一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机的制作方法

本发明涉及一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，属于电容器技术领域。

背景技术：

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。

在电容器制作领域中，常使用真空镀膜机来制作金属化薄膜。在真空镀膜机工作的过程中，首先，真空镀膜机需要进行抽真空作业，来降低真空镀膜机内部的镀膜室中的氧气含量，从而避免镀膜室中的氧气含量过多导致金属化薄膜中的金属镀层被大规模氧化。在镀膜工作结束后，需要向镀膜室进行充气使其恢复至常压，如此才能打开镀膜室的室门。与镀膜室相连的充气阀直接与外界相连，容易把外界空气中的灰尘打入镀膜室，从而导致镀膜室的内部被污染。目前，解决该操作的方法，是将镀膜机搬入无尘车间，但是，无尘车间的制作、维护费用非常高，并且，无尘车间中工作人员的操作必须严格遵守相关规定，操作不方便。

技术实现要素：

本发明针对现有技术存在的不足，提供了一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，具体技术方案如下：

一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，包括真空镀膜机、用来给真空镀膜机中镀膜室抽真空的真空泵、与真空镀膜机中镀膜室相连通的进气阀，所述真空镀膜机的外部设置有用来净化输送到真空镀膜机中镀膜室的气体净化系统。

作为上述技术方案的改进，所述气体净化系统包括空压机、净化室、储气室、缓冲室，所述空压机的输出端与净化室之间设置有压缩空气干燥过滤器，所述空压机的输出端与压缩空气干燥过滤器的输入端连通，所述压缩空气干燥过滤器的输出端与净化室的内腔连通，所述净化室的外部设置有排气阀，所述排气阀的一端与净化室的内腔连通，所述净化室的内部设置有干燥器，所述真空泵的排气端与净化室的内腔连通；所述净化室与储气室之间设置有气体增压泵，所述气体增压泵的输入端与净化室的内腔连通，所述气体增压泵的输出端与储气室的内腔连通；所述储气室与缓冲室之间设置有出气阀，所述出气阀的输入端与储气室的内腔连通，所述出气阀的输出端与缓冲室的内腔连通，所述进气阀的输入端与缓冲室的内腔连通。

作为上述技术方案的改进，所述干燥器包括外筒，所述外筒的内部固设有电加热棒，所述外筒的内部填充有将电加热棒完全覆盖的粒状硅胶干燥剂，所述外筒的侧壁设置有多个气孔，所述气孔的孔径小于硅胶干燥剂的粒径。

作为上述技术方案的改进，所述净化室的内部盛有甘油层，所述甘油层盛放在净化室室底的上方，所述甘油层的液面低于真空泵的排气端。

作为上述技术方案的改进，所述净化室的外部设置有排污阀，所述净化室的室底设置有排污孔，所述排污阀的输入端与排污孔连通。

作为上述技术方案的改进，所述净化室的外部还设置有甘油输送阀，所述甘油输送阀的输入端与净化室的内腔连通。

本发明的有益效果：

所述具有气体净化系统的高洁净型镀膜机即使不在无尘车间使用，通过气体净化系统也能够保证输入到镀膜室内部的气体为无杂尘、无氧气体，从而满足镀膜工作需求。本发明无需制作费用高昂的无尘车间，操作简单方便。

附图说明

图1为本发明所述具有气体净化系统的高洁净型镀膜机的结构示意图；

图2为本发明所述干燥器的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，所述具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，包括真空镀膜机10、用来给真空镀膜机10中镀膜室抽真空的真空泵11、与真空镀膜机10中镀膜室相连通的进气阀12，所述真空镀膜机10的外部设置有用来净化输送到真空镀膜机10中镀膜室的气体净化系统。所述气体净化系统包括空压机20、净化室30、储气室40、缓冲室50，所述空压机20的输出端与净化室30之间设置有压缩空气干燥过滤器21，所述空压机20的输出端与压缩空气干燥过滤器21的输入端连通，所述压缩空气干燥过滤器21的输出端与净化室30的内腔连通，所述净化室30的外部设置有排气阀32，所述排气阀32的一端与净化室30的内腔连通，所述净化室30的内部设置有干燥器31，所述真空泵11的排气端与净化室30的内腔连通；所述净化室30与储气室40之间设置有气体增压泵60，所述气体增压泵60的输入端与净化室30的内腔连通，所述气体增压泵60的输出端与储气室40的内腔连通；所述储气室40与缓冲室50之间设置有出气阀70，所述出气阀70的输入端与储气室40的内腔连通，所述出气阀70的输出端与缓冲室50的内腔连通，所述进气阀12的输入端与缓冲室50的内腔连通。

所述真空镀膜机10在进行抽真空作业时，所述真空泵11对镀膜室进行抽真空作业，在抽真空的过程中，将镀膜室内部的气体抽到净化室30的内部。所述净化室30内部的气体通过气体增压泵60被加压输送到储气室40的内部储存。当镀膜工作结束后，需要向镀膜室进行充气使其恢复至常压时，打开进气阀12、出气阀70，储气室40内部高压气体通过出气阀70流入到缓冲室50，经过缓冲室50的缓冲后从进气阀12被输送到真空镀膜机10中的镀膜室，从而使得真空镀膜机10中的镀膜室恢复至常压。其中，排气阀32可与气体捕集泵或气体传输泵相连通，从而使得净化室30的内部获得初始真空。

在上述过程中，空压机20将外界空气压缩然后经过压缩空气干燥过滤器21干燥、过滤后得到洁净压缩空气，洁净压缩空气被输送到净化室30内部，从而给净化室30补充新的气体。所述干燥器31能够对净化室30新补充的气体进一步干燥，从而进一步降低净化室30内部气体中含有的水分。

进一步地，如图2所示，所述干燥器31包括外筒311，所述外筒311的内部固设有电加热棒312，所述外筒311的内部填充有将电加热棒312完全覆盖的粒状硅胶干燥剂313，所述外筒311的侧壁设置有多个气孔3111，所述气孔3111的孔径小于硅胶干燥剂313的粒径。所述硅胶干燥剂313能够对净化室30内部的空气进行干燥。而电加热棒312能够对硅胶干燥剂313进行烘干，从而使其恢复吸水性。

由于镀膜室内部的气体中含有金属粉尘，这使得从镀膜室的内部抽出的金属粉尘也会弥漫到净化室30，为降低净化室30内部金属粉尘的含量；进一步地，所述净化室30的内部盛有甘油层34，所述甘油层34盛放在净化室30室底的上方，所述甘油层34的液面低于真空泵11的排气端。所述甘油层34由甘油填充制成，甘油无色、无臭、外观呈澄明黏稠液态，沸点较高，能从空气中吸收潮气，这使得金属粉尘落到甘油层34处能够沉降，并且被甘油层34黏住的金属粉尘不易再飞扬，能够有效降低净化室30内部的金属粉尘进入到储气室40。

进一步地，为方便定期清理净化室30内部被金属粉尘污染的甘油层34；所述净化室30的外部设置有排污阀35，所述净化室30的室底设置有排污孔，所述排污阀35的输入端与排污孔连通。当需要清理净化室30内部被金属粉尘污染的甘油层34时，打开排污阀35，可利用向净化室30内部增压的方式促使被金属粉尘污染的甘油层34排出。

进一步地，所述净化室30的外部还设置有甘油输送阀33，所述甘油输送阀33的输入端与净化室30的内腔连通。将油泵的输出端与甘油输送到甘油输送阀33连通，油泵的输入端与甘油桶连通，打开甘油输送阀33，通过油泵将甘油输送到净化室30的内部形成新的甘油层34。

在上述实施例中，利用空压机20、净化室30、储气室40、缓冲室50、气体增压泵60和出气阀70的共同工作，使得真空泵11抽出的气体能够在净化室30、储气室40、缓冲室50和镀膜室中循环利用，这使得该高洁净型镀膜机即使不是设置在无尘车间，也能够保证从进气阀12输入到镀膜室内部的气体为无杂尘、无氧气体，从而满足镀膜工作需求。其中，金属粉尘从镀膜室的内部被抽出，然后大部分被沉降，只有微量的金属粉尘会再次被输送到镀膜室的内部，由于金属粉尘是镀膜用的金属丝蒸发、凝华成金属粉尘，也就是说，镀膜室的内部本身即附着有大量的金属粉尘，微量的金属粉尘被输送到镀膜室的内部不会影响镀膜作业。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。