长度L成为最大时的电力线51的状态。
[0106]如图8所示，电力线51由多个构成元件构成，多个构成元件包括摆动刚体部51al、可挠部51b以及连结刚体部51a2。摆动刚体部51al形成为从摆动中心轴部23a朝向下部框体34延伸的带状，形成摆动刚体部51al的材料主成分例如为铜。摆动刚体部51al的2个端部中的一个端部与配置在摆动臂23外部的电力线连接，另一个端部在摆动臂23内部与可挠部5 Ib连接。
[0107]摆动刚体部51al通过引导筒部33内部，摆动刚体部51al的另一个端部从下部框体34的下部开口部34b朝向下部框体34的底部突出。虽未予图示，但摆动刚体部51al在从摆动中心轴部23a朝向下部框体34延伸的途中被固定在摆动臂23的上部框体31内部或是上部筒部33a内部。
[0108]连结刚体部51a2形成为从下部框体34朝向连结轴部23b延伸的带状，形成连结刚体部51a2的材料的主成分例如为铜。连结刚体部51a2的2个端部中的一个端部在摆动臂23内部与可挠部51b连接，另一个端部与配置在摆动臂23外部的电力线连接。虽未予图示，但连结刚体部51a2在从下部框体34朝向连结轴部23b延伸的途中被固定在摆动臂23内部。在伸缩机构40配合摆动臂23的摆动而使摆动臂23伸缩时，可挠部51b使摆动刚体部51al与连结刚体部51a2之间的距离伸缩。
[0109]可挠部51b配置在下部框体34内部，并形成为2个端部中的一个端部与摆动刚体部51al连接，另一个端部与连结刚体部51a2连接的带状。可挠部51b例如由将多个铜线编成带状的平编铜线构成，并具有可挠性。可挠部51b具有因自重而挠曲的部分、即弯曲部51bl。
[0110]如图8所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，伸缩软管33c收缩的程度最大，而下部框体34最接近上部框体31 (参照图6)。因此，摆动刚体部51 a I与可挠部5 Ib的连接部分最接近下部框体34的底壁。并且，摆动刚体部51al与连结刚体部51a2之间的距离成为最小。由此，可挠部51b变形成从连接在摆动刚体部51al的可挠部51b的一个端部到弯曲部51bl的距离与从连接在连结刚体部51a2的可挠部51b的另一个端部到弯曲部51bl的距离大致相等。也就是说，可挠部51b的挠曲量成为最大。
[0111]另一方面，如图9所示，在摆动臂23的长度L成为最大时，伸缩软管33c伸长，而下部框体34离上部框体31最远(参照图7)。因此，摆动刚体部51al与可挠部51b的连接部分最接近下部框体34的上壁。并且，摆动刚体部51al与连结刚体部51a2之间的距离成为最大。由此，可挠部51b变形成从连接在摆动刚体部51al的可挠部51b的一个端部到弯曲部51bl的距离成为最大，从连接在连结刚体部51 a2的可挠部51 b的另一个端部到弯曲部51 b I的距离成为最小。也就是说，可挠部51b的挠曲量成为最小。
[0112]如此，在摆动臂23伸缩时，可挠部51b的挠曲量在摆动刚体部51al与连结刚体部51 a2之间变化。因此，通过摆动臂23内部的电力线51的长度与摆动臂23的长度之差的变化被可挠部51b的挠曲量的变化吸收。于是，在摆动臂23内部与外部之间进出的电力线51的长度变短。
[0113]如以上说明，根据第2实施方式的溅射装置，能够得到以下列举的效果。
[0114](2)在平移台22a与连结轴部23b平移时，摆动臂23的伸缩机构40使摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23bl之间的距离而变化。由此，设置在摆动臂23的连结轴部23b能够追随平移台22a的移动。
[0115](3)在摆动臂23伸缩时，连结在摆动刚体部51al与连结刚体部51a2之间的可挠部51b的挠曲量会变化。因此，通过摆动臂23内部的电力线51的长度与摆动臂23的长度之差的变化被可挠部51b的挠曲量的变化吸收。于是，在摆动臂23内部与外部之间进出的电力线51的长度变短。
[0116]另外，第2实施方式也可以以如下的方式适当地进行变更而实施。
[0117].气体配管52的挠曲部52a以及冷却水配管53的挠曲部53a不是作为分别在气体配管52以及冷却水配管53上具有弯曲形状的部位而被具体化，也可以例如在连接线路上作为具有螺旋形状的部分而被具体化。另外，螺旋形状也可以是二维的螺旋形状，也可以是三维的螺旋形状。
[0118].电力线51的构成也可以适用于连接线路50所包括的其他线路、例如气体配管52以及冷却水配管53中的至少一方。
[0119]?溅射装置也可以具体化为将第I实施方式所述的构成和第2实施方式所述的构成组合的构成。根据这样的构成，也能够将溅射装置具体化为具有第I实施方式的效果和第2实施方式的效果的双方的构成。
[0120].摆动臂23也可以不具备伸缩机构40。在这种情况下，引导筒部33也可以作为I个圆筒状的筒部而被具体化。并且，例如为了抑制连结轴部23b与连结轴部23b的连接对象、SP平移台22a之间的距离变大，也可以在摆动中心轴部23a与框体21之间具备连结部(例如，弹簧等伸缩部件)，该连结构件使摆动中心轴部23a与框体21之间的距离随着阴极单元22平移而变大。即使是这样构成，摆动臂23只要是以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(I)的效果。
[0121].摆动臂23也可以不具备伸缩机构40，例如也可以具备连结部(例如，弹簧等伸缩部件)，连结轴部23b与连结轴部23b的连接对象、即平移台22a之间的距离越大，该连结部越在连结轴部23b与平移台22a之间延伸。另外，在这种情况下，引导筒部33也可以具体化为I个圆筒状的筒部。即使是这样的构成，只要摆动臂23以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(I)的效果。
[0122].摆动臂23也可以不具备伸缩机构40，也可以采用在连结轴部23b与平移台22a之间以及摆动中心轴部23a与框体21之间分别具备上述的连结部(例如，弹簧等伸缩部件)的构成。另外，在这种情况下，引导筒部33也可以具体化为I个圆筒状的筒部。即使是这样的构成，只要摆动臂23以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(I)的效果。
[0123].对于电力线51，作为电力线51的构成元件，不仅是导体，也可以包括位于2个导体之间的绝缘体、即端子台。例如，也可以在摆动刚体部51al与可挠部51b之间设置以将摆动刚体部51al和可挠部51b电连接的状态对它们进行支承的端子台，也可以在连结刚体部51a2与可挠部51b之间设置以将连结刚体部51a2和可挠部51b电连接的状态对它们进行支承的端子台。
[0124][第3实施方式]
[0125]参照图10-图13说明将基板处理装置以及成膜装置具体化为溅射装置的第3实施方式。第3实施方式的溅射装置，其特征为安装在摆动臂23的摆动中心轴部23a的电力线以及安装在摆动臂23的连结轴部23b的电力线。因此，以下针对这些构成进行说明。另外，在图10-图13中，作为一个例子示出具有2条电力线51的溅射装置。
[0126][摆动中心轴部的电力线]
[0127]参照图10以及图11说明安装在摆动中心轴部23a的电力线51。另外，图10示出摆动臂23的长度L成为最小时的电力线51的状态，另一方面，图11示出摆动臂23的长度L成为最大时的电力线51的状态。
[0128]如图10所示，电力线51包括第I电力线51A以及第2电力线51B，第I电力线51A和第2电力线51B相对于通过摆动轴P而沿高度方向延伸的假想平面形成面对称。构成各个电力线51的摆动刚体部51al分别形成为带状，在从沿对置方向延伸的摆动中心轴部23a的内周面离开的状态下，从上部框体31内部朝向摆动中心轴部23a的筒端延伸。也就是说，由于各个摆动刚体部51al中的通过摆动中心轴部23a的部分沿摆动轴P延伸，所以能够抑制随着摆动臂23的摆动而产生变形。各个摆动刚体部51al的端部在摆动中心轴部23a的筒端上通过绝缘物而被固定在摆动中心轴部23a的端面。摆动中心轴部23a为基端旋转部的一个例子，摆动刚体部51al为基端旋转配线的一个例子。
[0129]第I电力线51A以及第2电力线51B分别具有摆动固定部61，该摆动固定部61通过绝缘物而被固定在溅射腔室13的壁部、例如固定在摆动凸缘23a2上的框体21的壁部，并与其他电力线连接。摆动固定部61为基端固定配线的一个例子。
[0130]第I电力线51A以及第2电力线51B分别具有摆动可挠部62，该摆动可挠部62与摆动刚体部51al的端部和摆动固定部61连接。各个摆动可挠部62形成为沿运送方向延伸的大致圆弧状、且例如由具有可挠性的平编铜线构成。摆动可挠部62具有在高度方向上因自重而向下部框体34挠曲的弯曲部62a。在根据摆动刚体部51al的端部与摆动固定部61之间的距离而变形的摆动可挠部62上所形成的弯曲部62a的长度相当于弯曲部62a的挠曲量。摆动可挠部62为基端可挠线路的一个例子。
[0131 ]如图10所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，各个摆动可挠部62变形成在运送方向上从摆动刚体部51al到弯曲部62a的距离与从摆动固定部61到弯曲部62a的距离大致相等。也就是说，在摆动刚体部51al的端部与摆动固定部61之间的距离成为最小时，各个弯曲部62a的挠曲量成为最大。
[0132]如图11所示，摆动臂23的长度L成为最大时，摆动中心轴部23a以摆动轴P为中心摆动。例如，在摆动中心轴部23a在纸面上向左旋转时，第I电力线51A上的摆动刚体部51al的端部沿摆动中心轴部23a的圆周方向朝下方移动。另一方面，第2电力线51B上的摆动刚体部51al的端部沿摆动中心轴部23a的圆周方向朝上方移动。由此，摆动刚体部51al的端部与摆动固定部61之间的距离变大，各个弯曲部62a的挠曲量变小。
[0133]如此，由于抑制电力线51因摆动中心轴部23a的旋转而扭曲，所以能够减小电力线51所承受的机械性负载。
[0134][连结轴部的电力线]
[0135]参照图12以及图13说明安装在连结轴部23b的电力线51。另外，图12示出摆动臂23的长度L成为最小时的电力线51的状态，另一方面，图13示出摆动臂23的长度L成为最大时的电力线51的状态。
[0136]如图12所示，构成电力线51的连结刚体部51a2分别形成为带状，并在从沿对置方向延伸的连结轴部23b的内周面离开的状态下，从下部框体34内部朝向连结轴部23b的筒端延伸。也就是说，由于各个连结刚体部51a2中的通过