铝合金阳极化前热处理工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于热处理工艺技术领域，特别是涉及一种铝合金阳极化前热处理工艺。适用于IC装备(生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业热处理技术，主要关于提高铝合金阳极膜耐腐蚀性的热处理专业技术方法。
【背景技术】
[0002]铝合金阳极化前热处理工艺，有其特别的重要性。铝合金阳极化前的热处理方法与其它阳极化前的化学处理方法不同，一般的化学前处理只能去除晶界间大量的S1-Mg相，使材料晶界间形成腐蚀凹坑，而无法使S1-Mg析出相均匀地分散于晶粒中，从而导致料阳极膜的耐腐蚀性很差。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，为了使铝合金材料晶界间的析出相均匀地分散于材料晶界中，从根本上提供铝合金阳极氧化膜的耐腐蚀性，并为提高其它材料阳极膜耐腐蚀性能提供一定的参考方法。本发明的目的是提供一种铝合金阳极化前热处理工艺。它能够显著地提高材料阳极化后阳极膜的耐腐蚀性。
[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
本发明一种铝合金阳极化前热处理工艺，包括如下步骤:
(1)在热处理炉中预先放置干净平整的放置零件的平板；
(2)固溶热处理:将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段:从0°C升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-40C /min ;然后30min内将温度由200 °C升至固化处理温度520-540 °C ；
(3)温度控制在520-540°C，保温 1.5-2.5H ；
(4)水淬方式冷却。
[0005]进一步地，所述水淬时的转移速度为5-15s。
[0006]进一步地，所述水淬工艺是将零件垂直于水槽进行水淬。
[0007]本发明的有益效果是:
1.本发明可以使聚集于材料晶界间的第二相均匀分散于材料晶粒内，显著提高零件阳极膜的耐腐蚀性。
[0008]2.本发明显著提高了铝合金材料阳极膜的耐腐蚀性并为提高其它材料阳极膜的耐腐蚀性提供了研宄方向。
[0009]【附图说明】:
图1为铝合金原材料I的金相分析图片。
[0010]图2为铝合金原材料I经过固溶热处理后的金相分析图片。
[0011]图3为铝合金原材料2的金相分析图片。
[0012]图4为铝合金原材料2经过固溶热处理后的金相分析图片。
[0013]图中红色圈内标注的是材料中的部分析出相，图1、图3中材料表面析出相较多，且多数分布在晶界间；相比而言，图2、4中析出相较少、较分散，且多数溶于晶格中。
【具体实施方式】
[0014]下面结合实施例对本发明进行详细描述。
[0015]实施例1:本发明铝合金阳极化前热处理工艺，包括如下步骤:
(1)为避免热处理过程中杂质粒子扩散到零件中，使零件表面产生缺陷，在热处理炉中预先放置干净平整的平板承载待处理零件，本例选择厚度在300mm的铝合金板材；
(2)固溶热处理:将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段:从0°C升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-40C /min,以防温度升高过快，造成零件本体受热不均匀；然后30min内将温度由200°C升至固溶热处理温度，固溶热处理温度为530°C ;
(3)保温2H;
(4)水淬方式冷却。所述水淬时的转移速度为10s，以防止第二相粒子重新在晶界上析出。所述水淬工艺是将零件垂直于水槽进行水淬，以防止零件发生严重变形。
[0016]实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中固溶热处理的阶段式升温方式:升温阶段分为两段:从(TC升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-4°C/min，然后30min内将温度由200°C升至固溶热处理温度520°C ；保温1.5H ;冷却时水淬的转移速度为5s。
[0017]实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中固溶热处理的阶段式升温的方式:升温阶段分为两段:从(TC升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-4°C/min，然后30min内将温度由200 °C升至固溶热处理温度540 °C ；保温2.5H ;冷却时水淬的转移速度为15s。
[0018]实施例4:本例与实施例1不同的是:本例中固溶热处理的阶段式升温的方式:升温阶段分为两段:从(TC升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-4°C/min，然后30min内将温度由200 °C升至固溶热处理温度525 °C ；保温2.2H ;冷却时水淬的转移速度为6s。
【主权项】
1.一种铝合金阳极化前热处理工艺，其特征在于:包括如下步骤: (1)在热处理炉中预先放置干净平整的放置零件的平板； (2)固溶热处理:将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段:从0°C升至200°C的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-40C /min ;然后30min内将温度由200 °C升至固化处理温度520-540 °C ； (3)温度控制在520-540°C，保温 1.5-2.5H ； (4)水淬方式冷却。
2.按照权利要求1所述的铝合金阳极化前热处理工艺，其特征在于:所述水淬时的转移速度为5-15s。
3.按照权利要求1所述的铝合金阳极化前热处理工艺，其特征在于:所述水淬工艺是将零件垂直于水槽进行水淬。
【专利摘要】一种铝合金阳极化前热处理工艺，属于热处理工艺技术领域。包括如下步骤：在热处理炉中预先放置干净平整的平板，以便放置零件；固溶热处理：将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段：从0℃升至200℃的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-4℃/min，然后30min内将温度由200℃升至520-540℃；控制温度在520-540℃，保温1.5-2.5H；水淬方式冷却。本发明可以使聚集于材料晶界间的第二相均匀分散于材料晶粒内，显著提高零件阳极膜的耐腐蚀性。本发明显著提高了铝合金材料阳极膜的耐腐蚀性并为提高其它材料阳极膜的耐腐蚀性提供了研究方向。
【IPC分类】C22F1-04, C25D11-16
【公开号】CN104561851
【申请号】CN201410768445
【发明人】安朋娜
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年12月11日