玻璃基板涂布装置的制作方法

本发明涉及液晶面板制造技术领域，特别涉及一种玻璃基板涂布装置。

背景技术：

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，为平面超薄的显示设备，液晶显示器功耗很低，并且具有高画质、体积小、重量轻的特点，因此倍受大家青睐，成为显示器的主流。目前液晶显示器是以薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)液晶显示器为主，液晶面板是液晶显示器的主要组件。

液晶面板通常由薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板和液晶层组成。彩色滤光基板的作用是将通过液晶层的白光过滤为不同颜色的光束，各不同颜色的光束重新汇聚形成图像画面。

在制备彩色滤光基板的过程中，玻璃基板的清洗工艺有着重要的影响。现有的清洗工艺中，通常先采用清洗剂(例如去离子水)清洗玻璃基板，然后采用红外线装置吹干或自然干燥的方式使玻璃基板干燥，在玻璃基板经过清洗装置清洗后，涂布装置将光阻涂布至玻璃基板上，并使用干燥系统将大部分溶剂(solvent)抽除，然后进行预烘烤、曝光、显影及后烘烤。在玻璃基板经过清洗装置水洗段至涂布装置涂布前还需要经过传输装置(conveyor)、机械手(robot)以及缓冲单元(buffer)。

洗净装置的清洗效果不佳，设备内气流异常以及设备老化，均易导致粒子粘附在玻璃基板上。

为了避免喷嘴被异物刮伤，涂布装置涂布前会对玻璃基板表面异物检查，在现在技术中，异物检查一般有2种方式：

一种是先扫描整个基板，再涂布，扫描到异物后，记录坐标，停止扫描；此种方式处理较长，处理方式是人员进入机台内部，借助强光灯，用蘸有酒精的无尘布擦掉，然后再扫描、涂布；

另一种是边扫描，边涂布，检测到异常之后，涂布载台停止涂布，记录坐标，报警，此种方式处理时间较短，一般是在量产的时候使用，因为玻璃基板已有部分已涂布，所以一般处理方式是涂布装置判异常，进行返工。

技术实现要素：

本发明提供一种玻璃基板涂布装置，以解决现有技术中因玻璃基板表面有粒子导致需要停机进行清除的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种玻璃基板涂布装置，所述玻璃基板涂布装置包括涂布机构、涂布载台以及粒子移除机构，所述涂布载台用于运载玻璃基板经过所述涂布机构以进行涂布，所述粒子移除机构设置在所述涂布载台远离所述涂布机构的一端，当发现所述玻璃基板上有粒子时，所述粒子移除机构将所述粒子移除。

根据本发明一优选实施例，所述玻璃基板涂布装置还包括粒子检测机构，所述粒子检测机构设于所述涂布机构的前侧，用于在所述涂布机构对所述玻璃基板进行涂布前检测所述玻璃基板上是否有粒子。

根据本发明一优选实施例，所述粒子检测机构包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分别设于所述玻璃基板的两侧，所述投光器发出检查光经所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根据接受的光量判断所述玻璃基板表面是否有粒子。

根据本发明一优选实施例，所述投光器发出的光为红外光。

根据本发明一优选实施例，所述涂布机构包括门架和横向设置在所述门架上的涂布喷嘴。

根据本发明一优选实施例，所述门架包括两个支架和连接在所述两个支架顶部的横板，所述涂布喷嘴贴靠装配在所述横板上。

根据本发明一优选实施例，所述支架包括底板、垂直于所述底板的立板以及垂直于所述底板并与所述立板贴靠设置的筋板，所述涂布喷嘴及所述横板的两端与所述筋板装配连接。

根据本发明一优选实施例，所述涂布机构还包括药液箱及与所述药液箱连接的压力泵，所述压力泵与所述涂布喷嘴连接，将所述药液箱中的药液泵送给所述涂布喷嘴。

根据本发明一优选实施例，所述粒子移除机构包括可伸缩吸管及设置在所述可伸缩吸管上的针孔摄像机，所述可伸缩吸管根据所述粒子检测机构定位的粒子坐标移动至粒子所在位置进行吸除，并通过所述针孔摄像机确认吸除情况。

根据本发明一优选实施例，所述粒子移除机构还包括带刻度尺的滑轨，所述可伸缩吸管根据所述带刻度尺的滑轨上的刻度进行预定移位。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的玻璃基板涂布装置可有效地检测玻璃基板上的粒子情况并及时排除，减少人员进入机台内部的频率，避免带入更多粒子；量产过程中，可以减少玻璃基板返工数量，提高产能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本发明提供的玻璃基板涂布装置的结构示意图；

图2是本发明提供的玻璃基板涂布装置检测玻璃基板上是否有粒子的原理图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，图1是本发明提供的玻璃基板涂布装置的结构示意图。

如图1所示，本发明提供一种玻璃基板涂布装置，该玻璃基板涂布装置包括涂布机构100、涂布载台200以及粒子移除机构300，涂布载台200用于运载玻璃基板400经过涂布机构100以进行涂布，粒子移除机构300设置在涂布载台200远离涂布机构100的一端，当发现玻璃基板400上有粒子500时，粒子移除机构300将粒子500移除。

请一并参阅图2，图2是本发明提供的玻璃基板涂布装置检测玻璃基板400上是否有粒子的原理图。

本发明提供的玻璃基板涂布装置还包括粒子检测机构600，粒子检测机构600设于涂布机构100的前侧，用于在涂布机构100对玻璃基板400进行涂布前检测玻璃基板400上是否有粒子500。

具体而言，粒子检测机构600包括投光器610和受光器620，投光器610和受光器620分别设于玻璃基板400的两侧。

一般可以设置在玻璃基板400流向方向的左右两侧，投光器610发出检查光经玻璃基板400表面并由受光器620接受，受光器620根据接受的光量，将光信号转换为电信号，通过计算，来确认粒子500状况，判断玻璃基板400表面是否有粒子500。

如图2中所示，若玻璃基板400表面没有粒子500，则受光器620可显示图2中623所示的满格状态，若玻璃基板400表面有粒子500，则受光器620可显示图2中624所示的浅格状态。当然，受光器620还可以以其他方式进行显示，如数值显示、或者检测到玻璃基板400表面没有粒子500时绿灯显示、或者玻璃基板400表面有粒子500时红灯显示等。

请继续参阅图1，涂布机构100包括门架110和横向设置在门架110上的涂布喷嘴120。

该门架110包括两个支架111和连接在两个支架111顶部的横板112，涂布喷嘴120贴靠装配在横板112上。

其中，支架111包括底板113、垂直于底板113的立板114以及垂直于底板113并与立板114贴靠设置的筋板115，涂布喷嘴120及横板112的两端与筋板115装配连接。

涂布机构100还包括药液箱130及与药液箱130连接的压力泵140，压力泵140与涂布喷嘴120连接，将药液箱130中的药液泵送给涂布喷嘴120。

粒子移除机构300包括可伸缩吸管310及设置在可伸缩吸管310上的针孔摄像机320，可伸缩吸管310根据粒子检测机构600定位的粒子500坐标移动至粒子500所在位置进行吸除，并通过针孔摄像机320确认吸除情况。

粒子移除机构300还包括带刻度尺的滑轨330，可伸缩吸管310根据带刻度尺的滑轨330上的刻度进行预定移位。

此外，粒子移除机构300还包括粒子回收槽(图未示)，粒子回收槽连接于可伸缩吸管310的末端，用于收集可伸缩吸管310吸附的粒子以定期集中清除。

综上所述，本领域技术员容易理解，本发明提供的玻璃基板涂布装置可有效地检测玻璃基板400上的粒子情况并及时排除，减少人员进入机台内部的频率，避免带入更多粒子；量产过程中，可以减少玻璃基板400返工数量，提高产能。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。