离心分离。因此，包含在使用过的浆料的铁成分中，溶解于包含在使用过的浆料的水分中的铁离子氧化而成为氧化铁。因此，通过绕规定方向的轴进行旋转的离心分离，能够分离或去除铁成分的大部分，据此，能够制得铁成分的浓度低的再生浆料。详细而言，如下所述。
[0067]如果空气被供给至使用过的浆料，则包含在该使用过的浆料的铁成分中的铁离子氧化而成为氧化铁析出。即，如果空气被供给至使用过的浆料，铁离子与空气中的氧键合而成为氧化铁，此外，铁溶解于包含在浆料的水分中而成为铁离子后，与空气中的氧键合而成为氧化铁。因此，铁成分(铁、铁离子、氧化铁)中的氧化铁的比例变大。
[0068]由此，粒径大的氧化铁的比例变大，从而能够通过离心分离高效率地分离或去除铁成分。其结果，能够制得铁成分的浓度低的再生浆料。即，可制得能够抑制粘度的上升且抑制晶锭切断后的清洗工序中的清洗能力变差的再生浆料。
[0069]如上所述，即使通过使用而包含在再生浆料中的铁成分增加，通过向使用过的浆料供给空气，也能通过离心分离制得具有不发生该再生浆料的粘度上升的程度的铁成分浓度的再生浆料。
[0070](2)所述浆料再生装置也可以还包括:贮存槽，贮存所述使用过的浆料；以及搅拌机，能够搅拌被贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料。所述空气供给部也可以向贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料供给空气。所述离心分离部也可以从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料，并对导出的该使用过的浆料进行离心分离。此外，在所述浆料再生方法中，也可以向被贮存在贮存槽的所述使用过的浆料供给空气，对被贮存在所述贮存槽且被供给了所述空气的所述使用过的浆料进一步进行搅拌。
[0071]根据这些构成，被供给的空气通过搅拌遍布于贮存在贮存槽的使用过的浆料的整体中。因此，包含在该使用过的浆料中的铁以及铁离子的氧化高效率地被进行。
[0072](3)在所述浆料再生装置中，所述离心分离部也可以具有使所述使用过的浆料以水平或大致水平的轴为旋转中心旋转来进行离心分离的横型离心分离机。此外，在所述浆料再生方法中，所述离心分离的旋转中心的轴是水平或者大致水平的轴。
[0073]在横型的离心分离(让使用过的浆料以沿水平延伸或大致沿水平延伸的轴为旋转中心旋转的离心分离)中，离心分离中的使用过的浆料不大与空气接触。然而，如上述的构成那样，向离心分离前的使用过的浆料供给空气，使包含在该使用过的浆料中的铁以及铁离子氧化，从而在横型的离心分离中也能够将所述铁成分的大部分分离或去除。
[0074](4)在所述浆料再生装置中，优选还包括:膜分离部，对离心分离后的所述使用过的浆料进行膜分离。此外，在所述浆料再生方法中，优选对所述离心分离后的所述使用过的浆料进一步进行膜分离。
[0075]根据这些构成，通过膜分离，能够分离通过离心分离不能从使用过的浆料分离的铁成分(粒径小的铁成分)。其结果，能够制得铁成分的浓度更低的再生浆料。
[0076](5)此外，也可以不采用依次进行离心分离和膜分离的构成，可对被供给空气的使用过的浆料并行进行离心分离和膜分离。即，所述浆料再生装置也可以还包括:膜分离部，从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料并进行膜分离，将该膜分离后的使用过的浆料、即被膜透过液返送至所述贮存槽。所述离心分离部也可以将离心分离后的所述使用过的浆料返送至所述贮存槽。此外，在所述浆料再生方法中，也可以从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料并进行膜分离，将该膜分离后的使用过的浆料、即被膜透过液返送至所述贮存槽，并且，将离心分离后的所述使用过的浆料返送至所述贮存槽。
[0077]如上所述，通过将能够分离粒径大的成分的离心分离与膜分离并行进行，与只进行膜分离的情况相比，能够抑制膜分离中的膜堵塞。
[0078](6)所述实施方式是从包含切肩的使用过的浆料去除了所述切肩的再生浆料，所述切肩在使用线锯切断晶锭时产生，其中，所述再生浆料通过向所述使用过的浆料供给空气并对被供给了空气的该使用过的浆料进行离心分离而制得。
[0079]根据此构成，将包含在再生浆料中的铁成分的浓度抑制得较低，因此，难以发生因使用造成的粘度上升，且能够抑制使用该再生浆料切断晶锭后的切片等的清洗能力变差。
[0080]如上所述，能够提供再生使用过的浆料的浆料再生装置、浆料再生方法以及通过该浆料再生方法再生的再生浆料，以便制得能够抑制粘度上升且抑制晶锭切断后的清洗工序中的清洗能力变差的再生浆料。
【主权项】
1.一种浆料再生装置，其特征在于:将包含切肩的使用过的浆料再生为能够再利用，所述切肩在使用线锯切断晶锭时产生，所述浆料再生装置包括: 空气供给部，能够向使用过的浆料供给空气；以及 离心分离部，对由所述空气供给部供给了空气的使用过的浆料进行离心分离。2.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括: 贮存槽，贮存所述使用过的浆料；以及 搅拌机，能够搅拌被贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料，其中， 所述空气供给部向贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料供给空气， 所述离心分离部从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料，并对导出的该使用过的浆料进行离心分离。3.根据权利要求1或2所述的浆料再生装置，其特征在于: 所述离心分离部具有使所述使用过的浆料以水平或大致水平的轴为旋转中心旋转来进行离心分离的横型离心分离机。4.根据权利要求1至3中任一项所述的浆料再生装置，其特征在于还包括: 膜分离部，对离心分离后的所述使用过的浆料进行膜分离。5.根据权利要求2所述的浆料再生装置，其特征在于还包括: 膜分离部，从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料并进行膜分离，将该膜分离后的使用过的浆料、即被膜透过液返送至所述贮存槽，其中， 所述离心分离部将离心分离后的所述使用过的浆料返送至所述贮存槽。6.一种浆料再生方法，其特征在于:将包含切肩的使用过的浆料再生为能够再利用，所述切肩在使用线锯切断晶锭时产生，其中， 所述浆料再生方法向所述使用过的浆料供给空气，并对被供给了空气的该使用过的浆料进行离心分离。7.根据权利要求6所述的浆料再生方法，其特征在于: 向被贮存在贮存槽的所述使用过的浆料供给空气， 对被贮存在所述贮存槽且被供给了所述空气的所述使用过的浆料进一步进行搅拌， 对该搅拌的使用过的浆料进行离心分离。8.根据权利要求6或7所述的浆料再生方法，其特征在于: 所述离心分离的旋转中心的轴是水平或者大致水平的轴。9.根据权利要求6至8中任一项所述的浆料再生方法，其特征在于: 对所述离心分离后的所述使用过的浆料进一步进行膜分离。10.根据权利要求7所述的浆料再生方法，其特征在于: 从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料并进行膜分离，将该膜分离后的使用过的浆料、即被膜透过液返送至所述贮存槽，并且， 将离心分离后的所述使用过的浆料返送至所述贮存槽。11.一种再生浆料，其特征是从包含切肩的使用过的浆料去除了所述切肩的再生浆料，所述切肩在使用线锯切断晶锭时产生，其中， 所述再生浆料通过向所述使用过的浆料供给空气并对被供给了空气的该使用过的浆料进行离心分离而制得。
【专利摘要】浆料再生装置将包含切屑的使用过的浆料再生为能够再利用，其中，所述切屑在使用线锯切断晶锭时产生，该浆料再生装置包括：能够向使用过的浆料供给空气的空气供给部；对由所述空气供给部供给了空气的使用过的浆料进行离心分离的离心分离部；贮存所述使用过的浆料的贮存槽；以及能够搅拌被贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料的搅拌机。所述空气供给部向贮存在所述贮存槽的所述使用过的浆料供给空气。所述离心分离部从所述贮存槽导出被贮存在该贮存槽的所述使用过的浆料，并对导出的该使用过的浆料进行离心分离。
【IPC分类】B28D5/04, B24B57/02, B23Q11/00, H01L21/304
【公开号】CN105121095
【申请号】CN201480019659
【发明人】井上一真, 荻田大, 延藤芳树, 玉井雅之, 本冈荣二
【申请人】株式会社可乐丽
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2014年3月28日
【公告号】WO2014162708A1