衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备。所述衬底支撑板可防止衬底的后表面上的沉积且可易于卸载所述衬底。所述衬底支撑板可包含：衬底安装部分；以及外围部分，其围绕所述衬底安装部分，且所述衬底安装部分的顶部表面的边缘部分可经阳极氧化，且所述衬底安装部分的所述顶部表面的中心部分可不经阳极氧化。

技术研发人员：刘龙珉;孙宗源;崔丞佑;姜东锡
受保护的技术使用者：ASM知识产权私人控股有限公司
技术研发日：2017.03.16
技术公布日：2017.09.26