1.一种真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,包括:
抛光机构,所述抛光机构中具有:
抛光台,所述抛光台设置在所述抛光机构上;
抛光垫,所述抛光垫附着在所述抛光台上;
驱动装置,所述驱动装置安装在所述抛光机构中,所述驱动装置连接所述抛光垫;
对接机构,所述对接机构设置在所述抛光机构的侧端,所述对接机构具有:
第一伸缩结构;
柱体,所述柱体可旋转连接所述第一伸缩结构的伸缩端,所述柱体上具有:
竖齿,所述竖齿均匀分布在柱体表面上;
旋转装置;
齿轮,所述齿轮连接所述旋转装置,所述齿轮啮合所述竖齿;
注液结构,所述注液结构安装在所述柱体上,所述注液结构为圆形构造,所述注液结构具有:
套口,所述套口大小与抛光垫的大小相适应;
出液嘴,所述出液嘴设置在所述套口内;
抛光头,所述抛光头设置在所述抛光机构上端。
2.根据权利要求1所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述注液结构还具有入液口,所述入液口用于将外界的抛光浆料输送至注液结构中。
3.根据权利要求1所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置还包括:
第二伸缩结构,所述第二伸缩结构连接所述抛光头。
4.根据权利要求1所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述抛光头具有:
动力装置;
吸附载体,所述吸附载体连接所述动力装置,所述吸附载体用于吸附硅片。
5.根据权利要求4所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述吸附载体包括:
定位环,所述定位环为中空结构,所述定位环安装在所述吸附载体上,所述定位环与所述吸附载体同轴;
载片环,所述载片环为中空结构,所述载片环安装在所述定位环中,且与所述定位环同轴,所述载片环具有:
安装口,所述安装口用于安放硅片,所述安装口大小与硅片大小相适应;
限位单元,所述限位单元径向安装在所述载片环外径,所述限位单元嵌入在所述定位环上形成凹凸结构。
6.根据权利要求4所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述吸附载体包括:
滑道,所述滑道设置在所述吸附载体外表面;
雾化环,所述雾化环具有:
滑块,所述滑块设置在所述雾化环上端,所述滑块连接所述滑道;
雾化喷头,所述雾化喷头安装在所述雾化环的内侧,该内侧朝向所述吸附载体。
7.根据权利要求1所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述抛光机构还具有:
挡边,所述挡边设置在所述抛光机构的边缘上,所述挡边将所述抛光台包围,所述挡边与所述抛光台之间具有空隙;
环槽,所述环槽由所述挡边与所述抛光台之间的空隙构成;
回流口,所述回流口连通所述环槽。
8.根据权利要求7所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述抛光机构还具有:
反向清洗过滤器,所述反向清洗过滤器连通所述回流口;
回收通道,所述回收通道连通所述反向清洗过滤器;
回收箱,所述回收箱连通所述回收通道;
冲洗通道,所述冲洗通道连通所述反向清洗过滤器;
水箱,所述水箱连通所述冲洗通道。
9.根据权利要求8所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述水箱中具有水泵,所述水泵用于将所述水箱中的液体抽送至所述冲洗通道中。
10.根据权利要求9所述真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置,其中,所述反向清洗过滤器包括:
转换腔;
第一过滤口,所述第一过滤口连通所述回流口与所述转换腔;
第二过滤口,所述第二过滤口连通所述回收通道与所述转换腔;
第一清洗口,所述第一清洗口连通外界与所述转换腔;
第二清洗口,所述第二清洗口连通冲洗通道与所述转换腔;
被动体,所述被动体设置在所述转换腔内,所述被动体贴合所述转换腔的内壁,所述被动体可在所述转换腔中左右滑动,所述被动体包括:
过滤腔,所述过滤腔连通所述第一过滤口;
流通口,所述流通口连通第二过滤口;
过滤装置,所述过滤装置安装在所述过滤腔中;
第三伸缩结构,所述第三伸缩结构连接所述被动体。