磨削装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及能够使磨削磨石抵接于被加工物上并进行磨削的磨削装置。
【背景技术】
[0002] 半导体晶片、蓝宝石、SiC等的各种被加工物在被磨削装置磨削而形成为规定的厚 度后再被分割为器件。磨削装置使旋转的磨削磨石的磨削面抵接于被加工物上，从而进行 被加工物的磨削。如果进行了该磨削，则容易在磨削面上产生磨具气孔堵塞，该磨具气孔堵 塞会导致磨削能力降低，因而需要频繁修整该磨削面。此外，在对蓝宝石或SiC等的难切 削部件的磨削等，容易在磨削磨石上产生气孔损坏导致的异常磨损的情况下，在被加工物 的磨削过程中将修整板顶推于磨削轮的磨削区域上，与磨削同时进行修整（参照专利文献 1)0
[0003] 专利文献1日本特开2011-189456号公报
[0004] 然而，在顶推修整板进行修整的情况下，需要定期更换修整板。在该更换作业时磨 削磨石的磨削会停止，存在连续加工性降低的问题。此外，需要较多的修整板，还存在成本 增加的问题。
【发明内容】
[0005] 本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够连续进行磨削单元 的磨削，防止较多产生消耗品的磨削装置。
[0006] 本发明的磨削装置，其具有：保持台，其保持被加工物而使其进行旋转；以及磨削 单元，其具有磨削轮，该磨削轮对保持于保持台上的被加工物进行磨削，其特征在于，该磨 削装置具有超声波清洗喷嘴，该超声波清洗喷嘴由如下部分构成：喷射喷嘴主体，其对磨削 轮喷射清洗液；清洗液供给部，其对喷射喷嘴主体供给清洗液；超声波振子，其对从清洗液 供给部供给的清洗液施加超声波；以及电力供给单元，其对超声波振子施加交流电力，超声 波清洗喷嘴被配设为，向对被加工磨进行了削物的磨削轮的磨削磨石的磨削面喷射被施加 了超声波的清洗液，超声波振子的振动频率被设定为450kHz~1.0 MHz。
[0007] 根据该结构，在上述振动频率的范围内对清洗液施加超声波，并对磨削中的磨削 磨石的磨削面喷射被施加了超声波的清洗液，因此能够有效去除磨削面的附着物。由此，不 需要使用修整板的修整，能够减轻准备多个修整板等消耗品的成本负担。而且，在更换修整 板时不必停止磨削，能够提升连续加工性。
[0008] 根据本发明，对磨削中的磨削磨石的磨削面喷射被施加了上述振动频率的范围的 超声波的清洗液，因此能够连续进行磨削单元的磨削，防止较多产生消耗品。
【附图说明】
[0009] 图1是本实施方式的磨削装置的正面示意图。
[0010] 图2是表示磨削磨石的消耗量的测定结果的图表。
[0011] 标号说明
[0012] 1 :磨削装置；3 :保持台；4 :磨削单元；41 :磨削轮；42 :磨削磨石；42a :磨削面；5 : 超声波清洗喷嘴；51 :清洗液；52 :喷射喷嘴主体；53 :清洗液供给部；55 :超声波振子；56 : 电力供给单元;W :被加工物。
【具体实施方式】
[0013] 以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。图1是实施方式的磨削装置的正面 示意图。
[0014] 如图1所示，磨削装置1具有保持台3和磨削单元4,且被构成为通过磨削单元4 磨削由保持台3保持的被加工物W。在保持台3的图1中右侧区域上设有超声波清洗喷嘴 5〇
[0015] 作为磨削装置1的被加工物W，可以采用由硬质的难切削部件构成的板状工件。被 加工物W例如由硼硅玻璃、半导体晶片、蓝宝石、碳化硅（SiC)等材料构成。
[0016] 保持台3具有圆板形状，在其上表面设有吸附保持被加工物W的保持面3a。保持 面3a例如由多孔陶瓷材料构成，多孔陶瓷材料与吸引源（未图示）连接。此外，保持台3 被设置为通过旋转单元31而能够围绕与保持面3a正交的轴旋转，该旋转单元31由未图示 的电动机和齿轮结构等构成。
[0017] 磨削单元4被构成为在大致具有圆板形状的磨削轮41的下表面设置磨削磨石42。 磨削轮41连接于主轴43,且被构成为通过该主轴43能够以磨削轮41的圆板中心为轴旋 转。磨削磨石42例如由通过陶瓷结合剂和树脂结合剂等的结合剤固定金刚石磨粒的金刚 石磨石构成。磨削单元4被构成为通过未图示的移动机构而能够在包含铅直方向的正交2 轴或3轴方向上移动。
[0018] 磨削磨石42在高速旋转的同时，下表面成为磨削面42a而接触被加工物W进行磨 肖IJ。在该磨削中，磨削轮41的旋转中心相对于保持台3的旋转中心而言，偏向图1中右方 向配设。而且，磨削磨石42的磨削是在相对于磨削轮41的旋转中心的左侧进行的，磨削磨 石42的大致右半部分区域朝下方露出。
[0019] 超声波清洗喷嘴5具有从前端喷射清洗液51的喷射喷嘴主体52、以及对喷射喷 嘴主体52供给清洗液51的清洗液供给部53。作为清洗液供给部53,可举例示出栗等。另 外，清洗液51指的是包括纯水或清洗剂的清洗水。
[0020] 超声波清洗喷嘴5还具有设置于喷射喷嘴主体52的内部的超声波振子55、以及对 超声波振子55施加交流电力的电力供给单元56。超声波振子55被设置为，通过所施加的 交流电力，对从清洗液供给部53供给的清洗液51施加超声波振动。
[0021] 超声波清洗喷嘴5的配设部位被设定在，与保持台3相邻的位置且露出的磨削磨 石42的下方位置处。而且，喷射喷嘴主体52从前端（上端）向上方喷出被施加了超声波 振动的清洗液51。亦即，超声波清洗喷嘴5被设置为，能够向旋转中的磨削磨石42的磨削 面42a喷射清洗液51，以磨削被加工物W。
[0022] 这里，本实施方式的超声波清洗喷嘴5的规格如下。
[0023] 超声波振子55的振动频率：450kHz~1.0 MHz
[0024] 电力供给单元56的输出：40W~100W
[0025] 来自喷射喷嘴主体52的清洗液51的喷嘴流量：lOOOcc/min~1500cc/min
[0026] 关于从超声波清洗喷嘴5喷射的清洗液51，在清洗液51的喷射方向的规定的范围 (例如，铅直方向的宽度为IOmm左右）内产生由超声波振子55施加的超声波所造成的振 动。以使得磨削磨石42的磨削面42a位于该规定的范围的中间区域中的方式设定超声波 清洗喷嘴5在铅直方向上的位置，由此，在磨削过程中即使磨削面42a下降，磨削面42a也 能够继续被清洗液51清洗。
[0027] 接着，说明使用本实施方式的磨削装置1的磨削方法。首先，通过搬送单元（未图 示）将被加工物W搬运至保持台3,被加工物W被吸附保持于保持台3的保持面3a上。接 着，通过旋转单元31使保