石墨舟销钉及镀膜装置的制作方法

技术特征：

1.一种石墨舟销钉，其特征在于，包括：销钉(100)、内接触环(200)和卡点(300)；

所述内接触环(200)设于所述销钉(100)和所述卡点(300)之间，所述内接触环(200)的外壁具有至少一个接触平面，当硅片(500)卡在所述销钉(100)和所述卡点(300)之间时，所述硅片(500)与所述接触平面线接触。

2.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，所述接触平面为多个。

3.根据权利要求2所述的石墨舟销钉，其特征在于，多个所述接触平面首尾相连。

4.根据权利要求3所述的石墨舟销钉，其特征在于，所述内接触环(200)的截面为正六边形。

5.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，沿所述硅片(500)和所述接触平面的线接触的方向，所述接触平面的长度为2至4.8毫米。

6.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，沿垂直于所述内接触环(200)横截面的方向，所述硅片(500)遮挡于所述卡点(300)；所述卡点(300)的外缘至所述内接触环(200)的接触平面的距离为0.15至0.9毫米。

7.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，所述卡点(300)设有标识结构，用于指示所述石墨舟销钉与舟片接触的位置。

8.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，所述销钉(100)、所述内接触环(200)和所述卡点(300)一体成型。

9.根据权利要求1所述的石墨舟销钉，其特征在于，所述销钉(100)、所述内接触环(200)和所述卡点(300)同轴设置。

10.一种镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求1－9任一项所述的石墨舟销钉。