密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面，冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管。
[0026]膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却板上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
[0027]实施例3
该实施例如图2所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为弧面，冷却装置4为圆柱形冷却辊。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室9内设有与壳体8相通的进水道16和出水道17，进水道16与设在壳体8外的进水孔相连，出水道17与设在壳体8外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴18，该中轴18内设有输水管19;所述输水管19 一端通过进水道16与进水口相连，输水管19另一端与进水管14相连;所述进水14管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连，冷却管道另一端连接有回水管13;所述回水管13与中轴18连接，该中轴18通过出水道17与出水孔相连。所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。
[0028]膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却辊上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
[0029]实施例4
该实施例如图2所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为弧面，冷却装置4为圆柱形冷却辊。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室9内设有与壳体8相通的进水道16和出水道17，进水道16与设在壳体8外的进水孔相连，出水道17与设在壳体8外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴18，该中轴18内设有输水管19;所述输水管19 一端通过进水道16与进水口相连，输水管19另一端与进水管14相连;所述进水管14与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连，冷却盘管另一端连接有回水管13;所述回水管13与中轴18连接，该中轴18通过出水道16与出水孔相连。
[0030]膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却辊上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
【主权项】
1.一种真空镀膜冷却装置，其特征在于:包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置;所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上;所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连;所述溅射电源等通过PCL控制器控制。2.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述阴极靶表面为平面，冷却装置为长方体冷却板。3.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道;所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。4.根据权利要求3所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。5.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管;所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。6.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述阴极靶表面为弧面，冷却装置为圆柱形冷却辊。7.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连，冷却管道另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。8.根据权利要求7所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。9.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于:所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连，冷却盘管另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。
【专利摘要】本发明涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。该真空镀膜冷却装置，包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设在壳体外壁的溅射电源相连；所述冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。本发明为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在-10℃～80℃范围内可控；本发明冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。
【IPC分类】C23C14/34
【公开号】CN105441885
【申请号】CN201511013558
【发明人】王乃用, 刘俊林, 李伟, 苏衍宪, 孟国强, 李常兴, 邢寻勇, 钱亚杰, 韩珅, 田利
【申请人】菏泽天宇科技开发有限责任公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年12月31日