一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机设备技术领域，特别涉及一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备，弧源是嵌入在机器上无法拆卸，一旦位置安装错误整个机器可能造成报废，而且由于是内嵌固定在镀膜机上，弧源的数量、位置都不能改变，无法达到一机多用的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率。因此我们对此做出改进，提出一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、安装口、拼装门和紧固件，所述真空镀膜机内置有工件转架，所述工件转架一侧安装真空系统，所述安装口位于真空系统上方，且安装口内壁固定连接有门框，所述门框一侧设置有限位块，且门框上方设有弧源电源和靶材电源，所述拼装门通过第一滑轨和第二滑轨固定在安装口，所述第一滑轨和第二滑轨分别连接在门框的上边缘和下边缘，所述拼装门内侧安装有加热源，且拼装门上固定连接有弧源，所述弧源下方设有偏压电源接口，所述紧固件通过铰链固定在真空镀膜机外侧，且紧固件与拼装门接触端设有密封垫片。

进一步地，所述拼装门上下端口均固定有凸块，且凸块紧密卡合在第一滑轨和第二滑轨内壁之间。

进一步地，所述拼装门上的弧源安装有一个或者多个，且位置不同。

进一步地，所述第一滑轨、第二滑轨和限位块与拼装门的接触面均设有密封圈。

进一步地，所述门框与真空镀膜机之间通过焊接固定连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，通过在真空镀膜机外端的位置开出一个安装口，将弧源内嵌于拼装门上，再将拼装门安装在这个空位上，便于快速更换，可以达到多用途使用镀膜装置，也不会影响整机，拼装门内侧连接加热源，外端口设置偏压电源接口，方便在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压，且第一滑轨、第二滑轨和限位块与拼装门的接触面均设有密封圈，提高密封性，整体拆卸安装便捷，结构合理，适合广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门的俯视图。

图中：1、真空镀膜机；2、偏压电源接口；3、工件转架；4、弧源电源；5、第一滑轨；6、安装口；7、第二滑轨；8、靶材电源；9、限位块；10、拼装门；11、弧源；12、真空系统；13、加热源；14、密封垫片；15、紧固件；16、铰链；17、门框；18、凸块。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机1、安装口6、拼装门10和紧固件15，所述真空镀膜机1内置有工件转架3，所述工件转架3一侧安装真空系统12，所述安装口6位于真空系统12上方，且安装口6内壁固定连接有门框17，所述门框17一侧设置有限位块9，且门框17上方设有弧源电源4和靶材电源8，所述拼装门10通过第一滑轨5和第二滑轨7固定在安装口6，所述第一滑轨5和第二滑轨7分别连接在门框17的上边缘和下边缘，所述拼装门10内侧安装有加热源13，且拼装门10上固定连接有弧源11，所述弧源11下方设有偏压电源接口2，所述紧固件15通过铰链16固定在真空镀膜机1外侧，且紧固件15与拼装门10接触端设有密封垫片14。

其中，所述拼装门10上下端口均固定有凸块18，且凸块18紧密卡合在第一滑轨5和第二滑轨7内壁之间，便于拼装门10的拆卸和安装。

其中，所述拼装门10上的弧源11安装有一个或者多个，且位置不同，便于一机多用。

其中，所述第一滑轨5、第二滑轨7和限位块9与拼装门10的接触面均设有密封圈，便于提高真空度。

其中，所述门框17与真空镀膜机1之间通过焊接固定连接，便于安装稳固性。

需要说明的是，本实用新型为一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，工作时，通过在真空镀膜机1外端的位置开出一个安装口6，将弧源11内嵌于拼装门10上，再将拼装门10安装在这个空位上，这样一来，即便弧源11安装错误，则可以把整个门板取下，进行更换，又或者是弧源11的数量需要改变，也可以拆下进行更换其他的，可以达到多用途使用镀膜装置，也不会影响整机，拼装门10内侧连接加热源13，外端口设置偏压电源接口2，方便在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压，且第一滑轨5、第二滑轨7和限位块9与拼装门10的接触面均设有密封圈，提高密封性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。