出相应的缺口 10。
[0059]图4示出了电极403的另一示例，其中电极区段503格栅状地构成。按照这种方式，工艺气体还可以更为容易地达到压板2。
[0060]图5示出了电极404的另一示例，该示例由圆形的电极区段504和菱形的电极区段504构成。该示例是纯说明性的并且应该仅表明:电极400无需由矩形电极区段500构成。当然，除了图5中所示的形状以外自然也可以使用大量其它非矩形的形状。
[0061 ] 图6示出了电极405的一个示例，该电极在其边缘区域朝向要涂覆的压板2弯曲。具体来说，电极区段506平行于压板2地设置，而电极区段507朝向压板2倾斜或者如本示例中朝向压板2弯曲。按照这种方式，等离子体中电场强度的下降可以得到补偿，如平行于该压板定位的板状电极在压板2的边缘区域中所产生的电场强度下降。
[0062]备选或附加于图6中所示的实施形式例如还可以设想的是，处于电极400边缘区域中的区段500(就此也对比图11)与处于内部的区段相比更近地设置在压板2上。所有区段500特别是可以平行于压板2地设置。
[0063]现在在用于制造压板2的方法中实施下列步骤:
[0064]a)将要涂覆的基板2与设置在真空腔3中的经分割的电极400相对地并且基本上与所述电极平行定位地设置在真空腔3中；
[0065]b)激活至少一个配设给电极区段500的能量源700 ；
[0066]c)引入气体，所述气体在所述基板坯2上引起等离子体增强化学气相沉积。
[0067]出于完整性考虑此处要说明，步骤c)自然也可以在步骤b)之前实施。
[0068]图1中纯说明性地示出了一个唯一的能量源700，该能量源与一个电极区段500连接。原则上，所述能量源逐一地与不同的电极区段500连接。但备选地还可设想，用于对压板2进行等离子体涂覆的装置包括多个能彼此无关地进行控制/调节的能量源700，所述能量源通过各连接端6与电极区段500连接或能连接。
[0069]为此，图7示出了一个说明性示例，其中装置101 (这里未示出真空腔3)的控制器件1101设置为用于借助开关1201和1202交替地将能量源701、702接通到一组1301、1302电极区段508中的各一个电极区段508上并且将该组1301、1302的其余电极区段508的连接端切换到与前述电极区段508相绝缘的打开状态中(压板2在本示例和其它示例中处于接地)。具体来说，电极区段508在图7所示的示例中划分为两组1301和1302，其中，第一组1301包括三个相同大小的电极区段508，而第二组1302包括五个不同大小的电极区段508。该划分是纯说明性的，并且此外应该表明:电极406的电极区段508无须必然是相同大小的。此外由图7还可得出，电极区段508并非必须必然是正方形的，而一般还可以是矩形的。电极区段508特别是可以以带、条和/或条纹带的形式实施。第一能量源701现在接通到组1301的各一个电极区段508上，第二能量源702接通到组1302的一个电极区段508上。其余的电极区段508切换到打开状态中。
[0070]在一定时间之后，改变在能量源701、702和电极区段508之间的配属。也就是说，能量源701与组1301的其它电极区段508连接，而之前所连接的电极区段508切换到打开位置中。与此相类似地，能量源702与组1302的另一电极区段508连接，而之前所连接的电极区段508接通到打开位置中。按照这种方式，组1301和1302中的所有电极区段508都可以逐一与能量源701和702连接。由此可以仅利用数量少的能量源701和702彼此无关地为所有电极区段508供给能量。
[0071]对配设给已激活的能量源701、702的电极区段508的选择可以随机进行或者按照预设的模式进行。在此，电极区段508无须在每个循环中都以相同的顺序与能量源701、702连接。电极区段508在一个循环中也可以多次与能量源701、702连接。
[0072]当为按照棋盘的白色区域设置的电极区段和按照棋盘的黑色区域设置的电极区段交替地供给电能时，给出了一种特别是有利的方法。对此，图8以按6x9的矩阵设置的电极区段509示出了一个说明性示例，以便阐明电极区段509无须一定要如在棋盘的情况那样按8x8的矩阵设置。按照所述变型方案，在第一时间段中激活“白色”电极区段509，在第二时间段中激活“黑色”电极区段509 (这里划阴影线地示出)。
[0073]通常，在能量源701、702配设给电极区段508的情况下，可以为该电极区段预设电场强度和/或电位。未配属能量源701、702的其余电极区段508切换到打开状态中，在打开状态中所述其余电极区段与能量源701、702或与和该能量源连接好的电极区段508绝缘。因此，所述其余的电极区段508的电场强度为零，或者仅微小的补偿电流可以在这些电极区段508之间流动。与此相对应地，所述电位实际上可以任意取值(“浮动电位”)。
[0074]图9现在不出了一个不例，其中每一个电极区段510都与各一个能量源701...706连接，该能量源能与其余能量源701...706无关地进行控制和调节。也就是说，能量源701能与能量源702...706无关地进行控制和调节等。与此相对应地，对每个电极区段510激活各一个能量源701...706，并且将该能量源与其余能量源701...706无关地控制/调节。按照这种方式，所有电极区段510都可以彼此无关地得到能量供给。例如可以为每个电极区段510预设自己的电场强度和/或自己的电位，并且在对能量源701...706进行调节时，即使在过程条件变化的情况下仍予以遵循。
[0075]在图10中所示的另一示例中，借助电压测量仪器14来测量电极区段511与要涂覆的压板2之间的电压，并且通过控制器件1102对能量供给器件700进行调节，和/或当确认所述电压扰动时借助由控制器件1102所操纵的开关1200断开向电极区段511的电流供给。电压测量仪器14例如可以构成为连接到微控制器上的模拟数字转换器，例如控制器件1102也可以集成到其中。按照这种方式，可以确定电极区段511与所述压板之间的电弧，以及可以抑制其破坏作用。此外还能够通过上述措施主动地结束所述电弧。当然，也可以为图7中所示控制器件1101的功能以及图10中所示控制器件1102的功能设置一个共同的控制器件。
[0076]在用于对压板2进行等离子体涂覆的方法的另一变型方案中，在图11中位于电极409边缘上的区段512(划阴影线地示出)与位于内部的区段512相比处于更高的电位上和/或被调整/调节到更高的电流强度。按照这种方式，可以补偿等离子体中电场强度的下降，如在平行于压板2定位的板状的电极409中所得出的电场强度下降(对此也对比图6)，和/或可以使压板2在其边缘上配设更厚的涂层。通常在制造板状材料时压板2在此处承受最尚负荷。
[0077]最后，图12示出了一个示意性示出的示例，其中，电极区段510通过电阻15与能量源700连接。有利的是，电极区段510可以按照这种方式利用仅一个唯一的能量源700不同地得到能量供给，其方式为，设置不同的电阻15。不言而喻地，但也可以设置相同的电阻15。此外，由于电阻15防止了电能在仅一个电极区段510上集中，所以在等离子体中出现电弧的几率明显减小，或者其影响得到明显减弱。不言而喻地，图12中所示的布置结构103也可以与已经示出的布置结构相组合地应用。例如，可以设置多个能量源来取代一个单独的能量源。此外，也可设想的是，在各电极区段510之间设置其它未示出的电阻，例如因为电极408构造成在图3和图4中那样。最后还可设想的是，电阻15由狭长的接线片形成，特别是在必须将相对高的电流引导向电极区段510的情况下。
[0078]各实施例示出了根据本发明的用于对基板2进行等离子体涂覆的装置100..103的可能的实施变型方案，其中这里应注意的是，本发明并不限于本发明的特别示出的实施变型方案，而是各单个实施变型方案相互间的不同组合也是可能的，并且这些变型可能性基于通过本发明对技术手段的教导而处于本领域技术人员的能力之内。因此，所有通过所示或所述实施变型方案的各个细节的组合而可行的可想到的实施变型方案都一同被保护范围所包括。
[0079]特别是要坚持，所述装置100..103在实际中也可以包括比所示更多的组成部分。特别是应指明的是，虽然所公开的教导虽然特别有利地与压板相联系，但其也可以不受限制地应用于其它基板，例如深冲工具、挤出工具以及一般地挤压工具。
[0080]所介绍的基板2或压板特别适用于制造单层或多层的板状材料。所述板状材料应特别是理解为热塑性塑料和热固性塑料，例如环氧树脂、聚酯树脂和酚醛