一种真空镀膜冷却装置的制造方法
【专利说明】
[0001 ](一)
技术领域
本发明涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。
[0002](二)
【背景技术】
泡沫金属是一种具有海绵状三维多孔结构的金属材料。连续泡沫金属(例如:泡沫镍)的规模化生产开始于21世纪初，是一种应用领域广泛的新技术材料。其中泡沫镍、泡沫铜可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料，汽车催化剂转换器、催化燃烧、柴油车黑烟净化器的催化剂载体，可用作过滤器材料，处理流体中磁性粒子的磁流导体，用于储氢媒介、热交换媒介。
[0003]随着泡沫金属的应用领域的不断扩大，泡沫金属的生产效率和成本成为其生产企业的瓶颈问题。在泡沫金属的生产过程中涉及泡沫金属产品模芯导电化处理过程，模芯导电化处理可采用真空镀膜技术、化学镀或浸涂导电胶的方法。真空镀膜工艺具有产品纯度高、无污染，成品阻值均匀等显著优势，在泡沫金属生产中已逐步替代化学镀和浸涂导电胶工艺。
[0004]用于连续泡沫金属生产模芯导电化处理过程的真空镀膜过程要在ΙΟ-lPa高真空环境下进行。由于真空状态下热量的对流、辐射要比大气状态下差得多。真空镀膜时，镀膜区域温度达到300°C，这就会造成高分子泡绵基体材料结构的损伤，从而影响了泡沫金属的产品质量。
[0005](三)
【发明内容】
本发明为了弥补现有技术的不足，提供了一种真空镀膜冷却装置，可以为镀膜区域提供良好的温度环境，改善镀膜区域的冷却条件，降低膜芯的温度，进而提高泡沫金属产品的质量。
[0006]本发明是通过如下技术方案实现的:
一种真空镀膜冷却装置，其特征在于:包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置;所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上;所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连;所述溅射电源等通过PCL控制器控制。
[0007]所述阴极靶表面为平面，冷却装置为长方体冷却板。
[0008]所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道;所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。
[0009]所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。
[0010]所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管;所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。
[0011]所述阴极靶表面为弧面，冷却装置为圆柱形冷却辊。
[0012]所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连，冷却管道另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。
[0013]所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。
[0014]所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连，冷却盘管另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。
[0015]镀膜设备工作时，设备抽到一定的真空度，冲入氩气，根据工艺要求开启镀膜电源，阴极靶材在工作介质的作用下，以一定的能量和速度附着到膜芯上。同时冷却介质经冷却板(辊)的进水口，经内部的焊接盘管或加工成型的冷却管道流到回水口，再通过密封室将真空镀膜产生的热量带到镀膜室外。依此反复循环实现膜芯的直接冷却。
[0016]本发明的有益效果是:
本发明为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在-10°c?80°C范围内可控;本发明冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯(高分子泡绵基体材料)结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。
[0017](四)
【附图说明】
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
[0018]图1为本发明平板式结构示意图。
[0019]图2为本发明旋转式结构示意图。
[0020]图3为本发明冷却板示意图。
[0021]图4为本发明冷却辊示意图。
[0022]图中，1牵引辊，2膜芯，3阴极靶，4冷却装置，5过渡辊，6放卷机构，7收卷机构，8壳体，9密封室，10溅射电源，11循环管，12冷却管道，13回水管，14进水管，15通水口，16进水道，17出水道，18中轴，19输水管。
[0023](五)【具体实施方式】实施例1
该实施例如图1所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面，冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道12;所述冷却板上端设有回水管13，下端设有进水管14。所述冷却管道末端设有通水口 15，该通水口15交错排列。
[0024]膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却板上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
[0025]实施例2 该实施例如图1所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与