一种银-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法与流程

文档序号:11801261阅读:573来源:国知局

本发明属于导电薄膜材料的合成技术领域,具体涉及一种银-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法。



背景技术:

铁电薄膜材料是一类应用广泛的功能薄膜材料,其通常采用Pt或Ti等金属薄膜作为铁电薄膜的电极材料,但是由于金属本身的原因使得在金属电极上制备的铁电薄膜存在明显的极化疲劳现象。因此,人们想到用导电金属氧化物代替金属作为电极材料以提高器件的使用寿命。镍酸镧是一种具有钙钛矿结构的金属氧化物,它在很多方面具有优良的性质,如室温导电性和制备成本低廉等。镍酸镧导电薄膜材料的这些优良性质决定了镍酸镧导电薄膜不仅可以作为铁电薄膜的底电极,而且可以作为具有钙钛矿结构的铁电导电薄膜的缓冲层使用。在众多制备镍酸镧导电薄膜材料的方法中,化学溶液沉积法具有制备工艺简单,反应温度低且反应易于进行等优点。



技术实现要素:

本发明解决的技术问题是提供了一种银-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法。

本发明为解决上述技术问题采用如下技术方案,一种银-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)以乙二醇甲醚为溶剂,以硝酸镧、醋酸镍和硝酸银为溶质配制绿色透明溶液,其中La3+、Ni2+和Ag+的摩尔比为1:1:0.03-0.07,La3+的摩尔浓度为0.1mol/L;(2)将步骤(1)中配制的绿色透明溶液滴到基片上进行旋涂镀膜,先以1000转/分的速率旋涂9秒,再以4000转/分的速率旋涂50秒得到前驱体湿膜;(3)将步骤(2)得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟;(4)重复步骤(2)和(3)多次制得所需厚度的银-镍酸镧复合导电薄膜材料,其中最后一次的退火时间延长为30分钟。

本发明采用化学溶液沉积法制得的银-镍酸镧复合导电薄膜材料,有效提高了镍酸镧导电薄膜材料的导电性,具有工艺简单、成本低廉、组成均匀和可大面积成膜等优点。

附图说明

图1为本发明实施例制得的复合导电薄膜材料的方块电阻随银含量的变化曲线。

具体实施方式

以下通过实施例对本发明的上述内容做进一步详细说明,但不应该将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例,凡基于本发明上述内容实现的技术均属于本发明的范围。

实施例1

(1)以乙二醇甲醚为溶剂,以硝酸镧、醋酸镍和硝酸银为溶质配制绿色透明溶液,其中La3+、Ni2+和Ag+的摩尔比为1:1:0.001,La3+的摩尔浓度为0.1mol/L;(2)将步骤(1)中配制的绿色透明溶液滴到基片上进行旋涂镀膜,先以1000转/分的速率旋涂9秒,再以4000转/分的速率旋涂50秒得到前驱体湿膜;(3)将步骤(2)得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟;(4)重复步骤(2)和(3)6次制得所需厚度的银-镍酸镧复合导电薄膜材料,其中最后一次的退火时间延长为30分钟。

实施例2

(1)以乙二醇甲醚为溶剂,以硝酸镧、醋酸镍和硝酸银为溶质配制绿色透明溶液,其中La3+、Ni2+和Ag+的摩尔比为1:1:0.03,La3+的摩尔浓度为0.1mol/L;(2)将步骤(1)中配制的绿色透明溶液滴到基片上进行旋涂镀膜,先以1000转/分的速率旋涂9秒,再以4000转/分的速率旋涂50秒得到前驱体湿膜;(3)将步骤(2)得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟;(4)重复步骤(2)和(3)6次制得所需厚度的银-镍酸镧复合导电薄膜材料,其中最后一次的退火时间延长为30分钟。

对比例1

(1)以乙二醇甲醚为溶剂,以硝酸镧和醋酸镍为溶质配制绿色透明溶液,其中La3+和Ni2+的摩尔比为1:1,La3+的摩尔浓度为0.1mol/L;(2)将步骤(1)中配制的绿色透明溶液滴到基片上进行旋涂镀膜,先以1000转/分的速率旋涂9秒,再以4000转/分的速率旋涂50秒得到前驱体湿膜;(3)将步骤(2)得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟;(4)重复步骤(2)和(3)6次制得所需厚度的镍酸镧复合导电薄膜材料,其中最后一次的退火时间延长为30分钟。

如图1所示,随着Ag的掺入,镍酸镧导电薄膜材料的方块电阻升高,在掺入Ag的量在0.03和0.07时,银-镍酸镧复合导电薄膜材料的方块电阻基本相当,为纯镍酸镧导电薄膜材料的75%左右。

以上实施例仅为说明本发明的技术思想,不能以此限定本发明的保护范围,凡是按照本发明提出的技术思想,在技术方案基础上所做的任何改动,均落入本发明保护范围之内。

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