蒸发源装置及蒸发镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域，特别是指一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备。

背景技术：

板显示包括LCD(液晶显示器)显示、OLED(有机电致发光二极管)显示、PDP(等离子显示板)显示和电子墨水显示等多种，OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED(Passive matrix Organic Light-Emitting Diode，被动矩阵有机电激发光二极管)显示和AMOLED(Active matrix Organic Light-Emitting Diode，主动矩阵有机发光二极体)显示。其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMM Mask)的方式，和Oxide(氧化物)背板+WOLED(白光有机电致发光二极管)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应显示屏和电视等应用。现在LTPS背板+FMM Mask的方式已经初步成熟，并实现了量产。

精细金属掩膜(FMM Mask)模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(LTPS)背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。蒸镀是在真空环境中，将有机材料加热、蒸发，并镀到基板上，量产中使用线性蒸发源和线性坩埚。

器件的发光层通常使用两种或两种以上的材料来提高发光效率和寿命，为了确保多种材料蒸发到玻璃基板上的Profile(轮廓)重合，而不出现分层现象，传统的线性蒸发源上部采用分离式的角度板来控制蒸发材料的蒸发角度，不同的材料从各自的角度板空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板上的途中进行混合，然后到达玻璃基板。如图1所示，每个坩埚喷嘴组102的出口处分别设置有角度板104(分离式的角度板)，坩埚的外壁设置有冷却壁103，不同的材料从各自的角度板104围成的空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板101上的途中进行混合，然后到达玻璃基板101。但是，这种蒸发方式导致多种材料的Profile重合性并不好(通常小于80％)，使得由此制得的器件的性能较差，而且由于无加热装置，导致大量材料蒸发到角度板上，造成材料浪费，材料利用率较低(通常为20％左右)，而且材料在角度板上积累过多常常会导致材料掉落，引起坩埚喷嘴堵塞等现象，因此需要定期更换或清理角度板，导致日常清理维护比较繁琐。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，以解决多种材料的Profile重合性不好和/或蒸发材料利用率低的技术问题。

基于上述目的，本实用新型提供的蒸发源装置包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

在本实用新型的一些实施例中，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。

在本实用新型的一些实施例中，所述电热元件选自电热丝、电热合金、微波加热器件、电热板、云母发热器件中的至少一种；和/或

所述角度板朝向所述喷嘴组的一侧为陶瓷板和/或金属板。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板在背离所述喷嘴组的另一侧设置有冷却板。

在本实用新型的一些实施例中，所述冷却板的内部与循环冷却水连通；和/或

所述冷却板的内部填充有冷却剂。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的开合角度可调。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的端部与加热装置的外壁铰接，所述角度板的端部能够绕着铰接处转动。

本实用新型还提供一种蒸发镀膜设备，包括上述任意一个实施例中的蒸发源装置。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的蒸发源装置和蒸发镀膜设备将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。由于角度板的温度可控，可以通过使角度板温度升高，避免大量蒸镀材料在角度板上冷凝，减少材料因粘附到角度板上而造成的浪费，使尽可能多的材料可以通过蒸发出口喷发出去，到达玻璃基板表面，从而提高材料的利用率，也可以避免由于长时间的吸附粘黏材料角度控制会有所变化的问题和由于材料积累过多导致掉落引起坩埚喷嘴堵塞的问题。

附图说明

图1为现有技术中的蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；

图2为本实用新型一个实施例蒸发源装置的结构示意图；

图3为本实用新型一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；

图4为本实用新型实施例角度板的结构示意图；

图5为本实用新型另一个实施例蒸发源装置的结构示意图；

图6为本实用新型实施例角度板和冷却板的结构示意图；

图7为本实用新型另一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；

图8为本实用新型实施例蒸发源装置的角度板敞开时的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。

参考图2，其为本实用新型一个实施例蒸发源装置的结构示意图。作为本实用新型的一个实施例，所述蒸发源装置包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组202和角度板204，所述喷嘴组202包括多个喷嘴，所述角度板204位于所述喷嘴组202两侧，所述角度板204在所述喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206。参考图3，其为本实用新型一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图。蒸镀时，不同的材料从喷嘴组202中蒸发出来，在角度板204之间进行均匀混合，并使蒸发材料最终从同一个蒸发出口206喷发出来，然后到达玻璃基板201。

可见，本实用新型提供的蒸发源装置可以有效地使材料在蒸发源内部(角度板之间)进行均匀混合，并使蒸发材料最终从同一个蒸发出口喷发出来，避免因多种材料的Profile重合不好，导致蒸镀到玻璃基板表面的膜层出现分层现象，从而解决多种材料的Profile重合性不好的问题。

可选地，所述喷嘴组202为线性喷嘴组，多个喷嘴沿着线源方向设置，有机材料从所述线性喷嘴组中蒸发出来，并通过同一个蒸发出口镀到玻璃基板上。

作为本实用新型的又一个实施例，所述喷嘴组202的四周分别设置有角度板204，所述喷嘴组202四周的角度板204在所述喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206。在本实施例中，这些设置在喷嘴组202四周的角度板在喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206，不同的材料从喷嘴组202中蒸发出来，在角度板204之间进行均匀混合，并使蒸镀材料最终从同一个蒸发出口206喷发出来，然后到达玻璃基板201。因此，本实用新型提供的蒸发源装置可以有效地使材料在蒸发源内部(角度板之间)进行均匀混合，并使蒸镀材料最终从同一个蒸发出口喷发出来，避免因多种材料的Profile重合不好，导致蒸镀到玻璃基板表面的膜层出现分层现象，从而解决多种材料的Profile重合性不好的问题。

在本实用新型的又一个实施例中，所述角度板204设置有用于使所述角度板204温度升高的电热元件。在角度板上设置电热元件，电热元件能够使角度板温度升高，因此可以通过控制角度板的温度至适宜温度，避免大量蒸镀材料在角度板上冷凝，减少材料因粘附到角度板上而造成的浪费，使尽可能多的材料可以通过蒸发出口喷发出去，到达玻璃基板表面，从而解决蒸镀材料利用率低的问题。需要说明的是，最好控制角度板的温度高于材料的蒸发温度，以保证材料不会粘附在角度板上造成材料浪费，同时低于材料的分解温度，保证材料不会因高温而分解。所述电热元件可以设置在角度板的表面，也可以设置在角度板的内部，能够使所述角度板温度升高即可。

参考图4，其为本实用新型实施例角度板的结构示意图。作为本实用新型的一个实施例，所述角度板204的内部为中空结构，所述电热元件2042设置于所述中空结构中。由于角度板的内部为中空结构，电热元件设置在该中空结构中，可以保证整个角度板与蒸镀材料的接触温度均一，不会因局部过热导致材料分解或者局部过冷导致材料在角度板上粘附、堆积。因此，本实用新型提供的蒸发源装置不但可以提高蒸镀材料的利用率，还能减少更换或清理角度板的次数。

可选地，所述电热元件2042选自电热丝、电热合金、微波加热器件、电热板、云母发热器件中的至少一种。这些电热元件可以对所述角度板进行加热，使其温度升高。较佳地，所述电热元件的数量为多个，所述电热元件的设置方式不限制，可以均匀分布在角度板内，也可以不均匀分布在角度板内，多个电热元件的设置可以使整个角度板与蒸镀材料的接触温度均一，不会因局部过热导致材料分解或者局部过冷导致材料在角度板上粘附、堆积。

作为本实用新型的再一个实施例，结合图2-4，所述角度板204朝向所述喷嘴组202的一侧2041为陶瓷板和/或金属板。在角度板的选材上，采用陶瓷和/或金属材质，可以避免选择与蒸发材料发生化学或物理反应，还可以保证整个角度板与材料的接触温度均一。需要说明的是，如图4所示，在本实施例中，所述角度板204背离所述喷嘴组202的一侧标记为2043。所述电热元件2042至少用于加热所述角度板204朝向所述喷嘴组202的一侧2041。

参考图5，其为本实用新型另一个实施例蒸发源装置的结构示意图。在所述角度板204在背离所述喷嘴组202的另一侧设置有冷却板205。由于在背离所述喷嘴组的另一侧设置冷却板，冷却板具有冷却功能，可以避免对玻璃基板或者掩膜板造成热辐射，从而防止温度过高造成的成膜不良的问题。

参考图6，其为本实用新型实施例角度板和冷却板的结构示意图。在该实施例中，所述角度板204的内部为中空结构，所述电热元件2042设置于所述中空结构中。所述角度板204的一侧2041朝向所述喷嘴组202，所述角度板204的另一侧2043背离所述喷嘴组202，所述冷却板205设置于背离所述喷嘴组202的一侧2043，所述电热元件2042至少用于加热所述角度板204朝向所述喷嘴组202的一侧2041。

可选地，所述冷却板205沿着角度板204的表面设置在背离所述喷嘴组202的一侧2043，在所述喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206。所述角度板204与冷却板205可以互相贴合，也可以保持一定距离。所述冷却板205的表面积可以与角度板的表面积相同，也可以不同。也就是说，所述冷却板205的设置方式不限，但是不能遮挡蒸发出口206。如图7所示，在角度板204上设置冷却板205后，不同的材料从喷嘴组202中蒸发出来，在角度板204之间进行均匀混合，并使蒸发材料最终从同一个蒸发出口206喷发出来，然后到达玻璃基板201。

可选地，所述冷却板205的内部与循环冷却水连通，通过循环冷却水对所述冷却板205进行降温，从而使冷却板205具有冷却功能，可以避免对玻璃基板或者掩膜板造成热辐射，从而防止温度过高造成的成膜不良的问题。可选地，所述冷却板205的内部填充有冷却剂，冷却剂对所述冷却板205进行降温，从而使冷却板205具有冷却功能。

在本实用新型的另一个实施例中，所述角度板204的开合角度可调。图8为本实用新型实施例蒸发源装置的角度板敞开时的结构示意图，由于角度板的开合角度可调，一方面可以改变蒸发出口的大小和角度，从而改变蒸镀区域，另一方面可以将喷嘴组露出，以便于清理角度板和喷嘴组。需要说明的是，为了配合角度板的开合角度可调，所述冷却板的开合角度也可调。

作为本实用新型的一个实施例，所述角度板204的端部与加热装置的外壁203铰接，所述角度板204的端部能够绕着铰接处转动，因此可以根据需要调整角度板的开合角度，既便于改变蒸发出口的大小和角度，也便于清理角度板和喷嘴组。

本实用新型还提供了一种蒸发镀膜设备，所述蒸发镀膜设备包括所述任意一个实施例中的蒸发源装置。

由此可见，本实用新型提供的蒸发源装置和蒸发镀膜设备将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。由于角度板的温度可控，可以通过使角度板温度升高，避免大量蒸镀材料在角度板上冷凝，减少材料因粘附到角度板上而造成的浪费，使尽可能多的材料可以通过蒸发出口喷发出去，到达玻璃基板表面，从而提高材料的利用率，也可以避免由于长时间的吸附粘黏材料角度控制会有所变化的问题和由于材料积累过多导致掉落引起坩埚喷嘴堵塞的问题。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。