与不锈钢壳体(1)内壁之间设置有第三密封圈(63)。
2.根据权利要求1所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述第一固定连接结构(3)包括依次套接于冷却水进水端(21)外围的第一上铜固定圆盘(31)、第一上绝缘固定圆盘(32)、第一下绝缘固定圆盘(33)、第一下铜固定圆盘(34)，其之间通过第一螺丝锁固，其中，第一上绝缘固定圆盘(32)及第一下绝缘固定圆盘(33)夹紧于不锈钢基座(5)上下两端，且该第一上绝缘固定圆盘(32)下端及第一下绝缘固定圆盘(33)上端均卡不锈钢基座(5)中，该第一上绝缘固定圆盘(32)压在第一密封圈(61)上，第一上绝缘固定圆盘(32)与第一上铜固定圆盘(31)之间设置有第四密封圈(64)。
3.根据权利要求2所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述不锈钢基座(5)设置有供所述第一、第二固定连接结构(3、4)穿设的第一、第二安装孔(51、52)，且该第一、第二安装孔(51、52)外围还分别设置于第二、第三沟槽(53、54)，所述第一、第二密封圈(61、62)分别置于第二、第三沟槽(53、54)中，且该第一、第二密封圈(61、62)上端均凸出于第二、第三沟槽(53、54)外。
4.根据权利要求3所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述第一上铜固定圆盘(31)和第一下铜固定圆盘(34)分别设置有供所述冷却水进水端(21)穿设的第一、第二穿孔(311、341)，该第一、第二穿孔(311、341)与冷却水进水端(21)外壁之间均通过焊接密封固定。
5.根据权利要求4所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述第一上铜固定圆盘(31)下端面设置于第一环形沟槽(312)，所述第四密封圈(64)置于该第一环形沟槽(312)中，且该第四密封圈(64)的厚度大于第一环形沟槽(312)的深度，以致该第四密封圈(64)下端凸出于第一环形沟槽(312)外。
6.根据权利要求5所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述第一上绝缘固定圆盘(32)下端成型有第一嵌位凸台(321)，该第一嵌位凸台(321)由上向下卡嵌于第一安装孔(51)中，该第一上绝缘固定圆盘(32)抵压于第一安装孔(51)上边缘外，并压在第一密封圈(61)上；所述第一下绝缘固定圆盘(33)上端成型有第二嵌位凸台(331)，该第二嵌位凸台(331)由下向上卡嵌于第一安装孔(51)中，该第一下绝缘固定圆盘(33)抵压于第一安装孔(51)下边缘外，且该第一上绝缘固定圆盘(32)与第一下绝缘固定圆盘(33)之间设置有密封垫，该密封垫外围与第一安装孔(51)内壁密封衔接。
7.根据权利要求6所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述第二固定连接结构(4)与第一固定连接结构(3)相同。
8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述不锈钢壳体(1)呈现长方体状，其包括底盘(11)、若干安装于底盘(11)外围的侧板(12)以及安装于侧板(12)上端的顶盖(13)，该底盘(11)及侧板(12)和顶盖(13)内均设置有水冷结构，该底盘(11)上设置有一安装位(111)，所述不锈钢基座(5)及第一、第二固定连接结构(3、4)均以可拆卸方式安装于底盘(11)的安装位(111)上。
9.根据权利要求8所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述底盘(11)于安装位(111)外围设置有第四环形沟槽(112)，该第三密封圈(63)置于该第四环形沟槽(112)中，且该第三密封圈(63)的厚度大于第四环形沟槽(112)的深度，以致该第三密封圈(63)下端凸出于第四环形沟槽(112)外。
10.根据权利要求1-7任意一项所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构，其特征在于：所述铜管加热线圈(2)中部缠绕形成有一呈方形或圆形的螺旋部(23)，该螺旋部(23)中形成有供感应加热体安装的安装空间。