连结轴部23b的部分沿旋转轴A延伸，所以抑制随着摆动臂23的摆动而产生变形。各个连结刚体部51a2在连结轴部23b的筒端上通过绝缘物而被固定在连结轴部23b的端面上。连结轴部23b为顶端旋转部的一个例子，连结刚体部51a2为顶端旋转配线的一个例子。
[0137]第I电力线51A以及第2电力线51B分别具有连结平移部71，该连结平移部71追随阴极单元22以及连结轴部23b的平移而平移。连结平移部71通过绝缘物而被固定在平移台22a的一侧面、例如固定在连结轴支承部23bl上的平移台22a侧壁的内侧面，并与其他电力线连接。连结平移部71为顶端平移配线的一个例子。
[0138]第I电力线51A以及第2电力线51B分别具有连结可挠部72，该连结可挠部72与连结刚体部51a2的端部和连结平移部71连接。各个连结可挠部72从连结刚体部51a2的端部沿高度方向朝向下方延伸，并在途中折返，而沿高度方向朝上方延伸到连结平移部71。各个连结可挠部72具有折返部72a，该折返部72a因自重而沿高度方向挠曲至连结平移部71的下方。在根据连结刚体部51a2的端部与连结平移部71之间的距离而变形的连结可挠部72上形成的折返部72a的长度、即在高度方向上位于连结平移部71下方的折返部72a的长度相当于折返部72a的挠曲量。各个连结可挠部72例如由具有可挠性的平编铜线构成。连结可挠部72为顶端可挠线路的一个例子。
[0139]如图12所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，第I电力线51A的折返部72a的挠曲量与第2电力线51B的折返部72a的挠曲量相等。
[0140]如图13所示，在摆动臂23的长度L成为最大时，连结轴部23b以旋转轴A为中心而相对于平移台22a旋转。例如，连结轴部23b在纸面上向右摆动时，在第I电力线51A中的连结刚体部51a2的端部沿连结轴部23b的圆周方向朝下方移动，在第2电力线51B中的连结刚体部51a2的端部沿连结轴部23b的圆周方向朝上方移动。由此，在第I电力线51A中，连结刚体部51a2的端部与连结平移部71之间的距离变小，另一方面，在第2电力线51B中，连结刚体部51a2的端部与连结平移部71之间的距离变大。由此，在第I电力线51A中，连结可挠部72的挠曲量变大，另一方面，在第2电力线51B中，连结可挠部72的挠曲量变小。
[0141]如此，由于抑制电力线51因连结轴部23b的旋转而扭曲，所以能够减少电力线51所承受的机械性负载。
[0142]如以上说明，根据第3实施方式的溅射装置能够得到以下列举的效果。
[0143](4)由于分别抑制第I电力线51A以及第2电力线51B因摆动中心轴部23a的旋转而扭曲，所以能够减少第I电力线51A以及第2电力线51B分别承受的机械性负载。
[0144](5)由于分别抑制第I电力线51A以及第2电力线51B因连结轴部23b的旋转而扭曲，所以能够减少第I电力线51A以及第2电力线51B分别承受的机械性负载。
[0145]另外，第3实施方式也可以以如下的方式适当地进行变更而实施。
[0146].第I电力线51A以及第2电力线51B也可以分别为不具备连结可挠部72的构成，连结刚体部51a2也可以为分别与连结平移部71连接的构成。即使是这样的构成，只要第I电力线51A以及第2电力线51B分别是具备摆动可挠部62的构成，就能够得到等同于上述(4)的效果O
[0147].第I电力线51A以及第2电力线51B也可以分别为不具备摆动可挠部62的构成，摆动刚体部51al也可以为分别与摆动固定部61连接的构成。即使是这样的构成，只要第I电力线51A以及第2电力线51B分别为具备连结可挠部72的构成，就能够得到等同于上述(5)的效果O
[0148].形成为以摆动轴P为中心的环状并与共用设备连接的端子(以下，称为共用设备连接端子)也可以通过绝缘物而被安装在摆动臂23的摆动中心轴部23a的端面上。并且，在该构成中，只要采用连接线路50上的2个端部中接近摆动中心轴部23a的端部以能够沿共用设备连接端子的圆周方向移动的状态与共用设备连接端子连结的构成即可。根据这样的构成，能够抑制连接在共用设备连接端子上的连接线路50的端部随着摆动臂23的摆动而产生变形。
[0149].形成为以旋转轴A为中心的环状并与配置在框体21内部的阴极单元22连接的端子(以下，称为阴极单元连接端子)也可以是通过绝缘物而被安装在摆动臂23的连结轴部23b的端面上。并且，在该构成中，只要采用连接线路50上的2个端部中接近连结轴部23b的端部以能够沿阴极单元连接端子的圆周方向移动的状态与阴极单元连接端子连结的构成即可。根据这样的构成，能够抑制连接在阴极单元连接端子上的连接线路50的端部随着摆动臂23的摆动而产生变形。
[0150].第I电力线51A以及第2电力线51B的各自除了导体之外，也可以包括位于2个导体之间的绝缘体、即端子台作为构成元件。或是，第I电力线51A以及第2电力线51B也可以是分别包括位于构成元件所包含的I个导体与位于框体21外部的电源之间的绝缘体、即端子台。
[0151].第I电力线51A以及第2电力线51B的构成也可以不适用于电力线51，而是适用于连接线路50所包含的其他线路、即气体配管52或冷却水配管53。
[0152]?溅射装置也可以具体化为将第I实施方式所述的构成和第3实施方式所述的构成组合的构成，根据这样的构成，也能够将溅射装置具体化为具有第I实施方式的效果和第3实施方式的效果的构成。
[0153]?溅射装置也可以具体化为将在第I实施方式所述的构成、第2实施方式所述的构成以及第3实施方式所记载的构成组合的构成。根据这样的构成，能够将溅射装置具体化为具有第I实施方式、第2实施方式以及第3实施方式的效果的构成。
【主权项】
1.一种基板处理装置，其具备: 框体； 摆动臂，其是位于所述框体内部的中空的摆动臂，该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部； 处理部，其位于所述框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动而对所述基板实施处理，所述处理部以随着所述处理部的移动而使所述连结轴部能够与所述处理部平移的方式与所述连结轴部连结，通过所述处理部的移动而使所述摆动臂进行摆动；以及 连接线路，其位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述处理部连接。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中， 所述处理部具备轴支承部，该轴支承部以能够使所述连结轴部相对于所述处理部旋转的方式支承所述处理部， 所述摆动臂具备伸缩机构，该伸缩机构使所述连结轴部相对于所述摆动中心轴部位移，而使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离伸缩， 所述伸缩机构使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离根据所述摆动中心轴部和所述轴支承部之间的距离而变化。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中， 所述连接线路由多个线路构成元件构成， 所述多个线路构成元件包括: 2个中间刚体配线，其配置在所述摆动臂的内部，并分别固定在所述摆动臂上，从而根据由所述伸缩机构进行的所述摆动臂的伸缩，而使相互之间的距离伸缩;以及 中间可挠线路，其配置在所述摆动臂内部，并连接在所述2个中间刚体配线之间，所述中间可挠线路具有可挠性，从而对应于所述2个中间刚体配线之间的距离增加而使挠曲量变小。4.根据权利要求1-3中任意一项所述的基板处理装置，其中， 所述摆动中心轴部设置为基端旋转部，该基端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心而相对于所述框体旋转， 所述连接线路包括: 基端旋转配线，其是刚体，该基端旋转配线固定在所述基端旋转部，并追随所述基端旋转部的旋转而旋转； 基端固定配线，其是刚体，该基端固定配线固定在所述框体；以及基端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述基端旋转配线与所述基端固定配线之间、且对应于所述基端旋转配线与所述基端固定配线之间的距离增加而使挠曲量变小。5.根据权利要求1-4中任意一项所述的基板处理装置，其中， 所述连结轴部设置为顶端旋转部，该顶端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心，而相对于所述处理部旋转， 所述连接线路包括: 顶端旋转配线，其是刚体，该顶端旋转配线固定在所述顶端旋转部，并随着所述顶端旋转部的旋转而旋转； 顶端平移配线，其是刚体，该顶端平移配线固定在所述处理部，并随着所述处理部的移动而与该处理部平移；以及 顶端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述顶端旋转配线与所述顶端平移配线之间、且对应于所述顶端旋转配线与所述顶端平移配线之间的距离增加而使挠曲量变小。6.—种成膜装置，其具备: 框体； 摆动臂，其是位于所述框体内部的中空的摆动臂，该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部； 成膜部，其位于所述框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动，通过朝向所述基板放出成膜材料而在所述基板上形成膜，所述成膜部以追随所述成膜部的移动而使所述连结轴部能够与所述成膜部平移的方式与所述连结轴部连结，通过所述成膜部的移动而使所述摆动臂进行摆动；以及 连接线路，其位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述成膜部连接。
【专利摘要】基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。
【IPC分类】C23C14/34
【公开号】CN105555996
【申请号】CN201480047603
【发明人】大野哲宏, 月川庆澄, 立川晋辅, 新井进, 武井応树, 矶部辰德, 清田淳也
【申请人】株式会社爱发科
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2014年9月17日
【公告号】WO2015045980A1