一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜机辅助设备相关领域，具体是一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要通过冷却装置进行冷却，以确保设备正常工作。

1、但现有的水冷散热通常在是在真空镀膜机腔体外表面设置散热水管，或者开设水槽，通过散热水管进行散热，水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却效果不佳，通过在真空镀膜机腔体外表面开设水槽进行降温，真空镀膜机腔体外表面厚度有限，水流量小降温效果差。

2、现有的风冷散热，通常是直接通过多个风扇进行旋转多角度的吹真空镀膜机腔体的外表面进行散热，占用面积，使用操作麻烦，并且真空镀膜机腔体外表面与空气的接触面积有限，散热效果差。

本

技术实现要素：

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。

本发明是这样实现的，构造一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，该装置包括镀膜机腔体、水冷装置、风冷装置、密封装置、连接装置、蓄水箱、水泵、水泵开关、电源线、第一导管和第二导管，所述镀膜机腔体右端设置有蓄水箱，所述蓄水箱顶部与水泵底部设置的进水管固定连接，所述水泵前端设置有水泵开关，并且水泵后端设置有电源线，所述第一导管右端与蓄水箱固定密封，所述第二导管底部与水泵后端设置的出水管密封固定，所述水泵和水泵开关均与电源线电连接，所述水冷装置内表面与镀膜机腔体密封固定，所述水冷装置外表面包裹有风冷装置，所述密封装置内表面与镀膜机腔体顶部密封固定，所述密封装置底部与水冷装置顶部密封连接，所述密封装置贴合于风冷装置顶部，所述连接装置左端与水冷装置密封固定，并且连接装置中部外径贯穿风冷装置，所述水冷装置由内壳本体、出水口、入水口、内螺旋凸块、导水槽、内螺纹、限位槽和外螺旋散热凸块组成，所述内壳本体右端上下两侧分别设置有入水口和出水口，并且出水口和入水口内表面均设置有连接装置，所述内壳本体内表面设置有一体铸成的内螺旋凸块，并且通过内螺旋凸块将内壳本体内表面分隔成均匀排列的导水槽，所述内螺纹刻制于内壳本体顶部内径，并且内壳本体底部内侧设置有圆形的限位槽，所述外螺旋散热凸块均匀设置于内壳本体外表面，并且外螺旋散热凸块与内壳本体为一体铸成，所述内螺旋凸块与镀膜机腔体外表面密封固定，所述内螺纹与密封装置底部外表面通过螺纹固定连接，所述限位槽内表面与镀膜机腔体底部间隙配合，所述外螺旋散热凸块贴合于风冷装置内表面。

优选的，所述风冷装置由外筒、散热风机、风机开关和进风口组成，所述外筒前端底部内嵌有散热风机，并且散热风机右端底部前侧设置有风机开关，所述外筒前端顶部设置有圆形的进风口，并且外筒顶部与密封装置相互贴合，所述外筒内表面与外螺旋散热凸块相互贴合，并且外筒贴合于外螺旋散热凸块底部，所述散热风机和风机开关均与电源线电连接。

优选的，所述密封装置由密封装置本体、连接头、外螺纹、第一密封圈和密封套组成，所述密封装置本体底部设置有一体铸成的连接头，并且连接头外表面设置有均匀排列的外螺纹，所述外螺纹外表面与内螺纹转动配合，所述第一密封圈顶部通过胶水与密封装置本体粘接固定，并且密封装置本体通过第一密封圈与水冷装置看密封固定，所述密封套外表面通过胶水与密封装置本体粘接固定，并且密封装置本体通过密封套与镀膜机腔体顶部外径密封固定，所述密封装置本体贴合于外筒顶部。

优选的，所述连接装置由外壳、异形连接头、转壳、内固定块和第二密封圈组成，所述外壳右端设置有一体铸成的异形连接头，并且异形连接头外表面与转壳通过螺纹转动配合，所述第二密封圈左端通过胶水与内固定块粘接固定，并且内固定块右端通过螺纹与外壳转动连接，所述出水口和入水口内部均设置有内固定块和第二密封圈，所述内固定块外表面与出水口和入水口转动固定，并且连接处通过第二密封圈进行密封固定，所述外壳中部外径与外筒间隙配合。

优选的，所述出水口内设置的异形连接头与第一导管左端内表面过盈配合，并且第一导管通过转壳锁紧固定。

优选的，所述入水口内设置的异形连接头与第二导管顶部内表面过盈配合，并且第二导管通过转壳锁紧固定。

优选的，所述出水口和入水口大小形状均相同，并且出水口和入水口内表面均设置螺纹。

优选的，所述转壳外表面设置有均匀排列的防滑纹，并且转壳沿着异形连接头进行旋转的角度为：0-360度。

优选的，所述进风口形状呈圆形，并且进风口内径设置有隔尘网。

优选的，所述外筒右端设置有两个与出水口和入水口相互对称的通孔，并且通孔孔径大于外壳外表面直径1mm。

优选的，所述外筒的材质为：钨钢。

优选的，所述第一密封圈的材质为：聚四氟乙烯。

优选的，所述内固定块采用不锈钢材质。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点1：本发明所述一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，通过在镀膜机腔体外表面设置了水冷装置，将内壳本体内表面的内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，由内螺旋凸块进行分割内壳本体内表面形成一条螺旋下降的导水槽将水由入水口导入，水流沿着导水槽由出水口导出，充分的接触镀膜机腔体表面，且水流量大，达到良好的降温效果。

优点2：本发明所述一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，通过在水冷装置外表面设置了风冷装置，通过将内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，将热量导给内壳本体和外螺旋散热凸块，再由外螺旋散热凸块贴合外筒形成导风道，由散热风机通电进行工作，将热风排出，凉风由进风口导入顺着导风道进行吹过，加大了与风接触的面积，提高了散热效果，减小了装置的体积。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明局部剖面结构示意图；

图3是本发明水冷装置结构示意图；

图4是本发明水冷装置剖面结构示意图；

图5是本发明风冷装置结构示意图；

图6是本发明密封装置结构示意图；

图7是本发明密封装置剖面结构示意图。

图8是本发明连接装置结构示意图。

其中：镀膜机腔体-1、水冷装置-2、风冷装置-3、密封装置-4、连接装置-5、蓄水箱-6、水泵-7、水泵开关-8、电源线-9、第一导管-10、第二导管-11、内壳本体-21、出水口-22、入水口-23、内螺旋凸块-24、导水槽-25、内螺纹-26、限位槽-27、外螺旋散热凸块-28、外筒-31、散热风机-32、风机开关-33、进风口-34、密封装置本体-41、连接头-42、外螺纹-43、第一密封圈-44、密封套-45、外壳-51、异形连接头-52、转壳-53、内固定块-54、第二密封圈-55。

具体实施方式

下面将结合附图1-8对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体1、水冷装置2、风冷装置3、密封装置4、连接装置5、蓄水箱6、水泵7、水泵开关8、电源线9、第一导管10和第二导管11，镀膜机腔体1右端设置有蓄水箱6，蓄水箱6顶部与水泵7底部设置的进水管固定连接，水泵7前端设置有水泵开关8，并且水泵7后端设置有电源线9，第一导管10右端与蓄水箱6固定密封，第二导管11底部与水泵7后端设置的出水管密封固定，水泵7和水泵开关8均与电源线9电连接，水冷装置2内表面与镀膜机腔体1密封固定，水冷装置2外表面包裹有风冷装置3，密封装置4内表面与镀膜机腔体1顶部密封固定，密封装置4底部与水冷装置2顶部密封连接，密封装置4贴合于风冷装置3顶部，连接装置5左端与水冷装置2密封固定，并且连接装置5中部外径贯穿风冷装置3，水冷装置2由内壳本体21、出水口22、入水口23、内螺旋凸块24、导水槽25、内螺纹26、限位槽27和外螺旋散热凸块28组成，内壳本体21右端上下两侧分别设置有入水口23和出水口22，并且出水口22和入水口23内表面均设置有连接装置5，内壳本体21内表面设置有一体铸成的内螺旋凸块24，并且通过内螺旋凸块24将内壳本体21内表面分隔成均匀排列的导水槽25，内螺纹26刻制于内壳本体21顶部内径，并且内壳本体21底部内侧设置有圆形的限位槽27，外螺旋散热凸块28均匀设置于内壳本体21外表面，并且外螺旋散热凸块28与内壳本体21为一体铸成，内螺旋凸块24与镀膜机腔体1外表面密封固定，内螺纹26与密封装置4底部外表面通过螺纹固定连接，限位槽27内表面与镀膜机腔体1底部间隙配合，外螺旋散热凸块28贴合于风冷装置3内表面。

进一步的，所述风冷装置3由外筒31、散热风机32、风机开关33和进风口34组成，所述外筒31前端底部内嵌有散热风机32，并且散热风机32右端底部前侧设置有风机开关33，所述外筒31前端顶部设置有圆形的进风口34，并且外筒31顶部与密封装置4相互贴合，所述外筒31内表面与外螺旋散热凸块28相互贴合，并且外筒31贴合于外螺旋散热凸块28底部，所述散热风机32和风机开关33均与电源线9电连接。

进一步的，所述密封装置4由密封装置本体41、连接头42、外螺纹43、第一密封圈44和密封套45组成，所述密封装置本体41底部设置有一体铸成的连接头42，并且连接头42外表面设置有均匀排列的外螺纹43，所述外螺纹43外表面与内螺纹26转动配合，所述第一密封圈44顶部通过胶水与密封装置本体41粘接固定，并且密封装置本体41通过第一密封圈44与水冷装置2看密封固定，所述密封套45外表面通过胶水与密封装置本体41粘接固定，并且密封装置本体41通过密封套45与镀膜机腔体1顶部外径密封固定，所述密封装置本体41贴合于外筒31顶部。

进一步的，所述连接装置5由外壳51、异形连接头52、转壳53、内固定块54和第二密封圈55组成，所述外壳51右端设置有一体铸成的异形连接头52，并且异形连接头52外表面与转壳53通过螺纹转动配合，所述第二密封圈55左端通过胶水与内固定块54粘接固定，并且内固定块54右端通过螺纹与外壳51转动连接，所述出水口22和入水口23内部均设置有内固定块54和第二密封圈55，所述内固定块54外表面与出水口22和入水口23转动固定，并且连接处通过第二密封圈55进行密封固定，所述外壳51中部外径与外筒31间隙配合。

进一步的，所述出水口22内设置的异形连接头52与第一导管10左端内表面过盈配合，并且第一导管10通过转壳53锁紧固定，方便紧密的固定第一导管10。

进一步的，所述入水口23内设置的异形连接头52与第二导管11顶部内表面过盈配合，并且第二导管11通过转壳53锁紧固定，方便锁紧第二导管11。

进一步的，所述出水口22和入水口23大小形状均相同，并且出水口22和入水口23内表面均设置螺纹，方便与内固定块54中部外径通过螺纹固定连接。

进一步的，所述转壳53外表面设置有均匀排列的防滑纹，并且转壳53沿着异形连接头52进行旋转的角度为：0-360度，方便进行锁紧第一导管10和第二导管11。

进一步的，所述进风口34形状呈圆形，并且进风口34内径设置有隔尘网，方便进行导入空气的同时进行阻隔灰尘。

进一步的，所述外筒31右端设置有两个与出水口22和入水口23相互对称的通孔，并且通孔孔径大于外壳51外表面直径1mm，方便进行插入外壳51。

进一步的，所述外筒31的材质为：钨钢。

根据上表所述本发明外筒31利用钨钢制成，可达到，高硬度、耐磨强度和韧性好、耐热、耐腐蚀等优良性能。

进一步的，所述第一密封圈44的材质为：聚四氟乙烯。

根据上表所述本发明第一密封圈44利用聚四氟乙烯制成，有耐高温、耐低温、耐腐蚀、耐气候、高润滑、无毒害等优良性能。

进一步的，所述内固定块54采用不锈钢材质。

根据上表所示，本发明内固定块54采用不锈钢材质，可以达到耐腐蚀，重量轻的效果。

本发明通过改进提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，按照如下方式运行；

第一，首先将本装置移动到合适的位置，然后将电源线9于外部电源进行连接，通过点击水泵开关8，由水泵7通电进行工作，通过水泵7进行抽取蓄水箱6内的水，将冷水通过第二导管11由入水口23导入，使冷水沿着导水槽25流动，由出水口22导出，重新排入蓄水箱6；

第二，同时点击风机开关33由散热风机32通电进行工作将，由外螺旋散热凸块28贴合外筒31形成的导风道内的热气排出，凉风由进风口34导入顺着导风道吹过进行降温；

第三，镀膜机腔体1外表面与内螺旋凸块24相互接触，在工作过程中产生热量，会通过热传递传递给内壳本体21，进行初步降温，而内壳本体21又通过外螺旋散热凸块28与外筒31接触，再次进行热传递进行降温，而冷水经过由内螺旋凸块24进行分割内壳本体21内表面形成的导水槽25，进行接触吸收镀膜机腔体1外表面的热量，同时进行吸收内壳本体21内表面的热量进行降温，冷风通过由外螺旋散热凸块28贴合外筒31形成的导风道，对内壳本体21外表面进行降温，同时又对外筒31内表面进行降温，将热量进行多次的传递，对镀膜机腔体1起到良好的降温效果；

第四，第一导管10在长期导入热水，容易膨胀损坏需要进行更换，更换时，可通过反向旋转转壳53，将转壳53与第一导管10分离，然后拔下第一导管10，将新的第一导管10一端与蓄水箱6进行连接，另一端由异形连接头52外表面插入，再正向进旋转转壳53，使转壳53沿着异形连接头52向右端移动锁紧第一导管10即可。

本发明通过改进提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，通过在镀膜机腔体1外表面设置了水冷装置2，将内壳本体21内表面的内螺旋凸块24与镀膜机腔体1进行接触密封，由内螺旋凸块24进行分割内壳本体21内表面形成一条螺旋下降的导水槽25将水由入水口23导入，水流沿着导水槽25由出水口22导出，充分的接触镀膜机腔体1表面，且水流量大，达到良好的降温效果，通过将内螺旋凸块24与镀膜机腔体1进行接触密封，将热量导给内壳本体21和外螺旋散热凸块28，再由外螺旋散热凸块28贴合外筒31形成导风道，由散热风机32通电进行工作，将热风排出，凉风由进风口34导入顺着导风道进行吹过，加大了与风接触的面积，提高了散热效果，减小了装置的体积。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。