专利名称：一种还原炉硅芯安装装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，更具体的说是涉及一种还原炉硅芯安装装置。
背景技术：
多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转 换等半导体器件的电子信息基础材料。世界上生产多晶硅的方法主要有改良西门子法、硅 烷法、流化床法、冶金法等，其中应用最广的为改良西门子法。改良西门子法的基本工艺流 程是将工业硅粉与氯化氢(HC1)气体反应生成三氯氢硅(SiHCl3)，经过精馏提纯后加热汽 化，与氢气(H2)按一定比例混合后通入钟罩式西门子反应器(还原炉)，在通电炽热的硅芯 表面反应生成硅并沉积，最终生长成直径为120 180mm的硅棒。参见图1和图2，图1为还原炉的示意图，图2为18组硅芯还原炉底盘的示意图。还原炉包括还原炉底盘20和还原炉钟罩21。还原炉通常采用18或24组硅芯，在 还原炉底盘20呈内、中、外三圈分布，18组硅芯还原炉内、中、外圈分别为3对、6对、9对，24 组硅芯还原炉内、中、外圈则分别为4对、8对、12对。还原炉底盘20上设置有多个石墨夹 头8，石墨夹头8的数量与硅芯数量相同。图2所示为18组硅芯还原炉的底盘。在该工艺中，两根与底盘垂直的硅芯和一根与底盘平行的硅芯(横梁)组成“n” 形，称为一组硅芯，可构成单独的电流回路。还原炉内可放置多组硅芯。硅芯与西门子反应 器(还原炉)底盘的石墨夹头须紧密连接，以获得良好的接触面，才能保证电流能够均勻通 过。同时，要保证两根竖直硅芯对于还原炉底盘的垂直度，防止在开炉送气阶段气流紊乱导 致硅芯组歪倒，以及在沉积阶段随着硅芯直径的增粗，重心偏移导致倒棒，造成经济损失并 给设备造成损害。目前国内改良西门子法多晶硅生产商采用人工目测方式来安装硅芯，依靠经验对 硅芯安装的垂直度进行判断并调整。安装每组硅芯至少需要3人同时协作才能完成，即一 人将竖直的硅芯插入还原炉底盘上的石墨夹头并负责扶持硅芯，另一人根据目测指挥调整 硅芯的垂直度，第三人负责将夹持硅芯的石墨夹头拧紧，使石墨夹头与硅芯保持良好接触， 尽力保证硅芯与底盘的垂直。这种完全依靠人的视觉和经验等具有较强主观性的因素来进 行硅芯安装的方式，硅芯的垂直度并不能够得到保证，容易造成倒棒，给企业造成不必要的 经济损失。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种还原炉硅芯安装装置，应用该装置使硅芯能够 严格地垂直于还原炉底盘。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种还原炉硅芯安装装置，包括两个内支撑圈、两个中支撑圈、两个外支撑圈，连 接筋，硅芯调整夹具；
4[0010]两个所述内、中、外支撑圈分别与还原炉底盘的内、中、外圈的大小相同，两个所述 内、中、外支撑圈与还原炉底盘平行放置，两个所述内支撑圈之间、两个所述中支撑圈之间、 两个所述外支撑圈之间分别通过两条以上长度相同的所述连接筋相连，所述连接筋的长度 略小于硅芯的长度；两个所述内支撑圈分别是内上支撑圈和内下支撑圈，两个所述中支撑圈分别是中 上支撑圈和中下支撑圈，两个所述外支撑圈分别是外上支撑圈和外下支撑圈；所述硅芯调整夹具设置在所述内上支撑圈、所述中上支撑圈、所述外上支撑圈上， 所述硅芯调整夹具的数量与还原炉底盘上石墨夹头的数量相同；所述硅芯调整夹具的分布 对应于所述石墨夹头在还原炉底盘上的分布，使得应用所述装置安装硅芯时，每个石墨夹 头的正上方都有一个硅芯调整夹具，一个石墨夹头和与所述石墨夹头对应设置的硅芯调整 夹具用以插入一根硅芯并将硅芯固定。其中，所述硅芯调整夹具包括卡环、调整顶头；所述卡环为一环状结构，固定连接 在内上支撑圈或中上支撑圈或外上支撑圈上；所述调整顶头与所述卡环侧壁通过一螺钉机 构连接，所述螺钉机构能够使所述调整顶头沿所述卡环的圆面半径伸缩，也能够固定所述 调整顶头，每个硅芯调整夹具具有两个以上调整顶头。其中，所述调整顶头包括弧形片和支撑杆；所述支撑杆穿过所述卡环的侧壁，所述 支撑杆与卡环的侧壁通过所述螺钉机构连接；所述弧形片的弧度配合硅芯表面的弧度，所 述弧形片的一面与硅芯表面贴合，另一面与所述支撑杆固定连接。其中，所述弧形片与硅芯接触的面上涂有具有防止硅芯被污染的内衬材料。优选地，本装置还包括3个以上调整架和硅芯垂直度测量器具；至少一个所述调整架的两端分别与两个所述内支撑圈为滑动连接，至少一个所述 调整架的两端分别与两个所述中支撑圈为滑动连接，至少一个所述调整架的两端分别与两 个所述外支撑圈为滑动连接，所述调整架严格垂直于所述内、中、外支撑圈所在的面，分别 在两个所述内、中、外支撑圈之间的柱面滑动；在每个所述调整架上固定连接不少于两个所 述硅芯垂直度测量器具，用于测量硅芯和所述调整架的距离。其中，所述硅芯垂直度测量器具包括刻度尺、刻度指针、测量端、刻度尺支撑架；所 述刻度尺的一端与所述刻度尺支撑架固定连接，另一端与所述测量端连接，所述刻度尺能 够伸缩，伸展时可推动测量端到达硅芯位置，测出硅芯与调整架的距离，所述刻度指针设置 在刻度尺支撑架的一端，用以标识刻度尺在测量时得到的数据值。其中，所述硅芯垂直度测量器具的测量端为一弯曲成弧形的片状物，用以贴合硅 芯表面的弧度。其中，所述测量端与硅芯接触的一面涂有具有防止硅芯被污染的内衬材料，另一 面与所述刻度尺连接。 其中，所述内衬材料为聚氨酯或聚四氟乙烯或聚丙烯。其中，连接于所述外支撑圈的所述调整架的个数多于连接于中支撑圈的所述调整 架的个数，连接于所述中支撑圈的调整架的个数多于连接于所述内支撑圈的所述调整架的 个数。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开了一种还原炉硅芯 安装装置，该装置由六个支撑圈和数条连接筋构成基本的支撑框架，并在支撑圈上设置与位于还原炉底盘上的石墨夹头对应的硅芯调整夹具。应用所述装置安装硅芯时，每个石墨 夹头的正上方都有一个硅芯调整夹具，一个石墨夹头和与所述石墨夹头对应设置的硅芯调 整夹具用以插入一根硅芯并将硅芯固定，从而保证插入其中的硅芯能够准确垂直于还原炉 底盘，具有客观性，避免人的视觉误差、经验等主观因素的影响，使硅芯更严格的垂直于还 原炉底盘。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还 可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为还原炉的示意图；图2为18组硅芯还原炉底盘的示意图；图3为还原炉硅芯安装装置的示意图；图4为还原炉硅芯安装装置的硅芯调整夹具的布局图；图5为硅芯调整夹具的示意图；图6为硅芯垂直度测量器具的示意图；图7为安装内圈硅芯的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例公开了一种还原炉硅芯安装装置。本实施例以18组硅芯的还原炉为基础对本实用新型的技术方案做详细描述，不 可理解为本实用新型的技术方案仅能应用于18组硅芯的还原炉内。由于在实际生产中大 多还原炉是水平放置的，下述实施例默认还原炉是水平放置的。参见图3和图4，图3为还原炉硅芯安装装置的示意图，图4为还原炉硅芯安装装 置的硅芯调整夹具的布局图。还原炉硅芯安装装置包括内圈装置、中圈装置、外圈装置。外圈装置包括外上支撑圈10，外下支撑圈2，连接筋9，硅芯调整夹具1，调整架7 和硅芯垂直度测量器具6。外上支撑圈10和外下支撑圈2都为硬性圆圈状结构，大小与还原炉底盘的外圈相 同。连接筋9的两端分别固定连接在外上支撑圈10和外下支撑圈2上。外上支撑圈10和 外下支撑圈2都水平放置。连接筋9和外上支撑圈10以及外下支撑圈2构成圆柱状结构， 是外圈装置的基本框架，起到承载和支撑其他部件的作用。连接筋9与外上支撑圈10所在 的平面和外下支撑圈2所在的平面都严格垂直，即连接筋9与水平面垂直。外圈装置的连 接筋9的条数不固定，在保证能够支撑和固定外上支撑圈10和外下支撑圈2的前提下，可 由本领域技术人员在实际操作中具体决定连接筋9的条数。[0038]参见图5，图5为硅芯调整夹具1的示意图。硅芯调整夹具1包括卡环13、调整顶 头15和聚氨酯内衬14组成。每个硅芯调整夹具1具有三个调整顶头15，调整顶头15由弧 形片和支撑杆组成，聚氨酯内衬14涂在弧形片上。聚氨酯为防污染材料，可以防止弧形片 上的杂质污染硅芯。弧形片上涂有聚氨酯内衬14的弧形面能够与硅芯5的表面贴合。调 整顶头15的支撑杆穿过卡环13的侧壁，与卡环13通过螺钉机构连接。该螺钉机构可实现 调整顶头15沿卡环13的圆面半径方向小幅度伸缩，并在调整顶头15到达合适的位置后能 够旋紧以固定调整顶头15。本技术方案针对18组硅芯的还原炉，在外圈装置上设置有18个硅芯调整夹具1， 硅芯调整夹具1固定连接在外上支撑圈10上，具体连接方式为硅芯调整夹具1的卡环13 的侧壁的调整顶头15以下的部位焊接在外上支撑圈10上，且18个硅芯调整夹具1在外上 支撑圈10上均勻分布。硅芯调整夹具1主要用于调整硅芯5的垂直度，操作时硅芯5插入 硅芯调整夹具1的卡环13的中空部分，位于三个调整顶头15之间。调整架7的长度近似于连接筋9，调整架7的两端也分别连接外上支撑圈10和外 下支撑圈2，且调整架7与水平面严格垂直，即调整架7与连接筋9是平行的。与连接筋9 不同的是，调整架7与外上支撑圈10和外下支撑圈2是滑动连接，使得调整架7可在外上 支撑圈10和外下支撑圈2所组成的虚拟的柱面内滑动。参见图6，图6为硅芯垂直度测量器具的示意图。硅芯垂直度测量器具6包括刻度 尺16，刻度指针17，内衬聚氨酯测量端18，刻度尺支撑架19。内衬聚氨酯测量端18为一弧 形片状结构，一面涂有聚氨酯，聚氨酯同样起到防污染作用，涂有聚氨酯的一面的弧度使其 与硅芯5的表面能够贴合；另一面没有涂聚氨酯，与刻度尺16的一端固定连接。刻度尺16 置于刻度尺支撑架19内，刻度尺16与刻度尺支撑架19为滑动连接，刻度尺16能够伸缩。 刻度尺支撑架19上靠近内衬聚氨酯18的一端设置有刻度指针17，用以标识刻度尺16伸出 的距离。硅芯垂直度测量器具6的刻度尺支撑架19焊接在调整架7上，图1所示为在外圈 装置的调整架7上设置了 3个硅芯垂直度测量器具6，3个硅芯垂直度测量器具6在调整架 7上均勻分布。在实际操作中可由本领域技术人员根据实际情况决定调整架7上的硅芯垂 直度测量器具6的个数。硅芯垂直度测量器具6用于测量硅芯5与调整架7的距离，若3个硅芯垂直度测 量器具6所测得的结果一致，说明硅芯5此时与调整架7是平行的，由于调整架7严格垂直 于水平面，因此硅芯5也是垂直的。当3个硅芯垂直度测量器具6所测得的距离不一致时， 则说明硅芯5此时不与调整架7平行，也就不垂直于水平面。硅芯5的垂直度的测量准确的前提是调整架7严格垂直于水平面，且硅芯垂直度 测量器具6的准确度较高。由于调整架7与外上支撑圈10和外下支撑圈2为滑动连接，调 整架7可以在外上支撑圈10和外下支撑圈2之间滑动，因此可以测量外圈装置上的任何一 个位置的硅芯5。中圈装置包括中上支撑圈11，中下支撑圈4，连接筋9，硅芯调整夹具1，调整架7， 硅芯垂直度测量器具6(图3中为了清楚显示图形线条而省略了中圈装置的调整架7和垂 直度测量器具6)。中上支撑圈11和中下支撑圈4的大小与还原炉底盘的中圈相同，周长都小于外上支撑圈10和外下支撑圈2。中上支撑圈11和中下支撑圈4与连接筋9的连接关系同外圈 装置的外上支撑圈10和外下支撑圈2与连接筋9的连接关系。中圈装置的连接筋9的条 数比外圈装置的少。中圈装置的硅芯调整夹具1的个数为12个，也是通过卡环13焊接在中上支撑圈 11上。中圈装置也设置有调整架7和垂直度测量器具6。调整架7和垂直度测量器具6 与中上支撑圈11和中下支撑圈4的连接关系参照外圈装置。内圈装置包括内上支撑圈12，内下支撑圈3，连接筋9，硅芯调整夹具1，调整架7， 硅芯垂直度测量器具6(图3中为了清楚显示图形线条而省略了中圈装置的调整架7和垂 直度测量器具6)。内圈装置的结构设置与外圈装置和中圈装置的相似，内圈装置的各部件的连接关 系参照外圈装置。不同在于，内上支撑圈12和内下支撑圈3的大小与还原炉底盘的内圈相 同，周长都小于中圈装置的中上支撑圈11和中下支撑圈4，而且内圈装置的硅芯调整夹具1 的个数为6个，连接筋9的条数比中圈装置少。很明显可根据实际生产的需要增加调整架7及硅芯垂直度测量器具6的数量，例 如，可在内圈装置设置3个调整架7，在3个调整架7上分别设置3个硅芯垂直度测量器具 6。中圈设置6个调整架7，外圈设置9个调整架，并配以相应的硅芯垂直度测量器具6。其中具有防污染作用的内衬材料不仅限于聚氨酯，还可以是聚四氟乙烯聚丙烯等 可以起到防污染作用的材料。参见图2、图3和图7，图7为安装内圈硅芯的示意图。还原炉底盘20上设置有多个石墨夹头8，石墨夹头8上有竖直孔，用以插入硅芯 5，且石墨夹头8在硅芯插入后可拧紧，起到固定硅芯5的作用。18组硅芯的还原炉的还原炉 底盘20上设置有36个石墨夹头，分内、中、外三圈设置，内、中、外圈分别设有6、12、18个。 18组硅芯的还原炉就是具有36个石墨夹头8的还原炉。石墨夹头8在还原炉底盘20上的布局与图2所示的硅芯调整夹具1的布局相同， 硅芯调整夹具1是根据还原炉底盘20上的石墨夹头8的个数和布局决定的，每一个石墨夹 头8的正上方都有与之对应的硅芯调整夹具1。图7中为了显示还原炉底盘20的形状，只 显示了内圈位置的部分石墨夹头8。安装硅芯5时，将内圈装置置于还原炉底盘20上对应的内圈位置，将硅芯5竖直 插入安装于内上支撑圈上的硅芯调整夹具1中，然后向下再插进石墨夹头8的竖直孔内。此 时石墨夹头8应处于非拧紧状态，以便硅芯5插入。利用调整架7上的三个硅芯垂直度测 量器具6测量硅芯5与调整架7的距离，如果三个测量数据相同或差异微小，则拧紧石墨夹 头8。若三个测量数据差异较明显，则根据测量的数据结果，判断硅芯5的倾斜方向，然 后对与该方向对应或临近的调整顶头15进行调整，此时聚氨酯内衬14与硅芯5接触，较现 有技术的人工手动调整更能防止杂质污染硅芯5。调整后再进行测量，如果测得的数据结果 仍不一致，则继续调整调整顶头15，直至三个硅芯垂直度测量器具6的测量数据一致。如果 不一致，则继续调整。当测量数据一致后，旋紧调整顶头15，即防止在石墨夹头8拧紧之前硅芯5有晃动，然后拧紧石墨夹头8，石墨夹头8拧紧后，旋松调整顶头15，此时完成一根硅芯5的安装。内圈位置的其余硅芯5可参照上述方法安装，只需将调整架7移动到与即将安装 的硅芯5靠近的位置，以便测量。内圈位置的硅芯5全部固定好后，将内圈装置自下而上地竖直取出，将带有小孔 的硅芯横梁小心插入竖直硅芯5的顶部，形成“n”形。内圈的硅芯横梁全都插好后，内圈 位置的硅芯5安装完毕。将中圈装置放置于还原炉底盘20上对应的中圈位置，然后参照上述安装方法安 装中圈位置的硅芯5。中圈位置的硅芯5安装完毕后，将外圈装置放置到还原炉地盘20上 对应的外圈位置，然后同样参照内圈位置硅芯5的安装方法，将外圈位置硅芯5都固定好 后，取出外圈装置，插入硅芯横梁，至此全部硅芯5安装完毕。将还原炉钟罩21调至还原炉底盘20上，就可以进行西门子改良法的具体反应流 程了。现有的人工目测安装方式仅仅依靠视觉和经验对硅芯的垂直度进行调整，具有一 定的盲目性，而应用本实用新型提供的装置可根据测量数据有针对性的调整硅芯垂直度， 更客观，更有效，也更准确，从而有效防止在开炉送气阶段气流紊乱导致硅芯组歪倒，以及 在沉积阶段随着硅芯直径的增粗，重心偏移导致倒棒。现有的人工方式的每组硅芯的安装约需5分钟，需要三个人协作才能完成。而操 作空间所限，每炉只能同时容纳约6人安装硅芯，则每炉安装所需时间约为45分钟到60分 钟，加上硅芯检查约10分钟时间，每炉硅芯合计安装时间约需55分钟和70分钟。由于硅 芯安装是在车间开放式的环境中进行的，如此长时间的暴露会造成硅芯被环境中的微细粒 子等杂质污染，降低了生产效率，也影响最终产品质量。而应用本实用新型提供的装置可由 一人完成一组硅芯的安装，因此可多组硅芯的安装同时进行。于是提高了安装效率，从而减 少了硅芯5在空气中暴露的时间，降低了硅芯5被污染的几率。本实用新型提供了一种还原炉硅芯安装装置，上述实施例仅以18组硅芯的还原 炉为例对技术方案做详细介绍，且默认还原炉为水平放置，若出现还原炉非水平放置的情 况，则各支撑圈都平行于还原炉底盘20放置。很明显本技术方案可应用于使用西门子改良 法生产多晶硅的任何型号的还原炉内，基于本实用新型提供的装置基本构思而对各部件的 数量做改动或是其他没有创造性的改动都应属于本实用新型的保护范围。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求一种还原炉硅芯安装装置，其特征在于，包括两个内支撑圈、两个中支撑圈、两个外支撑圈，连接筋，硅芯调整夹具；两个所述内、中、外支撑圈分别与还原炉底盘的内、中、外圈的大小相同，两个所述内、中、外支撑圈与还原炉底盘平行放置，两个所述内支撑圈之间、两个所述中支撑圈之间、两个所述外支撑圈之间分别通过两条以上长度相同的所述连接筋相连，所述连接筋的长度略小于硅芯的长度；两个所述内支撑圈分别是内上支撑圈和内下支撑圈，两个所述中支撑圈分别是中上支撑圈和中下支撑圈，两个所述外支撑圈分别是外上支撑圈和外下支撑圈；所述硅芯调整夹具设置在所述内上支撑圈、所述中上支撑圈、所述外上支撑圈上，所述硅芯调整夹具的数量与还原炉底盘上石墨夹头的数量相同；所述硅芯调整夹具的分布对应于所述石墨夹头在还原炉底盘上的分布，使得应用所述装置安装硅芯时，每个石墨夹头的正上方都有一个硅芯调整夹具，一个石墨夹头和与所述石墨夹头对应设置的硅芯调整夹具用以插入一根硅芯并将硅芯固定。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述硅芯调整夹具包括卡环、调整顶头；所述卡环为一环状结构，固定连接在内上支撑圈或中上支撑圈或外上支撑圈上；所述调整顶头与所述卡环侧壁通过一螺钉机构连接，所述螺钉机构能够使所述调整顶 头沿所述卡环的圆面半径伸缩，也能够固定所述调整顶头，每个硅芯调整夹具具有两个以 上调整顶头。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述调整顶头包括弧形片和支撑杆；所述支撑杆穿过所述卡环的侧壁，所述支撑杆与卡环的侧壁通过所述螺钉机构连接；所述弧形片的弧度配合硅芯表面的弧度，所述弧形片的一面能够与硅芯表面贴合，另一面与所述支撑杆固定连接。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述弧形片与硅芯接触的面上涂有具有 防止硅芯被污染的内衬材料。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括3个以上调整架和硅芯垂直度测量 器具；至少一个所述调整架的两端分别与两个所述内支撑圈为滑动连接，至少一个所述调整 架的两端分别与两个所述中支撑圈为滑动连接，至少一个所述调整架的两端分别与两个所 述外支撑圈为滑动连接，所述调整架严格垂直于所述内、中、外支撑圈所在的面，分别在两 个所述内、中、外支撑圈之间的柱面滑动；在每个所述调整架上固定连接不少于两个所述硅芯垂直度测量器具，用于测量硅芯和 所述调整架的距离。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述硅芯垂直度测量器具包括刻度尺、刻 度指针、测量端、刻度尺支撑架；所述刻度尺的一端与所述刻度尺支撑架固定连接，另一端与所述测量端连接，所述刻 度尺能够伸缩，伸展时可推动测量端到达硅芯位置，测出硅芯与调整架的距离，所述刻度指 针设置在刻度尺支撑架的一端，用以标识刻度尺在测量时得到的数据值。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述硅芯垂直度测量器具的测量端为一 弯曲成弧形的片状物，用以贴合硅芯表面的弧度。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述测量端与硅芯接触的一面涂有具有 防止硅芯被污染的内衬材料，另一面与所述刻度尺连接。
9.根据权利要求4或8所述的装置，其特征在于，所述内衬材料为聚氨酯或聚四氟乙烯 或聚丙烯。
10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，连接于所述外支撑圈的所述调整架的个 数多于连接于中支撑圈的所述调整架的个数，连接于所述中支撑圈的调整架的个数多于连 接于所述内支撑圈的所述调整架的个数。
专利摘要本实用新型提供了一种还原炉硅芯安装装置，包括两个内支撑圈、两个中支撑圈、两个外支撑圈，连接筋，硅芯调整夹具，内、中、外支撑圈分别与还原炉底盘的内、中、外圈的大小相同。两个内支撑圈之间、两个中支撑圈之间、两个外支撑圈之间分别通过两条以上长度相同的连接筋相连。硅芯调整夹具设置在内上支撑圈、中上支撑圈、外上支撑圈上，硅芯调整夹具的数量和分布与还原炉底盘上石墨夹头的数量和分布相同，使得应用所述装置安装硅芯时，每个石墨夹头的正上方都有一个硅芯调整夹具。一个石墨夹头和与所述石墨夹头对应设置的硅芯调整夹具用以插入一根硅芯并将硅芯固定，保证了硅芯对于还原炉底盘的垂直度。
文档编号C01B33/035GK201762112SQ201020514199
公开日2011年3月16日 申请日期2010年8月30日 优先权日2010年8月30日
发明者侯俊峰, 吴多楠, 孟庆库, 杨光军 申请人:国电宁夏太阳能有限公司